缺陷检查装置及其方法

专利名称：缺陷检查装置及其方法
技术领域：
本发明涉及缺陷检查装置及其方法，更详细地说，涉及用于检查复印机、打印机、传真机等中使用的电子照相用感光体表面的缺陷检查装置及其方法。
背景技术：
复印机、打印机、传真机等中使用的电子照相用感光体在制造工序中其表面有时会有损伤、异物、涂布不匀等缺陷发生，作为这类缺陷的检查方法一般由检验员进行目视检查。但是，在目视检查中因检验员的个人差别会发生偏差等，因此，提出了各种自动检查方法及检查装置以代替上述目视检验。
例如，作为先有技术可以列举特开平9-325120号公报(以下简记为“先有技术例1”)中公开的检查装置，从一光源将光照射在电子照相用感光体上，用一摄像机接收来自电子照相用感光体的反射光，根据其输出的电信号检查针孔、伤痕、涂膜损伤、垃圾等电子照相用感光体表面的表面凹凸变化率大的凹凸状缺陷，以及感光层的涂膜不匀等的表面凹凸变化率小的浓淡不匀状缺陷。另外，在特开平7-128240号公报(以下简记为“先有技术例2”)及特开平7-128241号公报(以下简记为“先有技术例3”)中，公开了下述检查装置相对一光源设置若干CCD摄像机，或相对一台CCD摄像机设置若干台光源，分若干次对凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷进行摄影。
但是，若按照上述先有技术例1，由于凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷的是否合格的判定基准不同，在不区别两种缺陷进行摄影的光学系统中，只能按照判定基准严的缺陷进行合格与否的判定，这样，本来应是合格品的可能作为不合格品废弃，或者通过检验员对缺陷检查装置判定的不合格品再次进行检查。另外，虽然由于结构简单，具有光学系统调整容易的优点，但是，若希望提高凹凸状缺陷、浓淡不匀状缺陷中某一方的摄影灵敏度，存在另一方的摄影灵敏度低下的问题。
若按照上述先有技术例2和3，虽然通过使用若干台光源或若干台CCD摄像机能提高凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷两方的摄影灵敏度，但是，由于分若干次进行摄影，存在检查时间长的问题。且相对一台光源或CCD摄像机设置若干CCD摄像机或光源，存在调整作业烦杂的问题。

发明内容
本发明就是为解决上述先有技术所存在的问题而提出来的，本发明的目的在于，提供一种缺陷检查装置及其方法，其通过各光学系统对表面凹凸变化率大的缺陷以及表面凹凸变化率小的缺陷进行摄影，能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，降低过剩检查所引起的损失。
为了实现上述目的，本发明提出一种缺陷检查装置，其特征在于，包括第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段；第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段；运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行此较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
因此，通过各自的光学系统检出被检查物的凹凸状缺陷、色浓淡不匀状缺陷，能用适合各缺陷种类的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定是否合格。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储在存储手段中的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，使得使用上述第一光学系统所得到的图象位置与使用上述第二光学系统所得到的图象位置一致。因此，能正确计算缺陷位置，更正确地判定缺陷种类。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，上述第二摄像手段设定在不受取正反射光的位置。因此，能防止第二摄像手段检出凹凸状缺陷，更正确地判定缺陷种类。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置扩散板。因此，能使光均一地照射在被检查物上，更正确地判定色浓淡不匀状缺陷的浓度变化。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置颜色滤光片。因此，能以高对比度摄得色浓淡不匀状缺陷，容易从所摄图象提取缺陷。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，上述颜色滤光片使用与被检查物同类色的颜色滤光片。因此，容易提取正常部分与缺陷部分色调不同那种色浓淡不匀状缺陷。
