制作液晶显示器的方法

专利名称：制作液晶显示器的方法
本申请要求2002年2月6日在韩国申请的第P2002-6656号韩国专利申请的权益，该申请在本申请中以引用的形式加以结合。
LCD已最广泛地作为移动式显示器使用，这种显示器由于具有极好的图像质量、重量轻、外形薄和低能耗等特性和优点而取代了CRT(阴极射线管)。除了移动式LCD，例如笔记本电脑的监视器之外，还开发了适用于计算机监视器和电视机的LCD以便接收和显示广播信号。
尽管对在不同领域中作为显示器使用的LCD进行了各种技术开发，但对提高作为显示器的LCD图像质量的研究，与LCD很多方面的特性及优点不相符。因此，为了把不同领域中的LCD作为普通显示器使用，开发LCD的关键取决于LCD能否实现高质量图像，例如高分辨率，高亮度和大尺寸屏幕，同时使LCD重量轻，外形薄和能耗低。
LCD设有显示图象的液晶显示板，和向液晶显示板提供驱动信号的驱动部分，其中液晶显示板具有相互粘接的第一和第二玻璃基板，基板之间留有间隙，而且在第一和第二玻璃基板之间注有液晶层。
在第一玻璃基板(TFT阵列基板)上，设有多条沿第一方向以固定间隔布置的栅极线，多条沿垂直于栅极线的第二方向以固定间隔布置的数据线，与在栅极线和数据线交叉点上形成的像素区相对应并布置成矩阵的多个像素电极，可根据栅极线上的信号进行开或关以便将数据线上的信号传送给像素电极的多个薄膜晶体管。
第二玻璃基板(滤色器基板)包括把光与除像素区之外的部分隔开的黑底层(black matrix)，显示色彩的红、绿、蓝滤色层，和形成图像的公用电极。
上述第一和第二基板由衬垫料隔开，并通过密封剂粘接，在密封剂上留有注射液晶的注入口，通过该注入口可注入液晶。
将相互粘接的两个基板之间的间隙抽真空，然后将液晶注入口浸入液晶中，从而借助毛细管现象将液晶注入到间隙中。将液晶注入后，用密封剂将液晶注入口密封。
然而，现有技术中用于制造灌注液晶的LCD的方法存在以下问题。
首先，现有技术的方法生产效率低，这是因为，为了注入液晶，需要在使两个基板之间的间隙保持真空状态的同时，将液晶注入口浸入液晶中，这要花费很多时间。
第二，将液晶注入到特别是大尺寸的LCD中容易引起液晶在面板中灌注不完整，这会导致产生有缺陷的面板。
第三，复杂的和长时间的制作过程需要有很多液晶注入装置，由此而占据了大量空间。
因此，最近正在研究用液晶滴加法来制作LCD的方法。日本的公开专利出版物第2000-147528号披露了下述液晶滴加方法。
下面将说明现有技术中用上述液晶滴加法制作LCD的方法。

图1A-1F所示的剖面图表示现有技术中制作LCD方法的步骤。
参见图1A，将UV密封剂1涂敷在形成有薄膜晶体管阵列的第一玻璃基板3上，涂敷厚度约为30微米(μm)，并将液晶2滴加到密封剂1的内侧(每个薄膜晶体管阵列)。在密封剂1中不设置液晶注入口。
将第一玻璃基板3安装在真空容器‘C’内可沿水平方向移动的工作台4上，并通过第一吸附器5对第一玻璃基板3的整个底表面进行真空吸附而使其固定。
参见图1B，通过用第二吸附器7进行的真空吸附将具有滤色器阵列的第二玻璃基板6的整个底表面固定，将真空容器‘C’封闭并抽真空。使第二吸附器7沿垂直方向向下移动，直到第一和第二玻璃基板3和6之间的间隙达到1毫米(mm)时为止，而工作台4带着其上的第一玻璃基板3沿水平方向移动，将第一和第二玻璃基板3和6预对齐。
参见图1C，第二吸附器7向下移动直到使第二玻璃基板6与液晶2或密封剂1接触。
参见图1D，带有第一玻璃基板3的工作台4沿水平方向移动使得第一和第二玻璃基板3和6对齐。
