阵列基板及显示装置的制作方法

专利名称：阵列基板及显示装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及液晶显示领域，尤其涉及一种阵列基板及显示装置。
背景技术：
目前薄膜晶体管(ThinFilm Transistor, TFT)液晶显示器的阵列基板中，不同层的金属线通常会出现交叠现象，例如，数据线通常垂直于栅线设置，且数据线与栅线之间通过栅极绝缘层隔开。如图1和图2所示的阵列基板，其中图2为图1阵列基板从A-A'处的层间结构截面示意图，该阵列基板的层间结构从下到上依次是:基板3上设置的第一金属线1、绝缘层4、第二金属线2。其中，第一金属线I与第二金属线2交叠设置。因此，第二金属线2因第一金属线I凸起而产生了高度差。在涂覆光刻胶工艺中，光刻胶5很难粘附在该凸起边缘处，进而使得形成的光刻胶层5与第二金属线2之间沿第一金属线I方向形成了小沟槽6。此时在对第二金属线2进行湿刻工艺时，刻蚀药液7流入小沟槽6内，将交叠边缘处的第二金属线2的金属刻蚀掉，如图3所示，最终导致在未覆盖光刻胶的位置8处形成的第二金属线2的断裂。
发明内容本实用新型的实施例所要解决的技术问题在于提供一种阵列基板及显示装置，能够有效避免第二金属线的断裂。本申请的一方面，提供一种阵列基板，包括第一金属线和第二金属线，所述第一金属线与所述第二金属线交叉设置形成交叠区域，所述第一金属线与所述第二金属线之间通过绝缘层间隔开，且所述第一金属线设置在所述第二金属线的下方，其特征在于，所述第一金属线在所述交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构。进一步的，在所述第一金属线与第二金属线交叠区域内，在与第二金属线平行的方向上，第一金属线线宽与非交叠区域的线宽一致。进一步的,所述锯齿状结构的锯齿宽度为所述第一金属线宽度的10-25%。进一步的，所述第一金属线为栅线，所述第二金属线为数据线，或者，所述第一金属线为数据线，所述第二金属线为栅线。进一步的，所述第一金属线为公共电极线，所述第二金属线为数据线，或者，所述第一金属线为数据线，所述第二金属线为公共电极线。进一步的，所述第一金属线为公共电极线，所述第二金属线为栅线，或者，所述第一金属线为栅线，所述第二金属线为公共电极线。进一步的，所述锯齿状结构的锯齿数量为4-10个。本申请的另一方面，提供一种显示装置，包括上述的阵列基板。本实用新型的阵列基板及显示装置，通过设置第一金属线在交叠区域内的部分为锯齿状结构，增加第二金属线在交叠区域内与光刻胶的接触面积，能够有效避免第二金属线因刻蚀而产生的断裂，增加阵列基板以及显示装置的工作性能。
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为现有技术阵列基板涂覆光刻胶后的俯视图；图2为图1中A-A'处的层间结构截面示意图；图3为现有技术阵列基板第二金属线发生断裂后图1中A-A'处的层间结构截面示意图；图4为本实用新型实施例中阵列基板的结构示意图之一；图5为本实用新型实施例中阵列基板的结构示意图之二 ；图6为图4中B-B'处的层间结构截面示意图；图7为本实用新型实施例中阵列基板的结构示意图之三。
具体实施方式
本实用新型实施例提供一种阵列基板及显示装置，能够有效避免第二金属线的断
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^lPC O以下描述中，为了说明而不是为了限定，提出了诸如特定系统结构、接口、技术之类的具体细节，以便透切理解本实用新型。然而，本领域的技术人员应当清楚，在没有这些具体细节的其它实施例中也可以实现本实用新型。在其它情况中，省略对众所周知的装置、电路以及方法的详细说明，以免不必要的细节妨碍本实用新型的描述。本实施例提供一种阵列基板，如图4所示，包括:第一金属线I和第二金属线2，第一金属线I与第二金属线2交叉设置形成交叠区域。其中，第一金属线I与第二金属线2的位置关系为:第一金属线I设置在下，第二金属线2设置在上。第一金属线I与第二金属线2之间还设置有绝缘层4，所述绝缘层4将所述第一金属线I与所述第二金属线2分隔开来，用于确保第一金属线I与第二金属线2的绝缘性。