用于阵列检测设备的光学系统及阵列检测设备的制作方法

专利名称：用于阵列检测设备的光学系统及阵列检测设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示技术，尤其涉及一种用于阵列检测设备的光学系统及阵 列检测设备。
背景技术：
液晶显示器是目前常用的平板显示器，其中薄膜晶体管液晶显示器(ThinFilm Transistor Liquid Crystal Display，简称TFT-LCD)是液晶显示器中的主流产品。TFT-IXD制造过程大概可以分为三个阶段。第一个阶段为矩阵(Array)工艺，该工艺在一张较大的玻璃基板上形成若干独立 的TFT像素阵列电路，每个像素阵列区对应一个液晶显示屏(panel)。第二个阶段为单元(cell)工艺，该工艺在TFT基板上涂布液晶，覆盖彩色滤光片， 拼合成LCD面板并切割成独立的液晶显示屏。第三个阶段为液晶显示屏安装背光源，偏振片以及周边电路，形成完整的TFT-IXD 显示模块。在矩阵工艺中，玻璃基板上沉积形成TFT像素阵列电路后，需要在阵列测试 (Array Test)设备上进行TFT电学参数的测量。阵列检测设备上的主要部件为光学系统。现有技术中，光学系统如图1所示，包括光信号收集装置1、光罩2及mount (固定 检测部件的外壳3)。光信号收集装置1包括光源及电荷耦合器件(Charge Coupled Device，CCD)相机 ((XD Camera)，用来收集光信号。光罩2中空，顶部固定在光信号收集装置1，底部通过悬挂 卡扣31固定在外壳3上。光信号收集装置1收集的光信号在光罩2的内部空间达到外壳 3，防止测试光线受外界影响。外壳3内设置有光信号检测装置来检测接收到的光信号。现有技术中，光学系统各个组件简单地通过重力作用悬挂在外壳上，若使用一段 时间，外壳与光信号收集装置之间的光路就会出现偏差，这种情况下，只能依靠操作人员的 经验进行敲击调整，且在调整过程中经常使整个光路有一定旋角，调整难度非常大。而光学 系统调试的准确性对检测结果的准确性有很大的作用，因此，采用敲击调整很难满足很好 的检测出各种TFT电学不良的要求，导致设备无法正常运行造成资源的浪费。

实用新型内容本实用新型提供一种用于阵列检测设备的光学系统及阵列检测设备，以实现光学 系统的光路调节。本实用新型提供一种用于阵列检测设备的光学系统，包括光罩及外壳，其中，所述 外壳的表面设置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺纹孔；所述用于阵列检测设备的光学系统还包括调节板，设置于所述凹槽中，所述调节板具有与所述光罩的底部匹配的通孔，所述 光罩通过所述通孔与所述外壳连通，所述调节板的边缘与所述凹槽的内壁之间存在缝隙，所述调节板的侧面具有滑动轨道；滑动条，设置于所述滑动轨道中，所述滑动条具有凹部；位移调节螺丝，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺纹孔中，顶端位于所述凹部中；限位片，部分覆盖于所述凹槽的顶部，且位于所述调节板的上方。如上所述的用于阵列检测设备的光学系统，其中，所述调节板可具有多个侧面，优 选地，所述调节板具有四个侧面，所述四个侧面均可具有所述滑动轨道，所述滑动条有四 个，对应设置在所述滑动轨道中。或者，所述调节板四个侧面中相邻的两个侧面可均具有所述滑动轨道，所述滑动 条有两个，对应设置在所述滑动轨道中；所述调节板的其余两个侧面与所述凹槽的槽壁之 间设置有弹簧。或者，所述调节板四个侧面中的三个侧面可均具有所述滑动轨道，所述滑动条有 三个，对应设置在所述滑动轨道中；所述调节板的其余一个侧面与所述凹槽的槽壁之间设
置有弹簧。作为本实用新型的进一步改进，用于阵列检测设备的光学系统中，所述光罩的底 部边缘可具有螺纹，所述调节板的上表面可设置有旋角调节螺丝，所述旋角调节螺丝与所 述光罩底部边缘的螺纹相螺接。所述旋角调节螺丝可通过两个支撑块设置于所述调节板的上表面。作为本实用新型的进一步改进，用于阵列检测设备的光学系统还可包括用于固定 所述位移调节螺丝的卡扣装置，设置于所述位移调节螺丝上，位于所述调节板与所述外壳 凹槽的槽壁之间。所述卡扣装置可为螺母，螺接在所述位移调节螺丝上。或者，所述卡扣装置可包括插条，所述位移调节螺丝上具有与所述插条相匹配的 插孔，所述插条可活动地插接在所述插孔中。本实用新型还提供一种阵列检测设备，包括上述任一种用于阵列检测设备的光学 系统。本实用新型提供的用于阵列检测设备的光学系统及阵列检测设备，通过调节板、 调节螺丝及调节板上的滑动轨道及滑动条，解决了现有阵列基板电学检测设备的光学系统 出现光路偏差后无法迅速、准确地调整光学系统的问题，实现了光路的准确调节，可以有效 减少阵列基板电学检测设备的光学系统调整时间，增加可操作性，减少设备维护人员劳动 强度。