根据本发明的缺陷检查装置，其特征还在于，使用远心透镜作为将来自被检查物的正反射光集光到上述第一摄像手段上的受光透镜。因此，即使由于被检查物摇晃等引起被检查物与受光透镜之间距离变化也能使摄得的缺陷大小为一定，能正确地判定凹凸缺陷大小。
为了实现上述目的，本发明提出一种缺陷检查方法，其特征在于，从第一光源经同轴反射将光照射在被检查物表面上，在第一受光手段受取来自被检查物表面的正反射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，与此同时，从第二光源以偏离被检查物表面法线方向所定角度的倾斜方向将光照射在被检查物表面上，在第二受光手段受取来自被检查物表面的散射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，将来自第一受光手段的电信号与第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二受光手段的电信号与第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，减少因过剩检查而引起的损失。
根据本发明的缺陷检查方法，其特征还在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。
下面说明本发明的效果。
按照本发明的缺陷检查装置，包括第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段；第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段；运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行此较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
因此，通过各自的光学系统检出被检查物的凹凸状缺陷，色浓淡不匀状缺陷，能用适合各缺陷种类的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定是否合格。
按照本发明的缺陷检查装置，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储在存储手段中的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。
按照本发明的缺陷检查装置，使得使用上述第一光学系统所得到的图象位置与使用上述第二光学系统所得到的图象位置一致，能正确计算缺陷位置，更正确地判定缺陷种类。
按照本发明的缺陷检查装置，上述第二摄像手段设定在不受取正反射光的位置，能防止第二摄像手段检出凹凸状缺陷，更正确地判定缺陷种类。
按照本发明的缺陷检查装置，，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置扩散板，能使光均一地照射在被检查物上，更正确地判定色浓淡不匀状缺陷的浓度变化。
按照本发明的缺陷检查装置，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置颜色滤光片，能以高对比度摄得色浓淡不匀状缺陷，容易从所摄图象提取缺陷。
按照本发明的缺陷检查装置，上述颜色滤光片使用与被检查物同类色的颜色滤光片，容易提取正常部分与缺陷部分色调不同那种色浓淡不匀状缺陷。
按照本发明的缺陷检查装置，使用远心透镜作为将来自被检查物的正反射光集光到上述第一摄像手段上的受光透镜，即使由于被检查物摇晃等引起被检查物与受光透镜之间距离变化也能使摄得的缺陷大小为一定，能正确地判定凹凸缺陷大小。
