等离子刻蚀机反应室的制作方法

专利名称：等离子刻蚀机反应室的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室。
背景技术：
在晶体硅太阳能电池生产过程中的扩散工序中，硅片的边缘部分形成了 PN结，等离子刻蚀的作用是将硅片边缘部分的PN结去除。否则将导致电池正负极之间并联电阻过小，且漏电电流过大，影响电池的输出特性。现有的晶体硅太阳能电池生产过程中的等离子刻蚀机反应室采用圆筒形的石英玻璃结构，由于结构的限制，这种等离子刻蚀机反应室刻蚀的晶体硅太阳能电池片只有300片/批。而氟基气体等离子体很容易腐蚀石英及玻璃类零件，长期的氟基等离子体在石英玻璃反应室中，会因为腐蚀的结果会造成材料的结构劣化，并且可能影响到密封面而导致真空漏气或因石英腐蚀变薄而不能承受真空及大气压力之间的压力差而造成爆裂。
发明内容本实用新型的目的在于，针对现有技术的不足，提供一种等离子刻蚀反应室，防止工艺过程中产生的氟基等离子体与石英玻璃反应室发生反应，并且可以提高一次装载产品的数量，提高生产效率。
本实用新型的技术方案为，一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口 ；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接并在单相低速电机输出轴与旋转平台旋转轴的连接处通过磁流体密封；所述源部件接口处安装进气法兰，并在进气法兰外周安装永磁体，且进气法兰外端面安装用于密封源部件接口的密封件。所述反应室本体一侧设有旋转式密封门，方便太阳能电池片的装载；旋转式密封门上设有石英玻璃观察窗，便于在刻蚀工艺过程随时察看工艺情况。所述密封件为陶瓷板，进气法兰使气体分布更加均匀，并且在进气法兰外周安装有永磁体，用于加强等离子体的产生密度，提高反应速率；陶瓷板可以有效的密封反应室，并方便射频功率的引入。本实用新型采用永磁体提高了等离子体的密度，加快了刻蚀速率；能够实现一次装片800片，提高生产效率；本实用新型消除了等离子刻蚀反应室因石英腐蚀变薄而不能承受真空及大气压力之间的压力差而造成爆裂的危险。

图1为本实用新型所述等离子刻蚀机反应室的结构主视图；图2为本实用新型所述等离子刻蚀机反应室的结构俯视图；其中1 一反应室本体；2—进气法兰；3 —陶瓷板；4一旋转平台；5—磁流体；6—压力检测接口 ；7—永磁体；8—石英玻璃观察窗；9一旋转式密封门；10—单相低速电机；11一真空泵接口。
具体实施方式
如图1、图2所示，一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体I，反应室本体I底部设有旋转平台4，并在反应室本体I 一侧设有源部件接口，反应室本体I采用LY12型的高强度硬铝材料焊接而成；所述旋转平台4通过单相低速电机10驱动，所述单相低速电机10的输出轴与旋转平台4的旋转轴连接并在单相低速电机10输出轴与旋转平台4旋转轴的连接处通过磁流体5密封；所述源部件接口处安装进气法兰2，并在进气法兰2外周安装永磁体7，且进气法兰2外端面安装用于密封源部件接口的密封件3。反应室本体I 一侧设有旋转式密封门9，旋转式密封门9上设有石英玻璃观察窗8。 密封件3为陶瓷板。
权利要求1.一种等离子刻蚀机反应室，包括反应室本体(I)，反应室本体(I)底部设有旋转平台(4)，其特征是，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体(I) 一侧设有源部件接口 ；所述单相低速电机(10)的输出轴与旋转平台(4)的旋转轴连接并在单相低速电机(10)输出轴与旋转平台(4)旋转轴的连接处通过磁流体(5)密封；所述源部件接口处安装进气法兰(2 )，并在进气法兰(2 )外周安装永磁体(7 )，且进气法兰(2 )外端面安装用于密封源部件接口的密封件(3)。
2.根据权利要求1所述等离子刻蚀机反应室，其特征是，所述反应室本体(I)一侧设有旋转式密封门(9)。
3.根据权利要求2所述等离子刻蚀机反应室，其特征是，所述旋转式密封门(9)上设有石英玻璃观察窗(8)。
4.根据权利要求1所述等离子刻蚀机反应室，其特征是，所述密封件(3)为陶瓷板。
专利摘要本实用新型涉及晶体硅太阳能电池生产领域，具体来说涉及一种晶体硅太阳能电池等离子刻蚀工艺中等离子刻蚀机反应室，反应室本体底部设有旋转平台，采用高强度硬铝材料焊接而成的反应室本体一侧设有源部件接口；所述单相低速电机的输出轴与旋转平台的旋转轴连接并在单相低速电机输出轴与旋转平台旋转轴的连接处通过磁流体密封；所述源部件接口处安装进气法兰，并在进气法兰外周安装永磁体，且进气法兰外端面安装用于密封源部件接口的密封件。本实用新型采用永磁体提高了等离子体的密度，加快了刻蚀速率；能够实现一次装片800片，提高生产效率。
文档编号H01J37/32GK202871741SQ20122055028
公开日2013年4月10日 申请日期2012年10月25日 优先权日2012年10月25日
发明者成秋云, 禹庆荣, 吴得轶 申请人:湖南红太阳光电科技有限公司