用于紫外线曝光装置的真空吸附器的制作方法

专利名称：用于紫外线曝光装置的真空吸附器的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于紫外线曝光装置的真空吸附器。更具体地说，涉及一种提高
用于在印刷电路板上形成电路图形的曝光装置的曝光速度，并且为了减少曝光工序中的故障而用于上述曝光装置的真空吸附器。
背景技术：
通常，在印刷电路板上形成电路图形的过程如下所述。首先，在作为印刷电路板的基材的聚酰亚胺(Polyimide)膜上涂敷铜箔(Copper foil)，并在上述铜箔上涂敷光刻胶(Photoresist)。其次，通过曝光工序和蚀刻工序在上述薄膜上形成规定的电路图形。上述曝光工序是指，通过已形成有规定电路图形的掩模将紫外线照射至上述薄膜的光刻胶上的过程。另外，上述蚀刻工序是指，去除曝光于紫外线的区域的显影工序，以及使用化学蚀刻溶液对涂敷在上述整个薄膜上的铜进行处理，从而除去规定的电路图形以外的区域的工序。 图5是利用以往的曝光装置执行曝光工序的流程示意图。首先，在玻璃10的上表面放置印刷电路板20，然后在印刷电路板20的上表面放置已形成有电路图形的掩模22。之后，利用聚酯薄膜30覆盖印刷电路板20及掩模22(如图5a所示)。其次，按箭头41方向排出聚酯薄膜30和玻璃20之间的空气，以形成真空状态，并且，为了使掩模22准确地紧贴印刷电路板20，使用板条40沿上下左右方向平刮聚酯薄膜的上表面(如图5b所示)。然后，利用光源50向印刷电路板20照射紫外线51。 由于曝光装置向掩模22照射紫外线51而在印刷电路板20上形成电路图形，因此，使掩模22紧贴在印刷电路板20上是非常重要的。为了使上述掩模22紧贴在印刷电路板20上，以往的曝光装置的构成是，首先用聚酯薄膜30覆盖掩模22之后，利用板条平刮聚酯薄膜30，从而使聚酯薄膜30的内部保持真空状态，同时使掩模22紧贴在印刷电路板20上。 此时，这种平刮聚酯薄膜30使其保持平整的作业，需要很高的熟练度，经常会发生细小失误就使印刷电路板产品不合格的情况。 而且，以往的曝光机中，利用板条进行平刮的作业需要在真空状态下进行，同时上述作业是人工进行的，所以很难提高工作效率。

发明内容
本发明是为了解决上述问题而做出，其目的在于提供一种真空吸附器，可防止因作业熟练度不同而产生不合格产品的情况，而且，不需要使用板条平刮聚酯薄膜的作业，可提高曝光的作业速度。 为了实现上述目的，本发明涉及的用于紫外线曝光装置的真空吸附器，包括聚酯薄膜层、丙烯酰胺树脂板和固定框架。上述聚酯薄膜层固定在上述固定框架的一侧面，上述丙烯酰胺树脂板固定在上述聚酯薄膜层的上面。
另外，优选的是，在上述真空吸附器中，上述固定框架将上述丙烯酰胺树脂板隔着 一定间距固定在上述聚酯薄膜层的上面。 还有，优选的是，在上述真空吸附器中，上述固定框架具有在一侧面固定聚酯薄膜 层的聚酯薄膜载置部，和为了在上述聚酯薄膜载置部的另一侧面固定上述丙烯酰胺树脂板 而同上述聚酯薄膜载置部结合的丙烯酰胺树脂板固定部。 再者，优选的是，在上述真空吸附器中，在上述聚酯薄膜载置部的一侧形成可插入 上述聚酯薄膜的端部的槽，还包括可插入到上述槽内的塞子，用于将上述聚酯薄膜固定在 上述槽内。