按照本发明的缺陷检查方法，从第一光源经同轴反射将光照射在被检查物表面上，在第一受光手段受取来自被检查物表面的正反射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，与此同时，从第二光源以偏离被检查物表面法线方向所定角度的倾斜方向将光照射在被检查物表面上，在第二受光手段受取来自被检查物表面的散射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，将来自第一受光手段的电信号与第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二受光手段的电信号与第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，减少因过剩检查而引起的损失。
按照本发明的缺陷检查方法，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。因此，能判定是凹凸状缺陷，还是色浓淡不匀状缺陷，根据判定结果，使用各专用的合格与否判定算法进行判定，能正确地判定缺陷。


图1是本发明第一实施例的缺陷检查装置构成概略图；图2是照射被检查物时因有无缺陷部而引起的反射光状态图，其中，图2A表示被检查物表面无缺陷部场合反射光状态图，图2B表示被检查物表面有凸缺陷部场合反射光状态图；图3表示从偏离法线方向所定角度照射被检查物表面时的正反射光和散射光的状态图；图4是本发明第二实施例的缺陷检查装置构成概略图；图5是第一比较例的缺陷检查装置构成概略图；图6是第二比较例的缺陷检查装置构成概略图；具体实施方式
下面参照附图，详细说明本发明实施例。
本发明的缺陷检查装置包括第一光学系统，第二光学系统及运算装置，上述第一光学系统设有将光同轴反射照射在被检查物的表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段，上述第二光学系统设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段，上述运算装置将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行比较，检出被检查物的表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
在本发明中所说的“同轴反射照明”是指下述照明方法相对被检查物的被检查部从垂直方向照射光，在被检查部得到沿垂直方向反射的正反射光，受取该正反射光。
图1是本发明第一实施例的缺陷检查装置构成概略图。在该图中，标号1表示被检查物，在本实施例中，为电子照相用感光体，其可以在例如直径φ30mm，长度340mm，壁厚0.8mm的圆筒状铝基体上顺序形成底层、电荷发生层、电荷输送层。本实施例的缺陷检查装置包括驱动装置2，与被检查物1同轴固定的从动皮带轮3，驱动装置2的驱动皮带轮4，挂架在上述从动皮带轮3和驱动皮带轮4上使得被检查物1以每分钟60转回转的张架带5，同轴反射照明用光源6，使得发自光源6的光全反射的全反射镜7，半反射镜8，使得从被检查物1反射通过半反射镜8的反射光集光在后述一维CCD摄像机10上的受光透镜9，将受光的法线方向的反射光变换为电信号的单色256浓淡等级的一维CCD摄像机10，斜射光照明用线状光源11，使得来自被检查物1的散射光集光在后述一维CCD摄像机13上的受光透镜12，将受光的散射光变换为电信号的单色256浓淡等级的一维CCD摄像机13，将从各一维CCD摄像机10、13送来的电信号与预先设定的阈值比较、进行双值化处理、判定被检查物1表面有无缺陷的运算装置14。
下面，说明上述构成的本实施例的缺陷检查装置的动作。从光源6发出的光在全反射镜7被反射导向半反射镜8，在半反射镜8被反射，从法线方向照射在由驱动装置2驱动作轴回转的被检查物1的表面上。在被检查物1表面反射的光透过半反射镜8再通过受光透镜9在单色256浓淡等级的一维CCD摄像机10受光，将其变换为电信号。另一方面，线状光源11设在偏离被检查物1的法线方向倾斜例如30°的位置，从该线状光源11向着被检查物1照射光，受光透镜12设在不受取来自被检查物1的正反射光的位置，通过受光透镜12的光在单色256浓淡等级的一维CCD摄像机13受光，将其变换为电信号。接着，将在一维CCD摄像机10，13变换的电信号送向运算装置14，在运算装置14处里从各一维CCD摄像机10、13送来的电信号，判定是否合格。
