金刚石涂层的钛振动膜的制作方法

专利名称：金刚石涂层的钛振动膜的制作方法
技术领域：
本实用新型是关于一种金刚石涂层的声学器械的钛振动膜。
振动膜材料的选择有三个要素一是重量轻，使其响应敏捷；二是刚性高，使其避免分割振动；三是有适度的内部损失因素，在使用频率区域内产生分割振动时，使共振峰小，并使其输出声压频率特性平坦。
目前国内常用的最好高音振膜材料为钛膜，但其频响范围一般只有1.7～20kHz，灵敏度为90.5～91dB，而且由于其刚性不够高，在高频时产生分割振动，另外内部损失因素较差，使振动膜发出的声音有金属声，不够圆润柔和。
本实用新型的目的在于克服上述不足，并提供了一种钛振动膜上涂覆金刚石涂层的新型振动膜。
本实用新型为实现上述目的而提出以下技术方案将现有钛振动膜上用直流电弧喷射方法涂覆金刚石涂层，还可在金刚石涂层上再涂覆一层钛，金刚石涂层的厚度为1～30微米，被涂覆的钛振动膜膜面可为球形面。
本实用新型的特点是振动膜材料刚性好，内部损失因素好，是一种高灵敏度(94～96dB)和频响范围高频方向展宽25％的振膜材料。灵敏度比涂覆金刚石前提高3～6dB，频响范围展宽5kHz，频响范围达到2.2kHz～25kHz。
本实用新型的具体结构由附


图1～4给出。
图1为涂覆金刚石涂层的球形面钛振动膜的主视图。
图2为涂覆金刚石涂层的球形面钛振动膜的俯视图。
图3为金刚石涂层上再涂覆钛的钛振动膜主视图。
图4为金刚石涂层上再涂覆钛的钛振动膜俯视图。
图中的具体结构为金刚石涂层1、钛2、钛振动膜3。
以下结合附图对本实用新型加以详细说明这种金刚石涂层的声学器械的钛振动膜3上涂覆一层金刚石涂层1，金刚石涂层的厚度为1～30微米，钛振动膜也可为球形面，涂覆有金刚石涂层的膜面上还可再涂覆一层钛2。
实施例一平面膜取一机械抛光表面整平的平面钛膜做为基片，用300＃砂纸、600＃砂纸置于玻璃平面上研磨，用5微米粒径的碳化硼与无水乙醇悬浮液在超声清洗器中处理10分钟，除去油污、除去水分并使其表面产生刻痕以利于生长金刚石，用无水乙醇再次清洗。将该基片放入直流电弧喷射沉积金刚石装置，在0.02乇真空度、一定电流强度及气体反应源条件下生长金刚石薄膜。另因振动膜口径不同，可再镀一层钛膜，即得到三层结构的振动膜材料。
实施例二球面膜取一弦长25mm的球面钛振动膜做为基片，用5微米粒径的碳化硼与无水乙醇悬浮液在超声清洗器中处理10分钟，除去油污、除去水分并使其表面产生刻痕以利于生长金刚石，用无水乙醇再次清洗。在该基片上用上述同样方法和装置生长一层金刚石薄膜，即得到可以实际使用的新型振动膜，实际使用结果见下表YDQG5－1球顶高音扬声器实际使用结果
权利要求1.一种金刚石涂层的钛振动膜，其特征在于钛振动膜上涂覆金刚石涂层。
2.如权利要求1所述的钛振动膜，其特征在于所涂覆金刚石涂层的钛振动膜可为球形面。
3.如权利要求1所述的钛振动膜，其特征在于钛振动膜的金刚石涂层上再涂覆一层钛。
4.如权利要求1所述的钛振动膜，其特征在于钛振动膜上所涂覆的金刚石涂层的厚度为1～30微米。
专利摘要一种金刚石涂层的声学器械的钛振动膜，其特征在于钛振动膜上涂覆金刚石涂层，钛振动膜也可为球形面。该振动膜材料刚性好，内部损失因素较好，是一种高灵敏度和频响范围向高频方向展宽25％的振膜材料，灵敏度比涂覆金刚石前提高3～6dB，频响范围展宽5kHz，频响范围达到2.2kHz～25kHz，其制造工艺简单，是一种理想的振动膜。
文档编号G10K9/00GK2150611SQ9320899
公开日1993年12月22日 申请日期1993年4月14日 优先权日1993年4月14日
发明者李荣志, 朱鹤孙, 张志伟 申请人:北京理工大学