图1是表示本发明涉及的用于曝光装置的真空吸附器的立体图,
图2是表示安装了图1所示真空吸附器的曝光机的立体图。
图3是沿图1的A-A截面的剖视图。
图4是表示利用图1所示曝光机进行曝光工序的示意图。
图5是表示以往的曝光工序的示意图。
附图标记说明
110 :玻璃
130 :丙烯酰胺树脂板 141 :聚酯薄膜载置部
143 :丙烯酰胺树脂板固定部 150 :真空吸附器
120 :聚酯薄膜层 140 :固定框架 142 :槽 144 :塞子 160 :光源
具体实施例方式
下面，将参照附图详细说明本发明涉及的优选实施方式。
图1是表示本发明涉及的用于曝光装置的真空吸附器的立体图。图2是表示安装 了图1所示真空吸附器的曝光机的立体图。图3是沿图1的A-A截面的剖视图。
如图1所示，真空吸附器150包括固定框架140、聚酯薄膜层120、丙烯酰胺树脂板 130和塞子144。 固定框架140包括聚酯薄膜载置部141和丙烯酰胺树脂板固定部143，在聚酯薄膜 载置部141的一侧形成有槽142。 聚酯薄膜层120位于聚酯薄膜载置部141的一侧面。为了将聚酯薄膜层120固定 在聚酯薄膜载置部141上，将聚酯薄膜层120的端部插入在聚酯薄膜载置部141的槽142 内，同时将塞子144插入到上述槽中，从而使聚酯薄膜层120固定在聚酯薄膜载置部141 上。 丙烯酰胺树脂板130位于聚酯薄膜载置部141的另一侧面，通过丙烯酰胺树脂板 固定部143将丙烯酰胺树脂板130固定在聚酯薄膜载置部141上。此时，可以利用螺栓145 将丙烯酰胺树脂板固定部143固定在聚酯薄膜载置部141上。因聚酯薄膜层120位于聚酯 薄膜载置部141的一侧面，并且，丙烯酰胺树脂板130固定在聚酯薄膜载置部141的另一侧 面，所以，在聚酯薄膜层120和丙烯酰胺树脂板130之间形成有一定空间。
4
下面，描述利用本发明涉及的用于紫外线曝光装置的真空吸附器进行曝光的方 法。 图4是表示利用图1所示曝光机进行的曝光工序的示意图。在曝光机200的玻璃 110的上表面放置印刷电路板20和已形成有电路图形的掩模22。使真空吸附器150位于 上述印刷电路板20和掩模22的上面之后，按箭头163方向排除出真空吸附器150和玻璃 110之间的空气而形成真空状态。上述真空状态可使聚酯薄膜层120和掩模22及印刷电路 板20紧密结合。而且，上述真空状态可排除丙烯酰胺树脂板130和聚酯薄膜层120之间空 间内的空气，使上述丙烯酰胺树脂板130按压聚酯薄膜层120。由此，通过丙烯酰胺树脂板 130使聚酯薄膜层120平整地展开，使上述掩模22可靠地紧贴在印刷电路板20上。所以， 不需要以往的利用板条平刮聚酯薄膜层120的人工作业。 根据本发明涉及的用于紫外线曝光装置的真空吸附器，不需要使用板条平刮聚酯 薄膜的人工作业，从而提高了工作效率，同时防止因作业熟练度不同而导致不合格产品的产生。 如上所述，附图所示的本发明的一实施例，不应理解为限制本发明的技术思想，本 发明的保护范围以权利要求书中记载的内容为准。所以，本技术领域的普通技术人员，均可 根据上述记载进行多种改进和变形，这种改进和变形应属于本发明的保护范围。
权利要求
一种用于紫外线曝光装置的真空吸附器，包括聚酯薄膜层；丙烯酰胺树脂板；固定框架，具有在一侧面固定聚酯薄膜层的聚酯薄膜载置部，和为了在上述聚酯薄膜载置部的另一侧面固定上述丙烯酰胺树脂板而同上述聚酯薄膜载置部结合的丙烯酰胺树脂板固定部。
2. 根据权利要求1所述的用于紫外线曝光装置的真空吸附器，其特征在于， 在上述聚酯薄膜载置部的一侧形成用于插入上述聚酯薄膜的端部的槽，还包括可插入到上述槽内的塞子，用于将上述聚酯薄膜固定在上述槽内。
全文摘要
本发明涉及一种用于紫外线曝光装置的真空吸附器。更具体地说，涉及一种提高用于在印刷电路板上形成电路图形的曝光装置的曝光速度、并且减少曝光不良的用于上述曝光装置的真空吸附器。本发明涉及的用于紫外线曝光装置的真空吸附器包括聚酯薄膜层、丙烯酰胺树脂板和固定框架。上述聚酯薄膜层固定在上述固定框架的一侧面，上述丙烯酰胺树脂板固定在上述聚酯薄膜层的上面。另外，上述真空吸附器的上述固定框架将上述丙烯酰胺树脂板隔着一定间距固定在上述聚酯薄膜层的上面。本发明在曝光过程中，不需要使用板条平刮聚酯薄膜的人工作业，从而可提高工作效率，同时防止因作业熟练度的不同而产生不合格产品的情况。
文档编号G03F7/20GK101730865SQ200880016270
公开日2010年6月9日 申请日期2008年5月15日 优先权日2007年5月17日
发明者姜相年, 李秉锡, 金炳燮 申请人:Kse 株式会社