参见图1E，第二吸附器7向下移动直到使第二玻璃基板6与密封剂1相接触，并将其下压直到使第二玻璃基板6和第二玻璃基板3之间的间隙达到5微米为止。
参见图1F，从真空容器‘C’中取出预粘接的第一和第二玻璃基板3和6，用UV射线照射密封剂，使密封剂1固化，由此便完成了LCD的制作。
然而，上述现有技术中采用液晶滴加法制作LCD的方法存在以下问题。
首先，在两个基板粘接之前，在同一基板上涂敷密封剂和滴加液晶需要很长的制作时间周期。
第二，在向第一基板涂敷密封剂和滴注液晶时，在第二基板上没有动作，从而使得第一和第二基板之间的制作工序不平衡，这意味着生产线的工作效率很低。
第三，由于在第一基板上涂敷密封剂和滴加液晶，所以不能通过超声清洗器(USC)清洗涂有密封剂的第一基板。因此，由于不能清洗粘接两个基板的密封剂，所以也就无法清除会引起粘接时与密封剂不良接触的微粒。
第四，在将两个基板对齐使液晶或密封剂与第二基板接触时，可能会损坏第二基板上的取向膜，从而导致出现不良的图像质量。此外，如果上下工作台不能达到水平状态，可能会使第一和第二基板彼此之间出现局部接触，从而刮伤对面基板上的图案，或使得密封剂不均匀。
第五，仅仅通过改变两个基板之间的距离来使两个基板对齐，这会使两个基板的对齐精度受到限制。
因此，本发明涉及一种制作液晶显示器的方法，其基本上克服了因现有技术的限制和缺点而带来的一个或多个问题。
本发明的目的是提供一种采用液晶滴加法制作LCD的方法，该方法能够缩短制作的时间周期和最大限度地提高例如对齐的效率，从而提高生产率。
本发明的其它特征和优点将在下面的说明中给出，其中一部分特征和优点可以从说明中明显得出或是通过本发明的实践而得到。通过在文字说明部分、权利要求书以及附图中特别指出的结构，可以实现和获得本发明的目的和其它优点。
为了得到这些和其它优点并根据本发明的目的，作为概括性的和广义的描述，本发明所述的制作LCD的方法包括以下步骤(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封剂的第二基板放到粘接室中，(b)将第一和第二基板对齐，(c)通过施加到基板上的可变压力粘接第一和第二基板，和(d)取出经粘接的第一和第二基板。
步骤(a)优选包括的步骤有(aa)将第一基板吸附到在粘接室内的下工作台上，和将第二基板吸附到上工作台上，(ab)将粘接室内的基板接受装置放置在固定于上工作台上的第二基板下方，(ac)将粘接室抽真空，和(ad)通过静电吸盘(ESC)把第一和第二基板分别固定到工作台上。
步骤(ac)优选包括在将第一基板和第二基板分别吸附到粘接室内的下工作台和上工作台上之后进行的第一次抽真空步骤，和在将基板接受装置放置到固定于上工作台上的第二基板下方后进行的第二次抽真空步骤。
优选的是在第一基板上滴加液晶和涂敷密封剂。
优选的是在步骤(c)中的至少两个阶段改变压力。
步骤(d)优选包括把在下一次粘接时将要粘接的第一和第二基板之一放到上工作台或下工作台上，并取出已粘接的基板的步骤。
所述方法进一步包括在取出基板之前或之后使液晶向密封剂扩散的液晶扩散处理的步骤。
步骤(b)优选包括将粗标记和精确标记依次对齐的步骤。
优选的是，通过移动下工作台将粗标记和精确标记对齐。
优选的是，通过使用彼此分开设置的相机将粗标记和精确标记对齐。
优选的是，通过聚焦到第一玻璃基板和第二玻璃基板之间的中部将粗标记和精确标记对齐。
优选的是，通过交替地聚焦第一玻璃基板上的标记和第二玻璃基板上的标记将粗标记和精确标记对齐。
