用于光敏性组合物的清除溶液的制作方法

专利名称：：用于光敏性组合物的清除溶液的制作方法
技术领域：
：本发明涉及一种用于光敏性组合物的清除溶液。具体地说，本发明涉及一种清除溶液，其用于除去在玻璃板、半导体芯片等上形成光敏性组合物膜的步骤期间涂在基材的周边、边缘或背面上的未固化的光敏性组合物膜，或除去附着在设备元件或装置的表面上的未固化的光敏性组合物。本发明的用于光敏性組合物的清除溶液特别用于除去在生产液晶设备、有机EL设备或图象传感器所用的滤色器时在基材上形成光敏性组合物膜的步骤中在基材的周边、边缘或背面上的残佘未固化的含颜料的光敏性组合物膜，或除去附着在设备元件或装置的表面上的未固化的含颜料的光敏性组合物。
背景技术：
：光敏性组合物图案通常使用平版印刷技术在生产平板显示器或半导体的工艺中形成，所述平板显示器例如是液晶设备、有机EL设备或等离子显示器。在生产用于液晶设备、有机EL设备和图象传感器的滤色器时，RGB或形成树脂黑色基质图案的方法包括颜料分散法、染色法、印刷法和电沉积法。颜料分散法通过使用含颜料的光敏性组合物进行光刻蚀而形成不同颜色的图案，并且因为产生稳定的着色膜，该方法适用于生产滤色器。当通过这种方法在基材上形成光敏性組合物膜时，包括一种在基材上涂覆含颜料的光敏性组合物的方法，为此所用的公知涂覆方法包括旋转涂覆、缝隙涂覆、绕线棒涂覆、辊涂、浸涂、喷涂和这些方式的组合。在旋转涂覆的情况下，通常通过用一种用于光敏性组合物的清除溶液进行洗涤处理(公知为边缘洗涤或背面洗涤)以除去在涂覆光敏性组合物之后在基材周边或边缘上的光敏性组合物的溶胀部分，或除去附着在基材背面上的光敏性组合物。用一种用于光敏性组合物的清除溶液来除去光敏性组合物的操作也在所谓的杯洗中进行，这是一种除去已经在涂杯中'减出的光敏性组合物的步骤。在生产滤色器期间涂覆光敏性组合物的工艺可以是通过缝隙涂覆方式涂布光敏性組合物，用绕线棒涂覆，或用辊涂器代替上述旋转涂覆进行涂覆，但是在所有这些方法中，涂覆光敏性组合物之后是除去在所有或部分涂覆设备例如缝隙喷嘴或绕线棒上的不必要的光敏性组合物。另外，有时还必要的是除去附着在涂覆设备元件上的光敏性组合物，例如用于输送光敏性组合物的设备管道。在大多数情况下，光敏性组合物的清除是通过用清除溶液洗涤而完成的。在所有用于除去与这些基材或设备附着的光敏性组合物的步骤中，光敏性组合物组分的残余是一个问题。在生产滤色器中所用的含颜料的光敏性组合物，即用于形成RGB的彩色刻蚀剂或用于形成树脂黑色基质的黑色刻蚀剂，倾向于在基材或设备表面上留下颜料组分的残余物，并且即使当少量存在时，这些残余物也构成外来夹杂物，导致在滤色器生产中的缺陷比率增加，或色纯度降低，或滤色器对比度降低。随着对于更大尺寸的需求、近年来在彩色显示器中所用基材的更高精度和更低成本，避免出现会影响滤色器性能和产率的光敏性组合物组分残余物越发重要。常规的光敏性组合物清除剂通常是二醇醚或它们的酯或混合物(例如参见日本未审专利公开11-44960和日本专利3125917),但是当这些清除剂用于清洁和清除上述彩色刻蚀剂时，清除刻蚀剂的性能是不足的，必须大量使用清除溶液，也导致产生清除残余物。含颜料的着色組合物也通过使用在光敏性组合物中所用的溶剂组分或光敏性组合物中所含的组分(例如表面活性剂或^t剂)的方法来除去(例如，参见日本未审专利公开2000-273370)，但是当在光敏性组合物中的溶剂组分单独作为清洁剂使用时，颜料倾向于沉淀，不能达到充分的清洁效果。另外，当在光敏性组合物中所含的组分例如表面活性剂或分散剂被加入清洁溶液组合物中时，这些组分倾向于作为蒸发残余物保留在基材或设备元件上，因此需要额外的清洁步骤，并且它们基本不能用于从基材的边缘或背面(这些地方优选不应当具有蒸发残余物)除去光敏性组合物。本发明的公开内容本发明的目的是提供一种用于光敏性组合物的清除溶液，其具有优异的除去光敏性组合物的能力。本发明特别提供一种清除溶液，其能有效地除去在液晶设备、有机EL设备、图象传感器等上形成光敏性组合物膜的步骤期间涂在基材的周边、边缘或背面上的残余的含颜料的光敏性组合物膜，或除去附着在设备元件或装置的表面上的含颜料的光敏性组合物。在本说明书的一部分中，脂环酮将称为组分1，亚烷基二醇单烷基醚或醇将称为組分2，乙酸酯将称为组分3。为了克服上述问题，本发明人进行了勤奋的研究。结果发现，通过使用具有特定组成的清除溶液改进了清洁和除去含颜料的光敏性组合物的能力，因此在此基础上完成了本发明。