光罩保护膜框体卸除装置的制作方法

专利名称：光罩保护膜框体卸除装置的制作方法
技术领域：
本实用新型有关于一种光罩保护膜框体卸除装置，特别是有关于一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置。
背景技术：
近代半导体科技发展迅速，其中光学微影技术(Optical Lithography)扮演重要的角色，只要是关于图形(pattem)定义，皆需仰赖光学微影技术。光学微影技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光的光罩(photomask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅晶圆(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须保持绝对洁净，因此在一般的晶圆制程中，都提供无尘室(clean room)的环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘状态，因此目前光罩的使用是设置光罩保护装置于光罩上方，使光罩保持洁净，由于光线是依据光罩位置进行聚焦(focus)，即便有微粒沉积于光罩保护框体上，其形成的离焦(defocus)影像对于图形成像质量的不良影响也较小。
如图1所示，为一现有的光罩保护膜的卸除装置1，是用以快速卸除光罩的保护膜12，其光罩保护膜的卸除装置1是以把手固定元件13作为支点，扳动n字型把手11时由连动轴15将n字型把手11末端的插入元件16插进光罩保护膜12的框体的孔洞14，并由杠杆原理将光罩保护膜12的框体卸离光罩。然而，在利用杠杆原理将光罩保护膜的框体卸离光罩并出时，黏合于光罩与框体之间的黏着剂无法完全剥离其中一方，因此取出框体时会出现一部分黏着剂沾黏于框体上，而另一部分黏着剂仍沾黏于光罩上， 一经拉扯容易使得黏着剂弹回光罩表面上，而导致光罩污染或图形损坏。
实用新型内容
为解决先前技术的问题，本实用新型目的是提供一种具有加热装置的 光罩保护膜框体卸除装置。此光罩保护膜框体卸除装置用以卸除一光罩上 的光罩保护膜，其中光罩保护膜是以胶材黏合一框体与一保护膜，形成一 内部空间以保护该光罩上的图形。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元 件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等，承载元 件设置于底座元件上，是用以承载光罩，固定推杆则又设置于承载元件上， 用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩，而具有至少一加热 装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热具有光罩保护膜的光罩至一 预定温度，使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上，而遇热 融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出，另有一卸除元件亦设 于底座元件上，用以将框体与光罩分离。
由于本实用新型光罩保护膜框体卸除装置具有加热装置，加热时可将 黏合框体与光罩的胶材融化并使其附着于框体上，而不会黏着附在光罩面
上，因此当取出框体时，不会发生胶材一部分沾黏于框体上，而另一部分 仍沾黏于光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同时沾黏于框体与光罩间的 保护膜时，胶材弹回光罩上，而导致光罩污染或图形损坏的情形发生，亦 可减少后续处理成本及时间。
因此，本实用新型的主要目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装 置，其具有较佳的卸除效果，可避免因人工的操作不当或施力不当，造成 卸除时刮伤或损坏光罩。
本实用新型的另一目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其具 有较佳的卸除效果，可节省卸除时所花费的时间以及人工成本。
本实用新型的又一目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其加 热装置可将黏合框体与光罩的胶材融化并使其附着于框体上，而不会黏着 附在光罩面上，以减少后续处理成本及时间。
本实用新型的再一 目的在于提供一种光罩保护膜框体卸除装置，其加 热装置具有独立设定时间与温度的功能，可依室温、湿度或胶材融化程度 等变化，而进行设定上的调整。


图1为光罩保护膜的卸除装置的示意图(现有技术)。
图2A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置的一实施例示意图。
图2B为本实用新型具有光罩保护膜光罩的一实施例示意图。
图2C为本实用新型具有把手元件与把手固定元件的一实施例示意图。
图3、图4和图5A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置操作的一 实施例示意图。
图5B为本实用新型具有光罩保护膜光罩的一实施例示意图。 图6A为本实用新型温度设定装置的一实施例示意图。 图6B为本实用新型时间设定装置的一实施例示意图。主要元件符号说明
1光罩保护膜的卸除装置23固定推杆
11n字型把手24把手固定元件
12保护膜241连接构件
13把手固定元件242固定件
14孔洞25把手元件
15连动轴251转动元件
16插入元件252连动轴
