光学元件固定装置的制作方法

专利名称：光学元件固定装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种固定装置，尤其涉及一种光学元件固定装置。
背景技术：
在复杂的光学系统中，尤其在双频激光干涉测量系统中，经常出现折转光 束、分解光束等需求，因此经常会使用分立的分光镜、反射镜等薄片型光学元
件。由于对祐:折转、分解光束的位置和方向均有一定要求，因此所述光学元件 在光学系统中的安装方向和位置精度也有相应要求。
目前，光学系统中出现光束转折或者分解的需求时，通常将反射镜或平面 镜等光学元件直接固定在镜座上，通过镜座上的一些接口，将反射镜或平面镜 引入到光学系统中。
但是，由于现有技术的镜座截面为三角形或其它不规则的非圆截面，导致 其体积较大，空间结构较为松散，同时在镜座的一个截面上设置外部接口，导 致其外部接口较少。
随着光学系统越来越复杂，安装精度的要求不断提高，结构要求也越来越 紧凑，需要越来越多的接口，现有的光学元件固定装置已不能满足要求。因此， 提供一种简单、模块化的光学元件固定装置显得尤为重要。

实用新型内容
本实用新型提供一种光学元件固定装置，以解决现有技术的光学元件固定 装置的外部接口较少，且结构+碌的问题。
有鉴于此，本实用新型提出了一种光学元件固定装置，包括载体，具有 一放置槽，所述放置槽与所述光学元件的形状相匹配，用于放置所述光学元件； 镜座，具有一凹槽；以及盖子，与所述凹槽的开口相匹配，盖合于所述镜座上；
3其中所述载体^:置于所述镜座的所迷凹槽中。 进一步的，所述载体为半圆柱体。 进一步的，所述镜座为立方体。 进一步的，所述立方体多个侧面上开设有安装孔。 进一步的，所述凹槽为圆柱形。 进一步的，所述凹槽侧壁i殳有通光孔。 进一步的，所述凹槽底部设有注胶槽。 进一步的，所迷方欠置槽侧壁开设注胶孔。 进一步的，所述i文置槽底部i殳有放置槽通光孔。 进一步的，所迷光学元件为反射镜和分光镜。
本实用新型所提供的光学元件固定装置，包括载体、镜座以及盖子三部分， 各部分之间全部采用胶水粘接，结构简单紧凑，且所述镜座提供多个安装孔， 满足了多种接口需求。