具体而言，本发明包括以下方面。[11一种用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液是一种用于含颜料的光敏性组合物的清除溶液，其特征在于含有(1)99-30质量％的脂环酮，和(2)1-70质量％的至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物。[2一种用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液是一种用于含颜料的光敏性組合物的清除溶液，其特征在于含有(1)80-30质量％的脂环酮，(2)60-10质量％的至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物，和(3)40-10质量％的乙酸酯。[3根据上述[1或[21的用于光敏性组合物的清除溶液，其中脂环酮是选自环己酮、环戊酮和甲基环己酮中的一种或多种化合物。[4根据上述l-[3中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，其中亚烷基二醇单烷基醚是选自以下的一种或多种化合物乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、双丙甘单甲基醚、3-曱氧基丁醇和3-曱基-3-甲氧基丁醇，所述醇是选自l-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、2-丁醇和叔丁醇中的一种或多种化合物。5根据上述[2-4中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，其中乙酸酯是选自以下的一种或多种化合物乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯和乙酸仲戊酯。[6]根据上述[1卜[5]中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液用于除去含颜料的丙烯酸型光敏性组合物。[7根据上述[l-[6中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液用于在膝光前除去含颜料的光敏性组合物。[8]—种设备，其中使用根据上述[l-[7中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液除去含颜料的光敏性组合物。[9一种滤色器，通过[8所述的设备获得。[10一种设备，配备有根据[9所述的滤色器。[11一种基材，已经使用根据上述[l-[7中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液进行处理以除去含颜料的光敏性组合物。本发明的用于光敏性组合物的清除溶液能够有效地用于除去在液晶设备、有机EL设备或图象传感器上形成光敏性组合物膜的步骤中涂在基材的周边、边缘或背面上的残余含颜料的光敏性组合物膜，或用于除去附着在设备元件或装置的表面上的含颜料的光敏性组合物。本发明的优选实施方案下面将解释本发明的用于光敏性组合物的清除溶液的优选实施方式。本发明的用于光敏性组合物的清除溶液是用于除去含颜料的光敏性组合物，并含有脂环酮(组分l)和亚烷基二醇单烷基醚和/或醇(组分2)。用于本发明的脂环酮(组分1)优选用作所述用于光敏性组合物的清除溶液中的主要组分，因为树脂组分在光敏性组合物中的高溶解度。作为具体的例子，可以提到环己酮、环戊酮、甲基环己酮和曱基环戊酮，并且可以使用至少一种这些化合物，但本发明不限于这些。其中，从在光敏性组合物中的高溶解度、可获得性和安全的角度考虑，环己酮、环戊酮和甲基环己酮是特别优选的。用于本发明的亚烷基二醇单烷基醚和醇(组分2)优选用作所述用于光敏性组合物的清除溶液中的主要组分，因为这些化合物与脂环酮的混合物增加了光敏性组合物的树脂组分的溶解性。作为亚烷基二醇单烷基醚的具体例子，可以提到乙二醇单曱基醚、乙二醇单乙基醚、乙二醇单正丙基醚、乙二醇异丙基醚、乙二醇单正丁基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、二甘醇单丙基醚、二甘醇单正丁基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、丙二醇单丙基醚、丙二醇单正丁基醚、双丙甘醇单甲基醚、三丙甘醇单曱基醚、3-甲氧基丁醇和3-甲基-3-甲氧基丁醇，并且可以使用至少一种这些化合物，但本发明不限于这些。