2光罩保护膜框体卸除装置26弹性梢
卸除元件27叉取梢
21底座元件28加热装置
211滑动轴281控制面板
22承载元件282电源装置
2831温度设定钮283温度设置装置
2832字段选择钮2844单位时间设定钮
2832a现在温度显示字段2845重设钮
2832b设定温度显示字段285启动装置
2833温度调整钮3具有光罩保护膜的光罩
6284 时间设定装置 31 框体
2841 时间显示字段 311 插槽
2842 单位时间调整钮 32 保护膜
2843 单位时间指示灯 32a 胶材
33 光罩
具体实施方式
由于本实用新型是揭露一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装 置，其中所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现 有技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且下述内文中的图 式，亦并未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本实用新型 特征有关的示意图。
图2A为本实用新型光罩保护膜框体卸除装置一较佳实施例示意图， 此光罩保护膜框体卸除装置2是用以卸除一光罩33上的光罩保护膜32框 体31，其中光罩保护膜32框体31是以胶材32a黏合一光罩33与一框体 31，形成一内部空间以保护光罩33上的图形，其中框体31的侧边上具有 多个贯穿框体31的插槽311，亦可为不贯穿框体31的插槽(未示于图中)。 光罩保护膜框体卸除装置2包含卸除元件2a、底座元件21 、承载元件22、 固定推杆23以及加热装置28等，承载元件22设置于底座元件21上，是 用以承载一具有光罩保护膜的光罩3的四个角，请参考图2B，固定推杆 23则又设置于承载元件22上，用以固定承载于承载元件22上的具有光罩 保护膜的光罩3，而加热装置28是用以加热具有光罩保护膜的光罩3至一 预定温度，使得黏合框体31与光罩33的胶材32a遇热融化并附着于框体 31上，另有一卸除元件2a亦设于底座元件21上，用以将框体31与光罩 33分离，而遇热融化并附着于框体31上的胶材32a可随框体31 —并取出。
其中，卸除元件2a包含至少一滑动轴211、把手固定元件24、固定 件242、把手元件25、弹性梢26、叉取梢27等，滑动轴211设于底座元 件21两边，又相对于底座元件21的两边各设有一个把手固定元件24，是 通过连接构件241而与滑动轴211相连接，并以固定件242将连接构件241 定位于滑动轴211上，另亦设有把手元件25，且此把手元件25大致呈n
7形，是通过转动元件251与把手固定元件24相连接，请参考图2C，而弹 性梢26与叉取梢27皆是通过连动轴252连接至把手元件25的一端，当 推动把手元件25至定位并锁紧时，弹性梢26将定位于具有光罩保护膜的 光罩3的上方，叉取梢27则会伸入框体31的插槽311中，其中弹性梢26 与叉取梢27皆大致为一高分子材质或金属材质所形成，以及具有加热装 置28，可用以加热至一预定温度，且此加热装置28是以电能提供并转换 为热能。
而转动元件251设置于叉取梢27的下方，当转动元件251的短轴(未 示于图中)与叉取梢27接触时，叉取梢27位于把手固定元件24的底端， 当转动元件251的长轴(未示于图中)与叉取梢27接触时，叉取梢27位于 把手固定元件24的顶端，因此转动此转动元件251即可驱动叉取梢27进 行升降移动，其中转动元件251另包含转动杆(未示于图中)，此转动杆的 轴心与转动元件251同轴，因此转动杆在旋转时可带动转动元件251同部 转动。
上述的加热装置28具有一控制面板281，且此控制面板281上包含有 电源装置282用以启动控制面板281，温度设置装置283用以设定一预设 温度，时间设定装置284用以设定一预设时间，以及启动装置285用以启 动控制面板281上的设定并加热。请参考图6A，温度设置装置283上包 含有温度设定钮2831，用以选择欲开始设定温度或重新设定温度，字段选 择钮2832可用以选择欲调整的设定温度显示字段2832b，温度显示字段 2832a则显示出目前的温度，而当温度设置装置283中的现在温度显示字 段2832a与设定温度显示字段2832b有差异时，加热装置28会自动加热 或不加热，以达到设定的温度，以及可用以调整欲加热的预设温度的温度 调整钮2833，其中此温度设置装置283的预设温度为大约8(TC 大约 15(TC。至于时间设定装置284，请参考图6B，包含有时间显示字段2841 ， 是用以显示加热时间，单位时间调整钮2842是用以选择欲设定的单位时 间为时(H)、分(M)或秒(S)，并于单位时间指示灯2843中显示之，单位时 间设定钮2844是用以调整预定的单位时间，以及重设钮2845是用以清除 原有的设定值并可重新设定，其中此时间设定装置284的预设时间为大约 30秒 大约600秒。此光罩保护膜框体卸除装置2的操作过程，请参考图2A,先将具有 光罩保护膜的光罩3放置于光罩保护膜框体卸除装置2的承载元件22上， 并推动固定推杆23至具有光罩保护膜的光罩3时，承载元件22可用以固 定具有光罩保护膜的光罩3的四个角，请参考图3，将把手元件25推动至 定位并利用固定件242锁紧，此时弹性梢26将定位于具有光罩保护膜的 光罩3的上方，叉取梢27则会置于框体31的插槽311旁，并启动加热装 置28加热至一预定温度，使得黏合框体31与光罩33的胶材32a遇热融 化并附着于框体31上，而不会黏着附在光罩33上，请参考图4，接着再 将把手元件25向下施压，叉取梢27会伸入框体31的插槽311中，并且 穿过该插槽311，请参考图5A，将把手元件25向上升起，叉取梢27由连 动轴252的转动向上升起时，会连带将框体31往上抬起，当框体31接触 弹性梢26时，弹性梢26会内縮，当框体31经过并到达弹性梢26上方时， 弹性梢26会外弹并支撑住框体31，以将框体31与光罩33分离，光罩33 会置于承载元件22上，而遇热融化并附着于框体31上的胶材32a即可随 框体31—并取出，请参考图5B，因此不会发生胶材32a—部分沾黏于框 体31上，而另一部分仍沾黏于光罩33上的情形，由此可完全避免拉扯同 时沾黏于框体31与光罩33间的胶材32a时，胶材32a弹回光罩33上， 而导致光罩33污染或图形损坏的情形发生，亦可减少后续处理成本及时 间。