图1A、 1B、 1C为本实用新型一实施例所提供的反射镜固定装置的示意图2为本实用新型一实施例所提供的反射镜固定装置的安装示意图3A、 3B、 3C为本实用新型另一实施例所提供的分光镜固定装置的示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的光学元件固定装置作进一 步详细说明。 实施例一
请参见图1A至图1C,其为本实用新型一实施例所提供的反射镜固定装置 的示意图，如图1A所示，所述反射镜固定装置100包括载体IIO，用于放置 反射镜140;镜座120;以及盖子130，可盖合于所述镜座120上。
如图1B所示，载体110为半圆柱体，其具有方文置槽111,所述放置槽111 的形状与反射镜140的形状相匹配，用于放置反射镜140，放置槽111的侧壁上开设多个注胶孔112，将反射镜140嵌在载体110的放置槽lll后，可通过注胶 孔112注胶粘接反射镜140。这样，可将薄片型的反射镜140固定在便于定位的 半圓柱体结构中。其中，栽体110的放置槽lll底部还设有工艺装配用的工艺孔 113。
如图1C所示，镜座120为立方体，具有一圆柱形凹槽121，所述立方体多 个侧面上开设有安装孔122，满足了多种接口需求。所述凹槽121的侧壁上设有 通光孔123,所述通光孔123的数量为两个，其中一个为入射光通光孔，另一个 为出射光通光孔。圆柱形凹槽121的底部设有环形的注胶槽124,反射镜140固 定在载体110后，可将载体110放置于镜座120的凹槽121中，定位后向注胶 槽124内注胶粘接载体110。如此，反射镜140即固定在镜座120内。
本实用新型一实施例所提供的反射镜固定装置100，包括载体110、镜座120 以及盖子130三部分，各部分之间全部采用胶水粘接，结构简单紧凑。且镜座 120提供了多个安装孔，满足了多种接口需求。
所述反射镜固定装置100的安装过程如下，请参见图2,利用调节装置10 安装反射镜固定装置100,所述调节装置10包括第一直角固定块ll、第二直 角固定板12、转接盘13、可实现X、 Y向位移调节的精密组合位移台14、转接 板15、可实现Rx、 Ry和Rz向位移调节的三维精密旋转台16以及滑轨17。
首先，将反射镜140放入到载体110的放置槽111中，载体110为半圆柱体， 所述半圆柱体的竖直平面作为反射镜定位面，所述半圆柱体的底面作为基准面。 镜座120具有圆柱形凹槽121，所述凹槽121的底部作为载体定位面。将反射镜 140的工作面和载体110的反射镜定位面对齐，然后向放置槽111侧壁上的多个 注胶孔U2注胶以粘接反射镜140。然后，将镜座120装载到第二直角固定块 12上，将载体110装在转接盘12下面，将载体110放入到镜座120中，并使载 体110的基准面与镜座120的载体定位面重合，精调载体110的X、 Y和Rz向 位移，使其满足光路要求，最后使用胶水将载体110粘接在镜座120内。
实施例二
请参见图3A至图3C，其为本实用新型一实施例所提供的分光镜固定装置 的示意图，如图3A所示，所述分光镜固定装置200包括载体210,用于放置 分光镜240;镜座220;以及盖子230，盖合于所述镜座220上。如图3B所示，栽体210为半圆柱体，其具有一放置槽211，所述放置槽211 的形状与分光镜240的形状相匹配，用于放置分光镜240,放置槽211的侧壁上 开设多个注胶孔212，放置槽211的底部设有放置槽通光孔213。将分光镜240 嵌在载体210的放置槽211后，可通过注胶孔212注胶粘接分光镜240,这样， 可将薄片型的分光镜240固定在便于定位的半圆柱体结构中。其中，载体210 的放置槽211底部还设有工艺装配用的工艺孔214。
如图3C所示，镜座220为立方体，其具有一圆柱形凹槽221,所述立方体 多个侧面上开设有安装孔222,满足了多种接口需求，所述凹槽221的侧壁上设 有通光孔223,所述通光孔223的数量为四个。凹槽221的底部设有注胶槽224, 分光镜240固定在载体210后，可将载体210放置于镜座220的凹槽221中， 定位后向注胶槽224内注胶粘接载体210。如此，反射镜240即固定在镜座220 内。
本实用新型一实施例所提供的分光镜固定装置200，包括栽体210、镜座220 以及盖子230三部分，各部分之间全部采用胶水粘接，结构简单紧凑。且镜座 220提供了多个安装孔，满足了多种接口需求。
所述分光镜固定装置200的安装过程与反射镜固定装置100的安装方法类 似，此处不再赘述。
综上所述，本实用新型提供了一种光学元件固定装置，包括载体、镜座 以及盖子，所述载体为半圆柱形，具有一放置槽，所述放置槽与所述光学元件 的形状相匹配，可通过放置槽侧壁上的注胶孔注胶将所述光学元件固定在所述 放置槽内，所述镜座为立方体，具有一凹槽，可向凹槽底部的注胶槽注胶将所 述载体固定在所述镜座内，所述立方体多个侧面设有安装孔。本实用新型提供 的光学元件固定装置结构简单紧凑，满足了多种接口需求。
本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本实 用新型权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动 和变型在内。
权利要求1、一种光学元件固定装置，其特征在于，包括载体，具有一放置槽，所述放置槽与所述光学元件的形状相匹配，用于放置所述光学元件；镜座，具有一凹槽；以及盖子，与所述凹槽的开口相匹配，盖合于所述镜座上；其中所述载体设置于所述镜座的所述凹槽中。
2、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述载体为半圓 柱体。
3、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述镜座为立方体。
4、 如权利要求3所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述立方体多个 侧面上开设有安装孔。
5、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述凹槽为圆柱形。
6、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述凹槽侧壁设 有通光孑L
7、 如权利要求l所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述凹槽底部设 有注胶槽。
8、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述放置槽侧壁 开设注胶孔。
9、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述放置槽底部 设有放置槽通光孔。
10、 如权利要求1所述的光学元件固定装置，其特征在于，所述光学元件 为反射镜和分光镜。
专利摘要本实用新型提供了一种光学元件固定装置，包括载体、镜座以及盖子，所述载体为半圆柱体，其具有一放置槽，所述放置槽与所述光学元件的形状相匹配，通过放置槽侧壁上的注胶孔注胶可将所述光学元件固定在所述放置槽内，所述镜座为立方体，具有一凹槽，可向凹槽底部的注胶槽注胶将所述载体固定在所述镜座内，所述立方体多个侧面设有安装孔。本实用新型提供的光学元件固定装置结构简单紧凑，满足了多种接口需求。
文档编号G02B7/00GK201383024SQ200820158350
公开日2010年1月13日 申请日期2008年12月30日 优先权日2008年12月30日
发明者任胜伟, 张晓文, 峰 池 申请人:上海微电子装备有限公司