其中，从在光敏性組合物中的高溶解度、可获得性和安全的角度考虑，特别优选乙二醇单曱基醚、乙二醇单乙基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、双丙甘单甲基醚、3-曱氧基丁醇和3-甲基-3-甲氧基丁醇，尤其是丙二醇单甲基醚、3-甲氧基丁醇和3-曱基-3-曱氧基丁醇。醇的具体例子可以是甲醇、乙醇、l-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、2-丁醇、叔丁醇、l-庚醇、2-庚醇、3-庚醇和4-庚醇，并且可以使用至少一种这些化合物，但本发明不限于这些。其中，从在光敏性组合物中的高溶解度、可获得性和安全的角度考虑，特别优选l-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、2-丁醇和i又丁醇。在本发明的用于光敏性组合物的清除溶液中，组分1与组分2的优选比率是99-30质量％的组分1和1-70质量％的組分2。对于改进的干燥速度和干燥状态而言，当组分2是亚烷基二醇单烷基醚时，更优选的比率是卯-30质量％的组分1和10-70质量％的组分2;或当组分2是醇时，更优选的比率是50-30质量％的组分1和70-50质量％的组分2。在本发明的光敏性组合物中，组分l和组分2的含量处于上述范围内，从而获得树脂和其它组分在光敏性组合物中的满意溶解性以及颜料在光敏性组合物中的可分歉去除性。除了脂环酮(組分1)和至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物(组分2)之外，本发明的用于光敏性组合物的清除溶液还可以含有乙酸酯(组分3)。要加入本发明的用于光敏性组合物的清除溶液中的组分3降低了所述用于光敏性组合物的清除溶液的粘度，并改进了光敏性组合物的去除速率，同时还使所得的清除溶液具有合适的干燥性能，并能有效地防止在去除后的干燥步骤期间的干燥不均匀性。用于本发明的乙酸酯(组分3)的具体例子是乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸仲丁酯、乙酸异丁酯、乙酸戊酯、乙酸己酯和乙酸环己酯，并且可以使用至少一种这些化合物，但本发明不限于这些。其中，从在光敏性组合物中的高溶解度、可获得性和安全的角度考虑，特别优选乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯和乙酸仲戊酯。当本发明的用于光敏性组合物的清除溶液含有组分1、组分2和组分3时，组分l、2、3的优选比率是80-30质量％的组分1、60-10质量％的组分2和40-10质量％的组分3，而对于改进的干燥速度和干燥状态而言，更优选的比率是80-30质量％的组分1、40-10质量％的组分2和40-10质量%的组分3。向组分1和2的混合物或组分1、2和3的混合物中，可以任选地加入至少一种以下化合物作为组分4:亚烷基二醇单垸基醚羧酸酯，例如丙二醇单甲基醚乙酸酯和乙二醇单曱基醚乙酸酯；3-烷氧基羧酸酯，例如3-甲氧基丙酸甲酯和3-乙氧基丙酸甲酯；直链酮，例如丙酮和曱乙酮；羟基羧酸酯，例如乳酸乙酯；芳烃，例如曱苯、二甲苯和三甲基苯；醚，例如二甘醇二甲醚、双丙甘醇二甲醚、四氢呋喃、1,4-二恶烷和1，3-二氧戊环；以及非质子极性溶剂，例如N-曱基-2-吡咯烷酮、N，N-二甲基甲酰胺、二曱基亚砜和Y-丁内酯。组分4也能调节所得清除溶液的粘度和干燥性能，并改进去除光敏性组合物的效果。在本发明的光敏性组合物中，组分l-3的含量处于上述范围内，从而能满意地去除含颜料的光敏性组合物，并同时帮助防止在去除处理之后干燥清除溶液期间的干燥不规则性。以下详细解释要应用本发明清除溶液的着色光敏性树脂组合物。要应用本发明清除溶液的着色光敏性树脂组合物通常是含颜料的着色光敏性树脂组合物，其用于形成液晶设备、有机EL设备、图象传感器等的滤色器的工艺中。这些着色的光敏性组合物是通过添加颜料被着色的，它们通常含有能形成碱性显影膜的物质、光敏性物质、颜料等。作为要包含在着色光敏性組合物中的成膜物质，可以提到丙烯酸型树脂、酚醛树脂、聚酰亚胺树脂和聚乙烯基苯酚树脂，但是本发明的清除溶液特别适用于去除含有丙烯酸型树脂作为成膜物质的着色光敏性组合物。