在此，使用同轴反射照明光学系统摄影的缺陷即根据来自CCD摄像机10的电信号检查结果而知的缺陷是被检查物1的表面凹凸状缺陷。如图2A所示，若是正常表面的话，从法线方向照射被检查物1表面的光主要沿法线方向反射。但是，如图2B所示，若表面有凹凸状缺陷的话(图中显示表面有凸状缺陷)，则反射角度发生变化，沿法线方向以外反射，即沿存在CCD摄像机10方向以外的方向反射，在所摄得的图象中，表面凹凸状缺陷部比周围正常部浓。即求得所摄影的图象浓度平均值，加上预先设定的能判断为正常的浓度差，将该值作为阈值，通过双值化，将正常部变换为“1”(白)，将缺陷部变换为“0”(黑)，能特定缺陷部。然后，通过计数所特定的缺陷部的面积即对图象数据为“0”部分进行计数，能算出缺陷部的大小，再与预先设定的相当于表面凹凸缺陷大小标准值的阈值比较，判定合格与否。
另外，使用斜射光照明光学系统摄影而得的缺陷即根据来自CCD摄像机13的电信号检查结果而知的缺陷是被检查物1的色浓淡不匀状缺陷。如图3所示，从法线方向倾斜所定角度例如30°方向照射到被检查物1表面的光在该表面上发生反射，所产生的反射光有正反射光及散射光，上述正反射光是以与照射角度相同的角度发生的反射光，上述散射光在所有方向发生漫反射，哪种都随被检查物表面状态而发生增减。但是，正反射光因表面凹凸状缺陷而发生方向变化，CCD摄像机受光量会发生极端变化，因此，希望仅受取散射光。于是，通过将CCD摄像机13设置在不受取来自被检查物1的正反射光的位置，能避免因表面凹凸状缺陷而影响光量变化，仅对因浓淡不匀而引起的散射光的变化进行摄影。若是正常表面的话，CCD摄像机13所摄图象为大致均一浓度，若所摄图象存在比正常部浓度浓或淡的部分的话，则存在浓淡不匀缺陷，求得所摄影的图象浓度平均值，加上预先设定的能判断为正常的浓度差，将该值作为阈值，进行双值化。在此，存在浓淡不匀状缺陷部比正常部浓场合和比正常部淡场合。即双值化作业需要二次平均浓度+(正)浓度差和平均浓度-(负)浓度差。该双值化的两图象成为正常部为“1”(白)、缺陷部为“0”(黑)，以及正常部为“0”(黑)、缺陷部为“1”(白)，若是正常部为“1”(白)、缺陷部为“0”(黑)，能根据有无图象数据为“0”的部分，判定是否合格，若是正常部为“O”(黑)、缺陷部为“1”(白)，则能根据有无图象数据为“1”的部分，判定是否合格。因此，按照本实施例的电子照相用感光体的缺陷检查装置，能用适合各形态的算法进行判定。
在图1实施例的装置中，计算从上述用同轴反射照明光学系统摄影图象和用斜射光照明光学系统摄影图象提取的缺陷在被检查物1轴向的距离。如第一实施例那样，被检查物1为圆筒状场合，缺陷数在一被检查物1内大约数个程度，所以，若在圆筒轴向位置一致，可以推断为同一缺陷，若考虑可能表面凹凸状缺陷及色浓淡不匀状缺陷复合，必须考虑双方进行判定场合，表面凹凸状缺陷判定基准及色浓淡不匀状缺陷判定基准可以适用不同的判定基准。被检查物1为带状场合，可以按带长度方向的各单位长度计算在带宽度方向的位置，进行比较。这时，运算处理用同轴反射照明光学系统摄影图象，推断缺陷位置存储，运算处理用斜射光照明光学系统摄影图象，推断缺陷位置存储，通过比较存储在存储手段中的两方位置信息，判别缺陷种类。
需要使得两光学系统摄影图象上的位置关系完全一致场合，先设定使得图1的两台一维CCD摄像机10，13的视场范围相同。接着，使得一维CCD摄像机10，13处于被检查物1上相隔180°的位置，被检查物1以每分钟60转回转，因此，两台摄像机的摄影时间相差0.5秒，开始摄影。这样，容易比较两图象上的缺陷位置，很容易识别凹凸状或浓淡不匀状是单方缺陷还是两者复合缺陷。
在此，说明需要考虑两方进行缺陷判定的方法。若是表面凹凸状缺陷，将例如从正面看到的最长部的长度或缺陷部的面积作为基准，判定是否合格。另一方面，若是浓淡不匀状缺陷，根据与正常部的浓淡差量判定是否合格。但是，表面凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷在同一处存在场合，即两者复合场合，与单方存在场合相比，给予制品质量的影响大，因此，有时需要严格判定基准。这样，需要严格判定基准场合，先从用同轴反射照明光学系统摄影图象通过双值化处理提取表面凹凸状缺陷部，计算所提取的缺陷在摄影图象内的位置。接着，从用斜射光照明光学系统摄影图象通过双值化处理提取浓淡不匀状缺陷部，计算所提取的缺陷在摄影图象内的位置。此后，判断在各算得坐标的预先设定范围内是否存在另一方坐标数据，若存在这种坐标数据，则将其作为需要考虑两方进行判定的缺陷，使用严格的阈值，判定是否合格。若不存在这种坐标数据，则将其作为单一缺陷，使用较宽松的阈值，判定是否合格。当然，没有必要求取各提取缺陷的全部缺陷数据坐标进行比较，可以将邻接缺陷数据作为一个缺陷求取坐标平均值，或求取邻接缺陷的重心坐标进行比较。