优选的是，通过在第一玻璃基板和第二玻璃基板之间形成0.4mm-0.9mm的间隙将粗标记对齐。
优选的是，通过在第一玻璃基板和第二玻璃基板之间形成0.1mm-0.4mm的间隙将精确标记对齐。
优选的是，通过使滴加液晶的第一基板与第二基板接触将精确标记对齐。
在面板之间的部分和基板的周边上形成多个粗标记和精确标记。
很显然，上面的一般性描述和下面的详细说明都是示例性和解释性的，其意在对本发明的权利要求作进一步解释。
附图中图1A-1F所示的剖面图示意性地表示现有技术中用液晶滴加法制作LCD的方法步骤；图2所示的流程图示意性地表示按照本发明优选实施例所述制作LCD的方法步骤；图3A-3G所示的剖面图示意性地表示按照本发明的优选实施例所述制作LCD的方法步骤；和图4所示的流程图表示本发明的粘接步骤。
图5A-5C表示用于解释按照本发明优选实施例所述对齐方法的粗标记；图6A-6C表示用于解释按照本发明优选实施例所述对齐方法的精确标记；图7表示在本发明所述的对齐时用于聚焦位置的相机。
图8表示在根据本发明优选实施例的对齐方法中使用的粗标记和精确标记的示例性分布图。
在第一玻璃基板11上设有多个面板，并在每个面板上形成薄膜晶体管阵列(11S)，和在整个表面上形成第一取向膜并进行摩擦(12S)。
在第二玻璃基板13上设有与第一玻璃基板11上的面板相对应的多个面板，并在具有黑底层(black matrix)、滤色层、公用电极等的每个面板上形成滤色器阵列(15S)，在整个表面上形成第二取向膜并进行摩擦(16S)。
分别清洗所形成的第一和第二玻璃基板11和13(13S和17S)。
参见图3A，将液晶12滴加到经清洗的第一玻璃基板11上(14S)。在经清洗的第二玻璃基板13上形成银点(18S)，再在其上涂敷密封剂(19S)。
将第一和第二玻璃基板11和13放到真空粘接室10中进行粘接，使得面板中均匀地充满滴加的液晶，然后，将密封剂固化(20S)。
把粘接的第一和第二玻璃基板11和13逐块切割成单块面板(21S)。
对面板进行抛光和检查，从而完成LCD的制作(22S)。
下面将更详细地说明粘接工艺。图4所示流程图表示了本发明的粘接步骤。
粘接工艺包括的步骤有把两块基板放到真空粘接室中，将两块基板对齐，粘接两块基板，和从真空粘接室中取出经粘接的两块基板。
在放置基板之前，用USC(超声清洗器)清洗涂有密封剂的第二玻璃基板13，以便除去在制作期间形成的微粒。也就是说，由于在第二玻璃基板13上没有滴加液晶，而是涂敷密封剂，所以可以清洗第二玻璃基板13。
参见图3B，在放置步骤中，把涂有密封剂14的第二玻璃基板13吸附和固定到真空粘接室10内的上工作台15上，使涂有密封剂的部分面向下(31S)，并将滴加了液晶12的第一玻璃基板11吸附和固定到真空粘接室10内的下工作台16上(32S)。使真空粘接室10处于准备状态。
下面将进行更加详细的说明。
借助机器人(未示出)的拿取器夹住涂有密封剂14的第二玻璃基板13，使涂有密封剂14的部分面向下，并且将其送入真空粘接室10中。在这种状态下，使真空粘接室10中的上工作台15向下移动，通过真空吸附来吸附和固定第二玻璃基板13，然后向上移动。也可以不用真空吸附，而代之以使用静电吸附。
然后，使机器人的拿取器移出真空粘接室10，并通过机器人的拿取器将滴加了液晶12的第一玻璃基板11放在真空粘接室10中的下工作台16上。
尽管以上表明的是将液晶12滴加在带有薄膜晶体管阵列的第一玻璃基板11上，将密封剂涂敷在第二玻璃基板13上，但是也可以将密封剂涂敷在第一玻璃基板11上，而将液晶滴加在第二基板上，或是在两个玻璃基板中的一个上既滴加液晶又涂敷密封剂，只要滴加了液晶的一个基板位于下工作台上，而另一个基板位于上工作台上即可。