用作成膜物质的丙烯酸型树脂是高分子量聚合物或共聚物，分子量为约1000-500000，是碱溶性的，优选是含氣基的烯属不饱和单体与其它烯属不饱和单体形成的共聚物。作为要包含在着色光敏性組合物中的光敏性物质，当丙烯酸型树脂用作成膜物质时，可以提到基于六芳基二咪唑的化合物，基于三嗪的化合物,基于氨基苯乙酮的化合物，光敏性着色物质和基于有机硼的化合物的组合,基于二茂钛的化合物，基于氧杂二唑的化合物，等等。要用于着色光敏性组合物中的颜料可以是任何常用于生产滤色器的颜料，这些包括黑色、黄色、蓝色和绿色的有机或无机颜料，它们单独使用或其中两种或多种组合使用。作为颜料的具体例子，可以提到碳黑、乙炔黑、灯黑、碳纳米管、石墨、铁黑、氧化铁黑颜料、苯胺黑、花青黑、钛黑，C.I.颜料黄20、24、83、86、93、109、110、117、125、137、138、139、147、148、153、154和166,C丄颜料橙36、43、51、55、59和61，C丄颜料红9、97、122、123、149、168、177、180、192、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240和254,C.I.颜料紫19、23、29、30、37、40和50，C.L颜料蓝15、15:1、15:4、15:6、22、27、60和64，C丄颜料绿7、10、36和37,以及C丄颜料棕23、25和26。除了上述成膜物质、光敏性物质和颜料之外，着色的光敏性组合物也可以含有烯属不饱和单体。烯属不饱和单体是能通过在用活性光射线辐射时从光聚合引发剂产生的自由基发生聚合的化合物。要应用本发明的用于光敏性组合物的清除溶液的着色光敏性组合物也可以任选地含有其它组分，例如有机溶剂、颜料分散剂、粘合促进剂、流平剂、显影促进剂、抗氧化剂、热阻聚剂等。可以施用本发明用于光敏性组合物的清除溶液，从而除去已经涂到或附着到待清洁制品上的着色光敏性组合物，特别适合于在曝光之前除去着色的光敏性组合物。着色的光敏性组合物可以具有其中所含的溶剂，或可以具有已经通过蒸发除去的溶剂。除去着色光敏性组合物的方法可以是这样的方法，其中将清洁溶液以料流、液滴或雾的方式从喷嘴等喷到涂有或附着有着色光敏性组合物的待清洁的制品上；或这样的方法，其中将附着了着色光敏性组合物的待清洁制品浸入本发明的清除溶液中。为了更有效地去除，这种方式可以与物理清洁例如超声波辐射或刷洗结合使用。备、有机EL设备:图象传感器等所用的滤^器时涂覆着色光敏性组合物的步骤中附着在基材的周边、边缘或背面上的未固化的着色光敏性组合物的不需要的部分，或用于除去附着在所有或部分涂覆设备上的未固化的着色光敏性组合物的不需要的部分。本发明的用于光敏性组合物的清除溶液也可以合适地用于除去在通过旋转涂覆将着色光敏性组合物涂到基材上期间在基材的周边、边缘或背面上的未固化的着色光敏性组合物，即，作为洗涤剂用于边缘洗涤或背面洗涤；或用于清洁除去在旋转涂覆期间已经溅入杯中的着色光敏性组合物，即，用于杯洗涤。除了旋转涂覆之外，其它公知的将着色光敏性组合物涂覆到基材上的方法包括缝隙涂覆、绕线棒涂覆和辊涂，但是本发明的用于光敏性组合物的清除溶液也可以合适地用于除去附着在涂覆i殳备元件或装置例如缝隙喷嘴、绕线棒和印刷板的表面上的着色光敏性组合物的未固化部分。本发明的另一个方面涉及一种基材，从该基材上已经使用上述用于光骨本发明还涉及一种用于生产液晶设备、有机EL设备、图象传感器等的设备，以及从这些设备获得的滤色器。下面通过以下实施例说明本发明，但是本发明不受这些实施例的限制。基于着色光敏性組合物在浸入清除溶液3分钟后目测观察溶解状况，按照以下三个标准评价清洁性能。好一完全清除一般一部分溶解差一基本不溶解制备实施例1制备丙烯酸酯共聚物在配备有滴液漏斗、温度计、冷凝管和搅拌器的四颈烧瓶中加入12.0质量份的甲基丙烯酸(MA)、14.0质量份的甲基丙烯酸甲酯(MMA)、43.0质量份的丙烯酸正丁酯(BMA)、6.0质量份的丙烯酸2-羟基乙酯(HEMA)和225.0质量份的乙基纤维素乙酸酯(EGA)，并用氮气吹扫四颈烧瓶l小时。在,用油浴加热到90"C之后，在l小时内滴加12.0质量份的MA、14.0质量份的MMA、43.0质量份的BMA、6.0质量份的HEMA、225.0质量份的EGA和3.2质量份的2，2，-偶氮二异丁腈(AIBN)的混合物。