另外，在用斜射光照明光学系统中，若一维CCD摄像机13处于受取正反射光的位置，受取来自被检查物1的表面凹凸的正反射光，则有时成为过剩判定，因此，调整斜射光照明光学系统的一维CCD摄像机13的位置以及线状光源11的位置，使得正反射光不射入一维CCD摄像机13中。这样，能仅摄取色浓淡不匀状的缺陷，正确判定色浓淡不匀状的缺陷。
图4是本发明第二实施例的缺陷检查装置构成概略图，在该图中，与图1相同标号表示相同的构成要素。在图2中，作为不同的构成要素，是在线状光源11和被检查物1之间设有乳白色的丙烯酸板作为扩散板，图中标号为15。从线状光源11射出的光通过该扩散板15被扩散成为散射光，照射在受驱动装置2驱动进行轴回转的被检查物1上。这样，光均一地照射在被检查物1上，能摄得均一图象，能正确判别色的浓淡不匀状缺陷而引起的浓度变化。本实施例的扩散板15为乳白色的丙烯酸板，但并不局限于此，也可以是例如红色的透明丙烯酸板。通过使红色光照射在被检查物1上，能提高所摄图象的反差，因此，在色浓淡不匀状缺陷场合，能突出正常部与缺陷部的浓度差，容易提取缺陷。在此，即使使用橙色或黄色透明丙烯酸板也同样能提高反差。
在本实施例中，使用电子照相用感光体作为被检查物1，其是在铝基体上形成白色底层，再在其上涂布青绿色的电荷发生层，进而，在其上涂布带黄色的呈透明膜的电荷输送层，因此，呈现绿色。这样，也可以设置绿色的透明丙烯酸板作为上述扩散板15。通过照射与被检查物1同类色的光，由于电荷输送层的迸开，能见底层的色，容易摄得正常部与缺陷部色调不同那样的浓淡不匀状缺陷，容易进行缺陷提取时的双值化处理。
在图1和图4中，使用物体侧远心透镜(telecentric 1ens)作为同轴反射光学系统的受光透镜9，即使因被检查物1摇晃等引起被检查物1和受光透镜9间的距离变化，也能使得所摄得的缺陷大小为一定，能正确判定凹凸状缺陷的大小。
图5是第一比较例的缺陷检查装置构成概略图，在该图中，与图1相同标号表示相同的构成要素。在该图所示第一比较例中，线状光源11设置在以所定角度偏离被检查物1法线方向的倾斜位置，从线状光源11对着被检查物1照射光，通过驱动装置2驱动被检查物1作轴回转，受光透镜16设置在受取从被检查物1发出的散射光的位置，光通过上述受光透镜16，在单色256等级的一维CCD摄像机17受光，变换成电信号。然后，经上述一维CCD摄像机17变换的电信号被送向运算装置18。在运算装置18将送来的电信号与预先设定的阈值比较，进行双值化处理，判定被检查物1表面有无缺陷，此后，根据算法判定是否合格。在此，受光透镜16及一维CCD摄像机17的位置调整为能合适地受取来自被检查物1的正反射光和散射光，使得能摄得凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷两方。在该比较例1的方法中，在一图象中摄得凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷两方，用于判定是否合格的阈值只能设定为与最严重缺陷一致的阈值，判定为不合格的数量增加。
图6是第二比较例的缺陷检查装置构成概略图，在该图中，与图1相同标号表示相同的构成要素。在该图所示第二比较例中，线状光源11设置在以所定角度偏离被检查物1法线方向的倾斜位置，从线状光源11对着被检查物1照射光，通过驱动装置2驱动被检查物1作轴回转，受光透镜19设置在受取从被检查物1发出的正反射光的位置，正反射光通过上述受光透镜19，在单色256等级的一维CCD摄像机20受光，变换成电信号，送向运算装置21。另外，受光透镜22设置在受取从被检查物1发出的散射光的位置，散射光通过上述受光透镜22，在单色256等级的一维CCD摄像机23受光，将其变换成电信号，送向运算装置21。然后，在运算装置21将从一维CCD摄像机20，23送来的电信号与预先设定的阈值比较，进行双值化处理，判定有无缺陷，此后，根据算法判定是否合格。在该第二比较例方法中，由于进行二次摄影，检查时间需要化费二倍。另外，为了使得两台摄像机不干涉，只能使得设置位置离开，因此，被检查物1与受光透镜22之间必须隔一定的距离，分辨率低下。
上面参照

了本发明的实施例，但本发明并不局限于上述实施例。在本发明技术思想范围内可以作种种变更，它们都属于本发明的保护范围。
权利要求
