边缘曝光调整装置的制作方法

专利名称：边缘曝光调整装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种调整装置，且特别涉及一种硅片边缘曝光调整装置。
背景技术：
电镀是IC电路后封装非常重要的工艺之一，其利用硅片的边缘做阳极，硅
片中间的电镀窗口做阴极，然后在阴阳两极之间加一定的直流工作电压，通过 控制电流大小及电镀槽中电镀液的浓度来控制金属凸块的高度。
由于光刻胶不导电，因此在电镀工艺之前需将硅片边缘的光刻胶去掉，而
去边宽度大小取决于前道WEE(Wafer Edge Exclusion)工艺的去边宽度。
硅片边缘曝光宽度，光斑的变形误差及光斑Rz精度都会影响边缘曝光的质 量和精度，因此边缘曝光调整装置必须能实现调平、水平向X及旋转Rz调整。 美国专利US2006/0250594调整装置的水平向调整采用导轨导向，球头螺栓或传 送带驱动实现，Rz调整装置布置在硅片下方。其缺点是没有调平功能，Rz调整 时要么较困难，要么结构复杂。

发明内容
本发明提出一种用于调整曝光光斑位置的边缘曝光调整装置，能解决上述 问题。
为了达到上述目的，本发明提出一种边缘曝光调整装置，用以在边缘曝光 过程中调整镜筒相对于硅片的位置。边缘曝光调整装置包括支座、镜筒支架、 直线导轨和调整螺栓。支座，其底面包括三个垫片，这三个垫片不位于同一直 线上，支座通过这三个垫片放置在固定平台上。镜筒支架的一端通过直线导轨 可滑动地设置于支座内，其另一端套接镜筒，镜筒可转动地设置在镜筒支架的 另一端内。直线导轨包括固定在支座上的导轨和固定在镜筒支架上并且可滑动 地设置在导轨上的滑块。调整螺栓沿x轴方向穿过支座和镜筒支架，调整螺栓具有调整部和第一螺紋，镜筒支架具有第二螺紋，第一螺紋和第二螺统对应配 合，其中当转动调整部，镜筒支架带动镜筒沿X轴方向移动。
可选的，其中这三个垫片为可修磨高度的塾片，其中通过修磨三个垫片来 实现该支座的调平。
可选的，其中该导轨和该滑块之间设置有多个滚珠，用以降低该导轨和该 滑块在滑动时的摩擦力。
可选的，边缘膝光调整装置还包括紧定装置。该紧定装置包括第一紧定螺 钉、顶板和第二紧定螺钉。第一紧定螺钉插入该镜筒支架并用以抵触该镜筒。 顶板固定在该支座上。第二紧定螺钉插入该顶板并用以抵触该镜筒支架。其中 当拧紧该第一紧定螺钉和该第二紧定螺钉，该镜筒固定在镜筒支架上，该镜筒 支架固定在该支座上。
可选的，边缘曝光调整装置还包括数据读取装置，数据读取装置包括镜 筒刻度线，位于该镜筒外侧；镜筒支架刻度线，位于该镜筒支架外側；支座刻 度线，位于该支座外侧；以及调整螺钉刻度线，位于该调整螺钉外侧，其中镜 筒刻度线和镜筒支架刻度线相互之间最小刻度值有较小刻度差，实现旋转准确 读数，调整螺栓刻度线的最小刻度值稍小于支座刻度线的所有刻度值之和，实 现360°范围旋转读数。
本发明提出的边缘曝光调整装置能够实现调平、x轴向调整和Rz轴旋转调 整，其结构简单、成本低廉、精度高、调整方便。


图l是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置轴测示意图； 图2是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置正视示意图； 图3是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置沿A-A轴剖面示意图； 图4是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置俯视示意图； 图5是本发明较佳实施例边缘曝光位切换、曝光宽度及矩形光斑Rz精度调 整示意图。
具体实施方式
为了更了解本发明的技术内容，特举具体实施例并配合所附图式说明如下。