在随后聚合3小时后，加入1.0重量份AIBN和15.0质量份EGA的混合物，并将混合物加热到100'C聚合1.5小时，然后冷却。以此方式获得的丙烯酸共聚物的固体浓度是22.1质量％，酸值是92mgKOH/g,以聚苯乙烯为标准通过GPC测得重均分子量是22000。制备实施例2制备着色光敏性组合物A:黑色光敏性组合物在将制备实施例1中获得的30.0质量份丙烯酸共聚物(固体比例6.6质量份)、5.0质量份的EGA、3.3质量份的FLOWLENDOPA-33(KyoeishaChemicalCo.，Ltd的商品名，固体浓度为30质量％的*剂)和6.6质量份的SpecialBlack4(DegussaCorp.，碳黑)混合后，使混合物静置过夜。然后搅拌l小时，并从三辊磨通过四次(ModelRIII-lRM-2，KodairaSeisakushoCo.，Ltd)。将EGA加入所得的黑色油墨中以调节浓度，从而获得固体浓度为18.0质量％的黑色组合物。向100质量份的以此方式获得的黑色组合物中进一步加入4.4质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、2.2质量份的2-(4-甲氧基苯基)-4，6-二(三氯甲基)-s-三溱和25质量份的EGA，充分搅拌该混合物，得到着色的光敏性组合物A。制备实施例3制备着色光敏性组合物B:绿色光敏性组合物在将制备实施例1中获得的30.0质量份丙烯酸共聚物(固体比例6.6质量份)、5.0质量份的EGA、3.3质量份的FLOWLENDOPA-33(KyoeishaChemicalCo.,Ltd的商品名，固体浓度为30质量％的棘剂)和6.6质量份的颜料绿36混合后，使混合物静置过夜。然后搅拌l小时，并从三辊磨通过四次(ModelRIII-1RM-2,KodairaSeisakushoCo.,Ltd)。将EGA加入所得的绿色油墨中以调节浓度，从而获得固体浓度为18.0质量%的绿色组合物。向100质量份的以此方式获得的绿色组合物中进一步加入4.4质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、o.7质量份的4，4，-二(N，N-二乙基氨基)二苯甲酮、2.3质量份的2，2，-二(邻氯苯基)-4，4，，5，5，-四苯基-1，2，-二咪唑、3.8质量份的三羟甲基丙烷三硫代丙酸酯和42质量份的EGA，充分搅拌该混合物，得到着色的光敏性組合物B。制备实施例4制备着色光敏性组合物C:红色光敏性组合物在将制备实施例1中获得的30.0质量份丙烯酸共聚物(固体比例6.6质量份)、5.0质量份的EGA、3.3质量份的FLOWLENDOPA-33(KyoeishaChemicalCo.,Ltd的商品名，固体浓度为30质量。/。的^t剂)和6.6质量份的颜料红177混合后，使混合物静置过夜。然后搅拌l小时，并从三辊磨通过四次(ModelRIII-lRM-2，KodairaSeisakushoCo.,Ltd)。将EGA加入所得的红色油墨中以调节浓度，从而获得固体浓度为18.0质量。/。的红色组合物。向100质量份的以此方式获得的着色组合物中进一步加入4.4质量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、3.0质量份的Irgacure369(CibaSpecialtyChemicals)、3.8质量份的三羟甲基丙烷三减^代丙酸酯和42质量份的EGA，充分搅拌该混合物，得到着色的光敏性组合物C。实施例1将各一滴在制备实施例2-4中制备的着色光敏性組合物A-C滴到玻璃片(28mmx76mm)上，并在室温干燥24小时。将玻璃片浸入含99g环己酮和lg丙二醇单甲醚的混合物的清除溶液中并停留3分钟，从而清除涂在表面上的着色光敏性组合物。结果列在表l中。实施例2-18和对比例1-9使用具有表1所列组成的清除溶液，按照与实施例1相同的方式除去着色光敏性组合物。结果也列在表l中。基于在涂到试样上之后清除溶液的干燥状态的目测观察，按照以下三个标准评价干燥性能好一在试样上均匀地干燥一般一在试样上不均匀地干燥(观察到细液滴)差一在试样上观察到聚集的液滴实施例19将10cm见方的试样(SUS304:电抛光产品)固定在旋转涂覆器上(Model1H-DX，MikasaCo丄td的产品)，并在上面滴加2ml与实施例1相同的清除溶液。在涂覆清除溶液(400rpm，5秒)后，在涂覆器中设定的水平位置^L察试样上的干燥状态。