1.一种缺陷检查装置，其特征在于，包括第一光学系统，设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源以及受取来自被检查物的正反射光再将其变换成第一电信号的第一摄像手段；第二光学系统，设有使光斜射照在被检查物上的第二光源以及受取来自被检查物的散射光再将其变换成第二电信号的第二摄像手段；运算装置，将来自第一摄像手段的第一电信号与预先设定的第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二摄像手段的第二电信号与预先设定的第二阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
2.根据权利要求1中所述的缺陷检查装置，其特征在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储在存储手段中的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
3.根据权利要求2中所述的缺陷检查装置，其特征在于，使得使用上述第一光学系统所得到的图象位置与使用上述第二光学系统所得到的图象位置一致。
4.根据权利要求1-3中任一个所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述第二摄像手段设定在不受取正反射光的位置。
5.根据权利要求1-3中任一个所述的缺陷检查装置，其特征在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置扩散板。
6.根据权利要求1-3中任一个所述的缺陷检查装置，其特征在于，在上述第二光源与被检查物之间的光通道上设置颜色滤光片。
7.根据权利要求1-3中任一个所述的缺陷检查装置，其特征在于，上述颜色滤光片使用与被检查物同类色的颜色滤光片。
8.根据权利要求1-3中任一个所述的缺陷检查装置，其特征在于，使用远心透镜作为将来自被检查物的正反射光集光到上述第一摄像手段上的受光透镜。
9.一种缺陷检查方法，其特征在于，从第一光源经同轴反射将光照射在被检查物表面上，在第一受光手段受取来自被检查物表面的正反射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，与此同时，从第二光源以偏离被检查物表面法线方向所定角度的倾斜方向将光照射在被检查物表面上，在第二受光手段受取来自被检查物表面的散射光，将其变换成电信号，存储在存储手段中，将来自第一受光手段的电信号与第一阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将来自第二受光手段的电信号与第二阈值进行比较-检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
10.根据权利要求9中所述的缺陷检查方法，其特征在于，运算处理使用上述第一光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，运算处理使用上述第二光学系统所得到的图象，算出缺陷位置存储，将存储的上述两方的位置信息进行比较，位置信息一致场合，将第一电信号与预先设定的和上述第一阈值不同的第三阈值进行比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的和上述第二阈值不同的第四阈值进行比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。
全文摘要
本发明涉及缺陷检查装置及其方法，缺陷检查装置包括第一光学系统，第二光学系统及运算装置。第一光学系统设有将光同轴反射照射在被检查物表面上的第一光源(6)和受取来自被检查物的正反射光将其变换成第一电信号的第一摄像手段(10)；第二光学系统设有使光斜射在被检查物上的第二光源(11)和受取来自被检查物的散射光将其变换成第二电信号的第二摄像手段(13)；运算装置(14)将第一电信号与预先设定的第一阈值比较，检出被检查物表面凹凸状缺陷，将第二电信号与预先设定的第二阈值比较，检出被检查物的色浓淡不匀状缺陷。能高效地检查凹凸状缺陷和浓淡不匀状缺陷，减少因过剩检查而引起的损失。
文档编号G03G21/00GK1393690SQ02123030
公开日2003年1月29日 申请日期2002年6月12日 优先权日2001年6月21日
发明者石浦资昭, 宫崎邦彦, 一藤克己 申请人:株式会社理光