图1是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置轴测示意图；图2是本发明较 佳实施例边缘曝光调整装置正视示意图；图3是本发明较佳实施例边缘曝光调 整装置沿A-A轴剖面示意图；图4是本发明较佳实施例边缘曝光调整装置俯视 示意图，请结合参考图1至图4。
本实施例中边缘曝光调整装置包括支座1、镜筒5、镜筒支架6、直线导轨 2和调整螺栓9。
支座1的底面包括三个垫片3，三个垫片3不位于同一直线上，因此它们构 成一个平面。支座1通过三个垫片3放置在一个固定平台(图未示)上，这三 个垫片3为可修磨高度的垫片，通过修磨三个垫片3的厚度能够实现支座1的 调平。
镜筒5是用来对准硅片(图未示)，发出边缘曝光用的光斑至硅片上，对硅 片进行边缘曝光。
镜筒5穿过并可转动地固定在镜筒支架6的一端上。镜筒5较佳地具有调 整圆孔502能使用工具插入圆孔502中或不使用工具直接手动转动镜筒5,镜筒 5能够实现Rz向旋转调整。
镜筒支架6可滑动地设置在支座1上，镜筒5随着镜筒支架6的运动而运动。
请重点结合参考图2和图3，其描述了镜筒支架6与支座1的结合方式。支 座1具有直线导轨2。镜筒支架6的另一端通过直线导轨2可滑动地设置至支座 l上。
直线导轨2包括滑块21 、导轨22和滚珠23。
导轨22固定在支座1上，滑块21固定在镜筒支架6上。导轨22沿x轴延 伸，因此滑块21滑动时，能够带动镜筒支架6沿x轴滑动。
滚珠23设置在滑块21和导轨22之间，用以使滑块21能够方便地沿导轨 22滑动。当然，本技术领域具有通常知识者应当能够得知，滚珠22的作用在于 使得滑块21与导轨22在滑动时降低二者之间的摩擦力。
镜筒支架6通过调整螺栓9来实现沿x轴移动。如图3中所示，调整螺栓9 至少具有调整部905和第一螺紋903。调整部905为一个调整圓孔，凸出于支座l之外，利用工具插入调整部卯5 可以转动调整螺栓9，也可以不利用工具，直接转动调整螺栓9。
镜筒支架6具有与螺紋903对应配合的第二螺紋601。调整螺栓9沿x轴方 向穿过支座1和镜筒支架6,其部分第一螺紋903与第二螺紋601配合，转动调 整部905,即可利用螺紋带动镜筒支架6移动。
本实施例中，边缘曝光调整装置还包括紧定装置。
紧定装置包括紧定螺钉4、紧定螺钉7、顶板8。紧定螺钉4插入镜筒支架 6,并用以抵触镜筒5，增大镜筒5与镜筒支架6的摩擦力来固定镜筒5在Rz 方向上的位置。顶板8固定在支座1上，紧定螺钉7插入顶板8后，用以抵触 镜筒支架6,增大镜筒支架6与支座1的摩擦力来固定镜筒支架6 (进而固定镜 筒5)在x方向上的位置。当拧紧紧定螺钉4和7后，镜筒5固定在镜筒支架6 上，该镜筒支架6固定在支座1上。
本实施例中，边缘爆光调整装置还包括数据读取装置。
数据读取装置包括镜筒刻度线501、镜筒支架刻度线601、支座刻度线101 和调整螺钉刻度线901。
镜筒刻度线501位于镜筒5外侧；镜筒支架刻度线601位于镜筒支架6外 侧；支座刻度线101位于支座1外侧；以及调整螺钉刻度线901位于调整螺钉9 外侧。
镜筒5的镜筒刻度线501和镜筒支架6的镜筒支架刻度线601相互之间最 小刻度值有较小刻度差，实现旋转准确读数。通过镜筒刻度线501和镜筒支架 刻度线601能够读取镜筒5在Rz方向上的旋转角度。
调整螺栓9的调整螺栓刻度线901的最小刻度值稍小于支座1的支座刻度 线101的所有刻度值之和，实现360。范围旋转读数。通过调整螺栓刻度线901 和支座刻度线101能够读取镜筒5在x方向上的移动距离。
图5所示为本发明较佳实施例边缘曝光位切换、曝光宽度及矩形光斑Rz精 度调整示意图。
图5中所示的为俯^f见边缘曝光调整装置时工件台上的硅片示意图。图中a、 b、 c分别表示镜筒5发出的光斑的位置，本实施例中，光斑为矩形光斑。请结 合参考图1至图5，边缘曝光位切换、曝光宽度及矩形光斑Rz精度调整流程1、 修磨三个垫片3的厚度实现调平，使镜筒5下方的矩形光斑光轴垂直于 硅片表面，直至满足矩形光斑的变形误差。例如到达图5所示的位置a;