所述第一金属线I在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构。事实上，对于上述阵列基板而言，该阵列基板通过多次工艺技术，依次形成一层或者多层的层间结构，并最终完成整个阵列基板结构。因此，以形成图4所述的阵列基板结构为例，其形成顺序为:第一金属线1、绝缘层4、第二金属线2。其中，第一金属线I在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构。因此形成在第一金属线I上方的绝缘层4在交叠区域的对应位置上也会具有锯齿状结构。同样的，形成在绝缘层4上方的第二金属线2在交叠区域的对应位置上也会产生锯齿状结构。由于锯齿状结构的存在，使得第二金属线2在所述交叠区域的边缘部分与光刻胶之间的可接触面积增加。此时，在第二金属线2上涂覆光刻胶时，光刻胶与第二金属线2会产生更佳的粘附效果，产生小缝隙的可能性因此变小。在光刻胶的保护下，在进行下一步湿刻工艺时 ，光刻胶可充分的保护第二金属线2，防止第二金属线2断裂给阵列基板带来的影响。需要说明的是，根据阵列基板设置的不同，第一金属线I与第二金属线2可为下述组合中的任意一种，例如:栅线/数据线(前者表示第一金属线，后者表示第二金属线)、数据线/栅线、公共电极线/数据线、数据线/公共电极线、公共电极线/栅线以及栅线/公共电极线。当然，本领域技术人员可以明白，上述的第一金属线I以及上述的第二金属线2还可为阵列基板中所设置的具有其他用途的金属线，在此不做限定。另外，还需要说明的是，第一金属线I在交叠区域内的锯齿状结构除图4所示的锯齿状结构外，还可为其它锯齿状结构，例如:如图5所示的楔形锯齿状结构或者圆角锯齿状结构或者其它常见的锯齿状结构，在此不做限定。优选的，第一金属线与第二金属线交叠区域内，在与第二金属线平行的方向上，第一金属线线宽与非交叠区域的线宽一致。当然，第一金属线线宽与非交叠区域的线宽也可以不一致。例如:阵列基板中第一金属线在交叠区域内的边缘部分可形成如图7所示的锯齿状结构形状，形成的第一金属线在交叠区域内的部分为锯齿状结构，能够有效避免第二金属线因刻蚀而产生的断裂。然而，如图7所示的阵列基板的第一金属线线宽与非交叠区域的线宽并不一致，在第一金属线较细的位置容易发生断线情况，增加使用风险。因此，如图4或图5所示的阵列基板第一金属线线宽与非交叠区域的线宽一致，且在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构的情况为一种较为优选的实施方式。优选的，锯齿状结构的锯齿宽度为第一金属线宽度的10-25%。进一步的，第一金属线为栅线，第二金属线为数据线，或者，第一金属线为数据线，第二金属线为栅线。进一步的，第一金属线为公共电极线，第二金属线为数据线，或者，第一金属线为数据线，第二金属线为公共电极线。进一步的，第一金属线为公共电极线，第二金属线为栅线，或者，第一金属线为栅线，第二金属线为公共电极线。优选的，锯齿状结构的锯齿数量为4-10个。本实用新型的阵列基板，通过将第一金属线在交叠区域内的边缘部分设置为锯齿状结构，增加第二金属线在交叠区域内与光刻胶的接触面积，能够有效避免第二金属线因刻蚀而产生的断裂，增加阵列基板的工作性能。为了本领域技术人员更好的理解本实用新型实施例提供的阵列基板的技术方案，下面通过具体的实施例对本实用新型实施例提供的阵列基板的进行详细说明。作为本实用新型的一种具体实施方式
，以如图4所示的阵列基板为例，其中，如图4所示的阵列基板沿B-B'处的层间结构界面如图6所示，该阵列基板的制作过程可描述如下:步骤1、在基板3上形成第一金属线I。例如:第一金属线I为栅线。该栅线可通过例如:构图工艺或者其它阵列基板中常用的工艺技术形成。形成的栅线在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构(图中未示出)。步骤2、在形成上述图案的基板3上分别形成绝缘层4、第二金属线2，例如:绝缘层4为栅极绝缘层，第二金属线2为数据金属线。事实上，形成的数据金属线在交叠区域内的部分也会产生锯齿状结构。