结果列在表2中。实施例20-36和对比例10-18使用具有表2所列组成的清除溶液，按照与实施例19相同的方式观察干燥状态。结果列在表2中。<table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>表2清除溶液组合物(质量％)干燥状态组分1组分2组分3CYACYPPMBOHBAC实施19991好例20991差217030好227030差235050好245050一般253070好263070好277030一般28303040一般29602020一般30801010好31602020好32404020好33306010一般34303040好35602020一般36404020一般对比10100差例11100一般12100好132080好142080好155050好165050好17302050好18206020好CYA:环己酮CYP:环戊酮PM:丙二醇单曱醚BOH:l國丁醇BAC:乙酸正丁酯工业应用性本发明在工业上是有利的，因为提供了一种用于光敏性组合物的清除溶液，能用于除去在生产液晶设备、有机EL设备、图象传感器等所用的滤色器时在基材上形成光敏性组合物膜的步骤中在基材的周边、边缘或背面上的残余含颜料的光敏性组合物膜，或用于除去附着在设备元件或装置的表面上的含颜料的光敏性组合物。权利要求1.一种用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液是一种用于含颜料的光敏性组合物的清除溶液，其特征在于含有(1)99-30质量％的脂环酮，和(2)1-70质量％的至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物。2.—种用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液是一种用于含颜料的光敏性组合物的清除溶液，其特征在于含有(1)80-30质量％的脂环酮，(2)60-10质量％的至少一种选自亚烷基二醇单烷基醚和醇的化合物，和(3)40-10质量％的乙酸酯。3.根据权利要求1或2的用于光敏性组合物的清除溶液，其中脂环酮是选自环己酮、环戊酮和甲基环己酮中的一种或多种化合物。4.根据权利要求l-3中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，其中亚烷基二醇单烷基醚是选自以下的一种或多种化合物乙二醇单甲基醚、乙二醇单乙基醚、二甘醇单甲基醚、二甘醇单乙基醚、丙二醇单甲基醚、丙二醇单乙基醚、双丙甘醇单甲基醚、3-甲氧基丁醇和3-甲基-3-甲氧基丁醇，所述醇是选自l-丙醇、2-丙醇、l-丁醇、2-丁醇和叔丁醇中的一种或多种化合物。5.根据权利要求2-4中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，其中乙酸酯是选自以下的一种或多种化合物乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯和乙酸仲戊酯。6.根据权利要求l-5中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液用于除去含颜料的丙烯酸型光敏性组合物。7.根据权利要求l-6中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液，该溶液用于在膝光前除去含颜料的光敏性组合物。8.—种设备，其中使用根据权利要求l-7中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液除去含颜料的光敏性组合物。9.一种滤色器，通过权利要求8所述的设备获得。10.—种设备，配备有根据权利要求9所述的滤色器。11.一种基材，已经使用根据权利要求1-7中任一项的用于光敏性组合物的清除溶液进行处理以除去含颜料的光敏性组合物。全文摘要本发明涉及一种用于光敏性组合物的清除溶液，用于除去含颜料的光敏性组合物，该溶液含有脂环酮、亚烷基二醇单烷基醚和/或醇和任选地含有乙酸酯。所述清除溶液具有优异的光敏性组合物清除性能。文档编号G03F7/42GK101223483SQ200680026390公开日2008年7月16日申请日期2006年7月11日优先权日2005年7月19日发明者寺尾浩一,金田昌人申请人:昭和电工株式会社