然后，使基板接受装置(未示出)与第二玻璃基板13的底表面相接触(33S)。基板接受装置是通过如下所述的方法与第二基板的底表面相接触的，即首先，通过向下移动上工作台或向上移动基板接受装置使得第二玻璃基板和基板接受装置彼此靠近。然后，通过释放上工作台15的真空吸附力将第二玻璃基板13向下放到基板接受装置上，从而使得第二玻璃基板13的底表面与基板接受装置相接触。
第二，首先使上工作台向下移动一定距离，然后使基板接受器向上移动，使第二玻璃基板13和基板接受装置彼此靠近。随后，通过释放上工作台15的真空吸附力将第二玻璃基板13向下放到基板接受装置上。
第三，在通过向下移动上工作台，使得第二玻璃基板13和基板接受装置彼此靠近之后，向上移动基板接受装置，或是首先向下移动上工作台然后在上工作台15吸附第二玻璃基板13的状态下向上移动基板接受装置。
使基板接受装置位于第二玻璃基板13的下侧，以便防止吸附在上工作台15上的第二玻璃基板13从上工作台15上掉下并因丧失工作台的吸附力而落到第一玻璃基板11上，所述工作台吸附力丧失是在工作台15和16分别真空吸附第一和第二玻璃基板11和13的状态下对真空粘接室10抽真空的过程中，真空粘接室的真空度高于工作台的真空度时而导致的。
因此，可以在对真空粘接室抽真空之前将吸附在上工作台上的第二玻璃基板13向下放到基板接受装置上，或者使吸附有第二玻璃基板的上工作台和基板接受装置处于相隔一定的距离，从而在对真空室抽真空时，可以使第二玻璃基板13自然地从上工作台放到基板接受装置上。此外，在开始对真空粘接室抽真空时，如果真空室在起始阶段可能存在使基板抖动的气流，则可以另外设置用于固定基板的装置。
对真空粘接室10抽真空(34S)。尽管与将要粘接的液晶模式有关，但是真空粘接室10内的真空度范围在IPS模式下为1.0×10-3Pa-1Pa，而在TN模式下为1.1×10-3Pa-102Pa。
对真空粘接室10抽真空可以分两个阶段进行。也就是说，在将基板11和13分别吸附到上下工作台15和16上之后，将真空室的门关闭，开始第一次抽真空。然后，在将基板接受装置移到上工作台15下方并将吸附在上工作台15上的第二玻璃基板13向下放到基板接受装置上之后，或是在上工作台15吸附第二玻璃基板13的状态下使上工作台15与基板接受装置处于相隔一定的距离之后，开始对真空粘接室进行第二次抽真空。在这种情况下，第二次抽真空进行的比第一次抽真空快，并且在第一次抽真空时使得真空粘接室中的真空度不高于上工作台的真空吸附力。
或者，不将抽真空分成第一次和第二次，而是在将基板11和13吸附到相应的工作台15，16上并关闭真空室的门之后，开始以固定的速率抽真空，并在抽真空期间将基板接受装置移到上工作台15的下侧。将基板接受装置移到上工作台下侧的时间要求在真空粘接室10的真空度高于上工作台15的真空吸附力之前。
分两个阶段对真空粘接室抽真空，可防止因对真空粘接室快速抽真空而导致真空粘接室内的基板出现变形或抖动。
一旦将真空粘接室10抽成真空后，上下工作台15和16可通过ESC(静电吸盘)分别吸附和固定第一和第二玻璃基板11和13(35S)，将基板接受装置移到起始位置(36S)。
用ESC(静电吸盘)进行的吸附是通过向两个或多于两个形成在工作台上的平板电极施加负/正DC电压实现的。即，当将正电压或负电压施加到平板电极上时，在工作台上将感应出负电荷或正电荷，从而通过在基板上的导电层(透明电极，例如公用电极或像素电极)和工作台之间产生的库仑力吸附基板。当带有导电层的基板表面面对工作台时，施加0.1-1KV电压，而当带有导电层的基板表面不面对工作台时，施加3-4KV电压。在上工作台15上可设置弹性片。