当数据金属线上涂覆一层光刻胶5时，由于数据金属线在交叠区域内的边缘部分形成有锯齿状结构，在交叠区域内的数据金属线与光刻胶5的接触面积得到了增加。因此，涂覆光刻胶的阵列基板形成如图6所示的结构。此时，光刻胶对数据金属线覆盖效果更佳，在进行下一步湿刻工艺时，防止数据金属线因刻蚀而产生的断裂。本实用新型的阵列基板，通过设置第一金属线在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构，增加第二金属线在交叠区域内与光刻胶的接触面积，能够有效避免第二金属线因刻蚀而产生的断裂，增加阵列基板的工作性能。另一方面，本实用新型实施例提供了一种显示装置，包括上述任意一种阵列基板，所述显示装置可以为:液晶面板、电子纸、OLED面板、手机、平板电脑、电视机、显示器、笔记本电脑、数码相框、导航仪等任何具有显示功能的产品或部件。其中，阵列基板结构可以参考上述实施例，在此不再赘述。另外，显示装置其他部分的结构可以参考现有技术，对此本文不再详细描述。本实用新型的显示装置，通过设置第一金属线在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构，增加第二金属线在交叠区域内与光刻胶的接触面积，能够有效避免第二金属线因刻蚀而产生的断裂，增加显示装置的工作性能。以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式
，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。
权利要求1.一种阵列基板，包括第一金属线和第二金属线，所述第一金属线与所述第二金属线交叉设置形成交叠区域，所述第一金属线与所述第二金属线之间通过绝缘层间隔开，且所述第一金属线设置在所述第二金属线的下方，其特征在于，所述第一金属线在所述交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构。
2.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，在所述第一金属线与第二金属线交叠区域内，在与第二金属线平行的方向上，第一金属线线宽与非交叠区域的线宽一致。
3.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述锯齿状结构的锯齿宽度为所述第一金属线宽度的10-25*%。
4.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一金属线为栅线，所述第二金属线为数据线，或者， 所述第一金属线为数据线，所述第二金属线为栅线。
5.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一金属线为公共电极线，所述第二金属线为数据线，或者， 所述第一金属线为数据线，所述第二金属线为公共电极线。
6.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述第一金属线为公共电极线，所述第二金属线为栅线，或者， 所述第一金属线为栅线，所述第二金属线为公共电极线。
7.根据权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述锯齿状结构的锯齿数量为4-10个。
8.—种显示装置，其特征在于，包括权利要求1-7任一项所述的阵列基板。
专利摘要本实用新型公开了一种阵列基板及显示装置，涉及液晶显示领域，能够有效避免第二金属线的断裂。本实用新型实施例的阵列基板，包括第一金属线和第二金属线，第一金属线与第二金属线交叉设置形成交叠区域，第一金属线与第二金属线之间通过绝缘层间隔开，且第一金属线设置在第二金属线的下方，第一金属线在交叠区域内的边缘部分为锯齿状结构。
文档编号G02F1/1368GK203025453SQ20132004723
公开日2013年6月26日 申请日期2013年1月28日 优先权日2013年1月28日
发明者单庆增, 彭志龙 申请人:北京京东方光电科技有限公司