图1为现有技术中的光学系统的结构示意图；图2为本实用新型第一实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统的结构示意 图；图3A为本实用新型实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统中调节板的结构 示意图；图;3B为本实用新型实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统中滑动条的结构 示意图；[0032]图3C 图3H为本实用新型实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统中调节板 具有不同数量滑动轨道时的不同侧面的结构示意图；图4为本实用新型第二实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统的结构示意 图；图5为本实用新型第三实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统的结构示意 图；图6为本实用新型第四实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统的结构示意 图。
具体实施方式
为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新 型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描 述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施 例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于 本实用新型保护的范围。本实用新型第一实施例如图2、图3A所示，用于阵列检测设备的光学系统包括光 罩4、外壳5、调节板6、滑动条7、位移调节螺丝81及限位片9。外壳5的上表面设置有凹槽51，凹槽51的槽壁上具有螺纹孔。调节板6设置于外壳5的凹槽51中，调节板6如图3A所示，具有与光罩4的底部 匹配的通孔61。光罩4的底部固定在通孔61上，光罩4通过通孔61与外壳5连通。调节板6的边缘与凹槽51的内壁之间存在缝隙，以保证调节板6能在凹槽51内 移动，达到光路调节的目的。调节板6的四个侧面具有滑动轨道62，滑动条7设置于滑动轨道62中，以保证滑 动条7位置固定的情况下，调节板6能够相对移动。调节板6的四个侧面均如图3C所示。如图:3B所示，滑动条7具有凹部71，位移调节螺丝81的顶端位于凹部71中，以便 于位移调节螺丝81转动时相对于滑动条7的位置是固定的。位移调节螺丝81有四个，凹槽51四个槽壁上的螺纹孔中均螺接有一个位移调节 螺丝81，以通过调节板6的两个对边上的位移调节螺丝81的旋进或旋出，来控制调节板6 沿位移调节螺丝81的旋紧或旋出方向移动。假设光罩4向左偏移，则旋进调节板6的左边 的位移调节螺丝81，同时相应旋出调节板6的右边的位移调节螺丝81，这样，调节板6前后 两个边上的滑动条7沿前后两个边上的滑动轨道62向左移动，相应地，调节板6带动光罩 4向右移动，达到了纠正光罩4向左的偏移量。如图2所示，限位片9部分覆盖于凹槽51的顶部，且位于调节板6的上方。具体 地，限位片9有四个，通过螺栓10固定于外壳5的四个角上，将调节板6限制在凹槽51中， 以使调节板6在垂直方向上的位置保持不变。本实用新型通过在原有的光学系统上添加如图2所示的位置调整装置，可以有效 减少阵列基板电学检测设备的光学系统调整时间，增加可以操作性，减少设备维护人员劳 动强度。[0047]本实用新型第二实施例如图4所示，用于阵列检测设备的光学系统不仅包括光罩 4、外壳5、调节板6、滑动条7 (图中未示出)、位移调节螺丝81及限位片9，还包括弹簧52。其中，调节板6的三个侧面均具有滑动轨道62，每个滑动轨道62中均设置有一个 滑动条7。