本实用新型乃针对先前技术加以改良，本实用新型具有加热装置的光 罩保护膜框体卸除装置，可于加热时可将黏合框体与保护膜的胶材融化并 使其附着于框体上，因此当取出框体时，不会发生胶材一部分沾黏于框体 上，而另一部分仍沾黏于光罩上的情形，由此可完全避免拉扯同时沾黏于 框体与光罩间的胶材时，胶材弹回光罩上，而导致光罩污染或图形损坏的 情形发生。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并非用以限定本实用新 型的权利要求；同时以上的描述，对于熟知本技术领域的专门人士应可明 了及实施，因此其它未脱离本实用新型所揭示的精神下所完成的等效改变 或修饰，均应包含在所述的权利要求范围中。
权利要求1、一种光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜框体，其中该光罩保护膜框体以胶材黏合一光罩与一框体，形成一内部空间以保护该光罩上的图形，该光罩保护膜框体卸除装置包含一底座元件；至少一承载元件，设置于该底座元件上，用以承载该光罩；至少一固定推杆，设置于该承载元件上，用以固定承载于该承载元件上的该具有光罩保护膜的光罩；至少一卸除元件，设于该底座元件上，用以将该框体与该光罩分离；其特征在于，具有至少一加热装置，与该底座元件具有电性相接，用以加热该具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合该框体与该光罩的胶材会遇热融化并附着于该框体上，而遇热融化并附着于该框体上的胶材可随该框体一并取出。
2、 如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 框体具有至少一侧边，且该侧边上具有至少一插槽。
3、 如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当 推动该固定推杆至该具有光罩保护膜的光罩时，该承载元件用以固定该具 有光罩保护膜的光罩的四个角。
4、 如权利要求1所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 卸除元件包含至少一滑动轴设于该底座元件上。
5、 如权利要求4所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 卸除元件另包含至少一把手固定元件，由至少一连接构件与该滑动轴相连 接。
6、 如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 卸除元件另包含至少一固定件，用以将该连接构件定位于该滑动轴上。
7、 如权利要求5所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 卸除元件另包含至少一把手元件，由至少一转动元件与该把手固定元件相 连接。
8、 如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该卸除元件另包含至少一弹性梢，由至少一连动轴连接至该把手元件的一"V山乂而。
9、 如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，当 推动该把手元件至定位并锁紧时，该弹性梢将定位于该具有光罩保护膜的 光罩的上方。
10、 如权利要求8所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 卸除元件另包含至少一叉取梢，由该连动轴连接至该把手元件的该端。
11、 如权利要求2或10项所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征 在于，当推动该把手元件至定位并锁紧时，该叉取梢会伸入该插槽中。
12、 如权利要求7所述的光罩保护膜框体卸除装置，其特征在于，该 转动元件设置于该叉取梢的下方，当该转动元件的短轴与该叉取梢接触 时，该叉取梢位于该把手固定元件的底端，当该转动元件的长轴与该叉取 梢接触时，该叉取梢是位于该把手固定元件的顶端。
专利摘要本实用新型提供一种具有加热装置的光罩保护膜框体卸除装置，用以卸除一光罩上的光罩保护膜。此光罩保护膜框体卸除装置包含底座元件、卸除元件、承载元件、固定推杆、加热装置以及卸除元件等，承载元件设置于底座元件上，用以承载光罩，固定推杆则又设置于承载元件上，用以固定承载于承载元件上的具有光罩保护膜的光罩，而加热装置是用以加热具有光罩保护膜的光罩至一预定温度，使得黏合框体与光罩的胶材遇热融化并附着于框体上，另有一卸除元件亦设于底座元件上，用以将框体与光罩分离，为此可避免因胶材的沾黏与拉扯而导致光罩污染或图形损坏。
文档编号G03F7/20GK201262685SQ20082013363
公开日2009年6月24日 申请日期2008年9月4日 优先权日2008年9月4日
发明者杨家豪 申请人:家登精密工业股份有限公司