在将两个基板对齐的步骤中，上工作台15向下移动，使第二玻璃基板13靠近第一玻璃基板11后，将第一玻璃基板11和第二玻璃基板13对齐(37S)。
下面将更详地说明对齐方法。
图5A-5C表示用于解释按照本发明优选实施例所述对齐方法的粗标记，图6A-6C表示用于解释按照本发明优选实施例所述对齐方法的精确标记，而图7表示在本发明的对齐过程中相机的聚焦位置。
参见图5A-5B以及图6A-6B，第一玻璃基板11和第二玻璃基板13带有粗对齐标记(约为3μ大小)(图5A-5C)和精确对齐标记(约为0.3μ大小)(图6A-6C)。第一玻璃基板11的粗对齐标记如图5A所示而精确对齐标记如图6A所示，第二玻璃基板13的粗对齐标记如图5B所示，精确对齐标记如图6B所示。
在真空粘接机上分别设有将粗标记对齐的相机和将精确标记对齐的相机。由于粗标记和精确标记的尺寸不同，位置也不同，所以用一个相机将粗标记和精确标记对齐很困难，因此分别设置了相机。
参照图7，两个相机都聚焦在第一玻璃基板11和第二玻璃基板13之间的中部。
因此，如图3C所示，首先将上工作台向下移动使得第一玻璃基板11和第二玻璃基板13之间的间隙在0.4mm-0.9mm范围内(优选为0.6mm)，将第一玻璃基板11与第二玻璃基板13对齐，使第二玻璃基板13上的粗标记(图5B)准确地位于第一玻璃基板11上的粗标记(图5A)内。
其次，如图3D所示，将上工作台向下移动使第一玻璃基板11和第二玻璃基板13之间的间隙在0.1mm-0.4mm范围内(优选为0.2mm)，将第一玻璃基板11与第二玻璃基板13精确对齐，使第二玻璃基板13上的精确标记(图6B)准确地位于第一玻璃基板11上的精标记(图6A)内。在精确标记对齐时，滴加在第一玻璃基板11上的液晶12可根据需要与第二玻璃基板13相接触。
在这种情况下，由于上工作台15可沿上下方向移动，下工作台可沿X轴和Y轴方向移动，所以在将两个基板对齐时需移动下工作台16。
在将粗标记和精确标记对齐的过程中，可以将相机安装到基板的上侧或下侧，使用相机的作用在于，首先，利用设在基板上侧或下侧的相机可以将第二玻璃基板13上的标记和第一玻璃基板11上的标记之间的中部聚焦从而实现对齐，第二，可变换相机的焦距以便交替地聚焦第二玻璃基板13上的标记和聚焦第一玻璃基板11上的标记，从而提高对齐精度。
第一玻璃基板11和第二玻璃基板13上的粗标记和精确标记的数量分别至少为四个或多于四个，并且所述数量可以随着基板尺寸变大而增加，以便提高精度。将粗标记和精确标记设置在待切割的面板之间的部分上，或是设在形成多个面板的基板的周边上。
参见图8，至少四个粗标记和精确标记形成在第一和第二玻璃基板11和13上。在一个基板上的对齐标记在位置上对应于另一基板上形成的对齐标记。为了提高对齐的准确性，对齐标记的数量可以随着玻璃基板的尺寸的增大而增加。粗标记和精确标记可以在待切割的面板之间的区域中形成或者也可以在基板上形成多个面板区域以外的周边区域中形成。
图5C和6C表示粗标记和精确标记对齐的次数，在粗标记和精确标记对齐的过程中用不同的相机将第一玻璃基板11与第二玻璃基板13对齐，从而使对齐更快，更精确。