假设调节板6的左右侧及前侧均设有滑动轨道62，则调节板6的前侧如图3C所 示，左侧如图3E所示，右侧如图3F所示，未设滑动轨道62的侧面即后侧如图3D所示。弹簧52设置于调节板6没有滑动轨道62的侧面与凹槽51的侧壁之间，以保证调 节板6在被位移调节螺丝81推动调节至弹簧52 —侧后，在弹簧52的弹力作用下仍能返回 到原来的位置，以保证在调节光路的同时，简化光学系统的结构。本实用新型第三实施例如图5所示，用于阵列检测设备的光学系统不仅包括光罩 4、外壳5、调节板6、滑动条7 (图中未示出)、位移调节螺丝81、限位片9及弹簧52，还包括 旋角调节螺丝82，且光罩4的底部边缘具有螺纹41，光罩4的底部与调节板6上的通孔61 活动连接，以保证光罩4可相对于调节板6及外壳5旋转。其中，调节板6的两个相邻侧面均具有滑动轨道62，这里，调节板6的后侧及右侧 各设置有滑动轨道62，相应地，调节板6的后侧及右侧均设置有一个位移调节螺丝81，前侧 和左侧均设置有弹簧52用来起到固定和位置还原作用。调节板6后侧如图3F，右侧如图 3E所示，前侧如图3H所示，左侧如图3G所示。每个滑动轨道62中均设置有一个滑动条7。弹簧52设置于调节板6的其余两个 侧面与凹槽51的侧壁之间，以保证在调节光路的同时，进一步简化光学系统的结构。旋角调节螺丝82通过两个支撑块83设置于调节板6的上表面，与光罩4底部边 缘的螺纹41咬合，旋转旋角调节螺丝82，旋角调节螺丝82上的螺纹驱动光罩4底部边缘的 螺纹41运动，带动光罩4旋转，达到了调节旋角的目的。本实用新型第四实施例如图6所示，用于阵列检测设备的光学系统在第三实施例 的基础上，还进一步包括卡扣装置84，用于固定位移调节螺丝81，防止位移调节螺丝81在 阵列检测设备震动时移动，保证调节的准确性和稳定性。卡扣装置84设置于位移调节螺丝81上，位于调节板6与外壳凹槽51的槽壁之间。卡扣装置84可为螺母，螺接在位移调节螺丝81上。当位移调节螺丝81需要固定 时，旋紧螺母与滑动条7相抵，即可进一步保证位移调节螺丝81的位置不变。或者卡扣装置84可包括插条，相应地，位移调节螺丝81上具有与插条相匹配的插 孔，插条可活动地插接在插孔中。如在位移调节螺丝81旋进或旋出调节光罩4的位移时，可 将插条拔出插孔，当调节好位移后，将插条插进插孔中，以进一步保证位移调节螺丝81的 位置固定不变。进一步地，旋角调节螺丝82上也可设置有卡扣装置84，防止旋角调节螺丝82在阵 列检测设备震动时移动，保证旋角调节的准确性和稳定性。使用本实施例提供的用于阵列检测设备的光学系统调整光学系统时，在调整前后 方向的准确性时，打开调节板6后侧位移调节螺丝81上的卡扣装置84，通过旋进或旋出位 移调节螺丝81，以及前侧弹簧52的弹力调整前后位置。调节板6右侧设置有滑动轨道62 及滑动条7，右侧的位移调节螺丝81顶端位于滑动条7的凹部71中，在调整前后方向时由 于左右方向的卡扣装置84没有打开，保证了调节板6前后移动时，滑动条7沿滑动轨道62 滑动，且右侧的位移调节螺丝81位置不变，即调节板6的左右位置固定，不会发生改变，保
6证了光路的左右方向不会改变。前后方向的光路调整好后，用卡扣装置84固定后侧的位移 调节螺丝81，保证调整好后的光路的前后方向固定不变。类似地，可调整光路的左右方向，同时可保证光路的前后方向不会改变。之后用卡 扣装置84固定右侧的位移调节螺丝81，保证调整好后的光路的左右方向固定不变。防止在 检测设备进行测试时产生的位移影响设备的测试准确性。当前后左右方向的光路调整完成后，如果外壳5与光信号收集装置1有一定的旋 角，则可以打开旋角调节螺丝82上的卡扣装置，利用旋角调节螺丝82与光罩4上的螺纹41 的配合，进行光路旋角的调整。当旋角调整完成后固定好卡扣装置，防止测试过程中光路再 次出现旋角影响测试的准确性。由于整个操作过程是利用螺丝的旋转圈数控制，非常便于 操作很大程度上降低了光路矫正难度。本实用新型上述实施例中的调节螺丝与卡扣装置都可由步进马达控制，以达到可 以完全自动调整的功能，更加简化光学系统光路准确性调整的可操作性。本发明实施例提供的阵列检测设备包括光学系统，该光学系统可为上述实施例提 供的任一种用于阵列检测设备的光学系统，能够准确进行前后左右及旋角的光路调节，且 易于操作。最后应说明的是以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制； 尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解: 其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等 同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术 方案的精神和范围。