2、 需要硅片O300mm与(D200mm之间的边缘曝光位切换时，转动调整螺 栓9使镜筒5下方的矩形光斑沿x轴移动，从而实现曝光位切换。例如到达图5 所示的位置b;
3、 微调调整螺栓9实现镜筒5下方的矩形光斑x向调整；并转动镜筒5实 现矩形光斑Rz向调整。例如到达图5所示的位置c;
4、 根据曝光宽度d及矩形光斑Rz误差值，重复操作步骤3，直至满足精度 要求；
5、 拧紧紧定螺钉4固定镜筒5,拧紧紧定螺钉7固定镜筒支架6，从而固 定边缘曝光调整装置。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然其并非用以限定本发明。本发明 所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作各 种的更动与润饰。因此，本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。
权利要求
1. 一种边缘曝光调整装置，用以在边缘曝光过程中调整镜筒相对于硅片的位置，其特征是，包括支座，其底面包括三个垫片，这三个垫片不位于同一直线上，该支座通过这三个垫片放置在固定平台上；镜筒支架，其一端通过直线导轨可滑动地设置于该支座内，其另一端套接该镜筒，该镜筒可转动地设置在该镜筒支架的另一端内，其中该直线导轨包括导轨，固定在该支座上；滑块，固定在该镜筒支架上并且可滑动地设置在该导轨上；以及调整螺栓，该调整螺栓沿x轴方向穿过该支座和该镜筒支架，该调整螺栓具有调整部和第一螺纹，该镜筒支架具有第二螺纹，该第一螺纹和该第二螺纹对应配合，其中当转动该调整部，该镜筒支架带动该镜筒沿x轴方向移动。
2. 根据权利要求1所述的边缘曝光调整装置，其特征是，其中这三个垫片 为可修磨高度的垫片，其中通过修磨三个垫片来实现该支座的调平。
3. 根据权利要求l所述的边缘曝光调整装置，其特征是，其中该导轨和该 滑块之间设置有多个滚珠，用以降低该导轨和该滑块在滑动时的摩擦力。
4. 根据权利要求1所述的边缘曝光调整装置，其特征是，还包括紧定装置, 该紧定装置包括第一紧定螺钉，插入该镜筒支架并用以抵触该镜筒； 顶板，固定在该支座上；以及 第二紧定螺钉，插入该顶板并用以抵触该镜筒支架； 其中当拧紧该第一紧定螺钉和该第二紧定螺钉，该镜筒固定在该镜筒支架 上，该镜筒支架固定在该支座上。
5. 根据权利要求1所述的边缘曝光调整装置，其特征是，还包括数据读取 装置，包括镜筒刻度线，位于该镜筒外侧；镜筒支架刻度线，位于该镜筒支 架外侧；支座刻度线，位于该支座外側；以及调整螺钉刻度线，位于该调整螺 钉外侧，其中镜筒刻度线和镜筒支架刻度线相互之间最小刻度值有较小刻度差，实现旋转准确读数，调整螺栓刻度线的最小刻度值稍小于支座刻度线的所有刻度值之和，实现360°范围旋转读数。全文摘要
本发明提出一种边缘曝光调整装置包括支座、镜筒支架和调整螺栓。支座底面包括三个垫片，这三个垫片不位于同一直线上，支座通过这三个垫片放置在固定平台上。镜筒支架的一端通过直线导轨可滑动地设置于支座内，其另一端套接镜筒，镜筒可转动地设置在镜筒支架的另一端内。直线导轨包括固定在支座上的导轨和固定在镜筒支架上并且可滑动地设置在导轨上的滑块。调整螺栓沿x轴方向穿过支座和镜筒支架，调整螺栓具有调整部和第一螺纹，镜筒支架具有第二螺纹，第一螺纹和第二螺纹对应配合，其中当转动调整部，镜筒支架带动镜筒沿x轴方向移动。本发明提出的边缘曝光调整装置能够实现调平、x轴向调整和Rz轴旋转调整，其结构简单、精度高、调整方便。
文档编号G03F7/20GK101533227SQ200910048640
公开日2009年9月16日 申请日期2009年3月31日 优先权日2009年3月31日
发明者育 刘, 李中秋 申请人:上海微电子装备有限公司