参见图3E和3F，当将两个基板对齐时，在通过静电吸盘(ESC)将两个玻璃基板11和13放到相应的工作台15和16上的状态下，向下移动上工作台15，下压第一和第二玻璃基板11和13，从而将两个基板11和13粘接(38S)。通过沿垂直方向移动上工作台15或下工作台16对第一和第二玻璃基板11和13施加压力，与此同时改变各工作台的速度和压力。也就是说，在第一玻璃基板11上的液晶12与第二玻璃基板13接触之前，或是第一玻璃基板11与第二玻璃基板13上的密封剂接触之前，工作台以固定的速度或在固定压力下移动，从接触时开始压力逐渐加大直到达到最终压力。即，用安装到可移动工作台轴上的测力传感器检测接触时间，在接触时，两个玻璃基板11和13受压的压力为0.1ton，然后在中间阶段的压力为0.3ton，在结尾阶段的压力为0.4ton，在最后阶段的压力为0.5ton(参见图3F)。
虽然上工作台借助于一个轴向下压迫基板，但也可以设置多个轴，每个轴上都装有各自的测力传感器，以便各轴独立施压。据此，在下工作台和上工作台因没有达到水平状态而不能均匀施压时，相关的轴可以以较低或较高的压力压下从而使密封剂均匀粘接。
参见图3G，在完成了施压和基板粘接，并撤下静电吸盘(ESC)之后，向上移动上工作台15，使之与相互粘接的两个玻璃基板11和13脱离。
然后，取出已粘接的基板(38S)。即，在完成了粘接后，将上工作台向上移动，并通过机器人的拿取器取出已粘接的第一和第二玻璃基板11和13，或是在将已粘接的第一和第二玻璃基板11和13吸附到上工作台15上并向上移动后，由机器人的拿取器从上工作台15上取下第一和第二玻璃基板11和13。
在这种情况下，为了缩短制作的时间周期，可以把在下一次将要粘接的第一玻璃基板11和第二玻璃基板13之一放到工作台上，并取下已粘接的第一和第二玻璃基板。也就是说，在借助于机器人的拿取器把下一次将要粘接的第二玻璃基板13放到上工作台15上并通过真空吸附固定到上工作台上之后，取下处于下工作台16上的已粘接的第一和第二玻璃基板，或是在上工作台15吸附了已粘接的第一和第二玻璃基板11和13并向上移动后，机器人的拿取器把下一次将要粘接的第一玻璃基板11放到下工作台上，并取出已粘接的第一和第二玻璃基板。
对上述过程而言，可以在取出粘接的基板工序之前加上液晶扩散工序，使液晶在粘接的基板中朝着密封剂扩散。或是在完成取出的操作后没进行液晶扩散的情况下，另外进行液晶扩散处理，使液晶朝着密封剂均匀扩散。在大气压力下或真空条件下进行10分钟以上的液晶扩散处理。
如上所述，本发明所述制作LCD的方法具有以下优点。
首先，由于把液晶滴加在第一基板上而把密封剂涂敷在第二基板上，所以缩短了粘接两个基板的步骤之前的制作周期并提高了LCD的生产率。
第二，将液晶滴加在第一基板上而将密封剂涂敷在第二基板上，使得第一和第二基板的制作工序平衡地进行，从而使生产线能有效地运行。
第三，将液晶滴加在第一基板上而将密封剂和银点涂敷在第二基板上可以使密封剂在最大程度上不受微粒污染，这是因为涂有密封剂的基板可以在粘接之前用超声清洗器(USC)进行清洗。
第四，使基板接受装置处于基板下方的位置，并对真空粘接室抽真空，可以防止吸附到上工作台上的基板从上工作台上落下和摔断。
第五，对第一和第二玻璃基板之间的间隙进行调节并在将粗标记和精确标记对齐时使用彼此分开设置的相机可以快速度和准确地将第一和第二基板对齐。
第六，检测两个基板接触时的时间和改变两个基板粘接时的压力可以最大限度地减小因液晶作用于取向膜而导致的损害。
第七，由于上工作台可借助于多个可单独施压的轴向下压迫基板，所以当下工作台和上工作台因无法达到水平状态而使密封剂不能均匀粘接时，可以通过相应的轴施加较低或较高的压力使密封剂实现均匀粘接。