权利要求1.一种用于阵列检测设备的光学系统，包括光罩及外壳，其特征在于，所述外壳的表面 设置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺纹孔；所述用于阵列检测设备的光学系统还包括调节板，设置于所述凹槽中，所述调节板具有与所述光罩的底部匹配的通孔，所述光罩 通过所述通孔与所述外壳连通，所述调节板的边缘与所述凹槽的内壁之间存在缝隙，所述 调节板的侧面具有滑动轨道；滑动条，设置于所述滑动轨道中，所述滑动条具有凹部；位移调节螺丝，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺纹孔中，顶端位于所述凹部中；限位片，部分覆盖于所述凹槽的顶部，且位于所述调节板的上方。
2.根据权利要求1所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述调节板具 有四个侧面，所述四个侧面均具有所述滑动轨道，所述滑动条有四个，对应设置在所述滑动 轨道中。
3.根据权利要求1所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述调节板具 有四个侧面，其中相邻的两个侧面均具有所述滑动轨道，所述滑动条有两个，对应设置在所 述滑动轨道中；所述调节板的其余两个侧面与所述凹槽的槽壁之间设置有弹簧。
4.根据权利要求1所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述调节板具 有四个侧面，其中三个侧面均具有所述滑动轨道，所述滑动条有三个，对应设置在所述滑动 轨道中；所述调节板的其余一个侧面与所述凹槽的槽壁之间设置有弹簧。
5.根据权利要求1-4任一项所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述 光罩的底部边缘具有螺纹，所述调节板的上表面设置有旋角调节螺丝，所述旋角调节螺丝 与所述光罩底部边缘的螺纹相螺接。
6.根据权利要求5所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述旋角调节 螺丝通过两个支撑块设置于所述调节板的上表面。
7.根据权利要求1-4任一项所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，还包 括用于固定所述位移调节螺丝的卡扣装置，设置于所述位移调节螺丝上，位于所述调节板 与所述外壳凹槽的槽壁之间。
8.根据权利要求7所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述卡扣装置 为螺母，螺接在所述位移调节螺丝上。
9.根据权利要求7所述的用于阵列检测设备的光学系统，其特征在于，所述卡扣装置 包括插条，所述位移调节螺丝上具有与所述插条相匹配的插孔，所述插条可活动地插接在 所述插孔中。
10.一种阵列检测设备，其特征在于，包括上述权利要求1-9任一项所述的用于阵列检 测设备的光学系统。
专利摘要本实用新型公开了一种用于阵列检测设备的光学系统及阵列检测设备，光学系统包括光罩及外壳，其中，所述外壳的表面设置有凹槽，所述凹槽的槽壁上具有螺纹孔；所述用于阵列检测设备的光学系统还包括调节板，设置于所述凹槽中，所述调节板具有与所述光罩的底部匹配的通孔，所述光罩通过所述通孔与所述外壳连通，所述调节板的边缘与所述凹槽的内壁之间存在缝隙，所述调节板的侧面具有滑动轨道；滑动条，设置于所述滑动轨道中，所述滑动条具有凹部；位移调节螺丝，螺接于所述凹槽的槽壁上的螺纹孔中，顶端位于所述凹部中；限位片，部分覆盖于所述凹槽的顶部，且位于所述调节板的上方。
文档编号G02B7/00GK201886194SQ201020613318
公开日2011年6月29日 申请日期2010年11月17日 优先权日2010年11月17日
发明者卜云龙, 白国晓, 赵海生 申请人:北京京东方光电科技有限公司