第八，放入和取出同时进行可以缩短制作的时间周期。
第九，分两个阶段对真空粘接室抽真空，可以防止基板变形和因突然变成真空而在腔室中产生气流。
第十，进行液晶扩散处理缩短了制作LCD的时间周期。
对于熟悉本领域的技术人员来说，很显然，在不脱离本发明构思或范围的情况下，可以对本发明所述制作LCD的方法做出各种改进和变型。因此，本发明意在覆盖那些落入所附权利要求及其等同物范围内的改进和变型。
权利要求
1.制作LCD的方法，包括以下步骤(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封剂的第二基板放到粘接室中，(b)将第一和第二基板对齐，(c)通过施加到基板上的可变压力粘接第一和第二基板，和(d)取出经粘接的第一和第二基板。
2.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(a)包括的步骤有(aa)将第一基板吸附到粘接室内的下工作台上，和将第二基板吸附到上工作台上，(ab)使粘接室内的基板接受装置与固定在上工作台上的第二基板的底表面相接触，(ac)将粘接室抽真空，和(ad)通过静电吸盘把第一和第二基板分别固定到工作台上。
3.根据权利要求2所述的方法，其中步骤(ac)包括的步骤有在将第一基板和第二基板分别吸附到粘接室内的下工作台和上工作台上之后进行第一次抽真空，和在基板接受装置与固定在上工作台上的第二基板接触后进行第二次抽真空。
4.根据权利要求2所述的方法，其中在第一基板上滴加液晶和涂敷密封剂。
5.根据权利要求2所述的方法，其中在步骤(c)中的至少两个阶段改变压力。
6.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(d)包括的步骤有将下一次粘接时将要粘接的第一和第二基板之一放到上工作台或下工作台上，和取出已粘接的基板。
7.根据权利要求1所述的方法，进一步包括在取出基板之前或之后使液晶向密封剂扩散的液晶扩散处理的步骤。
8.根据权利要求1所述的方法，其中步骤(b)包括将粗标记和精确标记依次对齐的步骤。
9.根据权利要求8所述的方法，其中通过移动下工作台将粗标记和精确标记对齐。
10.根据权利要求8所述的方法，其中通过使用彼此分开设置的相机将粗标记和精确标记对齐。
11.根据权利要求8所述的方法，其中通过聚焦到第一玻璃基板和第二玻璃基板之间的中部将粗标记和精确标记对齐。
12.根据权利要求8所述的方法，其中通过交替地聚焦第一玻璃基板上的标记和第二玻璃基板上的标记将粗标记和精确标记对齐。
13.根据权利要求8所述的方法，其中通过在第一玻璃基板和第二玻璃基板之间形成0.4mm-0.9mm的间隙将粗标记对齐。
14.根据权利要求8所述的方法，其中通过在第一玻璃基板和第二玻璃基板之间形成0.1mm-0.4mm的间隙将精确标记对齐。
15.根据权利要求8所述的方法，其中通过使第一基板上滴加的液晶与第二基板接触将精确标记对齐。
16.根据权利要求8所述的方法，其中在面板之间的部分和基板的周边上形成粗标记和精确标记。
全文摘要
制作LCD的方法包括以下步骤(a)把滴加了液晶的第一基板和涂敷有密封剂的第二基板放到粘接室中，(b)将第一和第二基板对齐，(c)通过施加到基板上的可变压力粘接第一和第二基板，和(d)取出经粘接的第一和第二基板。
文档编号G02F1/1339GK1437049SQ0212340
公开日2003年8月20日 申请日期2002年6月26日 优先权日2002年2月6日
发明者李相硕, 朴相昊 申请人:Lg.菲利浦Lcd株式会社