感光性糊剂组合物和图案形成方法

专利名称：：感光性糊剂组合物和图案形成方法
技术领域：
：本发明涉及感光性糊齐l跑，和图案形成方法。更具体地说，本发明涉及在平面显示器等的显示屏、电子构件的高自装材料和太阳能电池材料等中使用的具有电极的电M板制造中，在形成高感度和髙清晰度的图案时，可适用的感光性糊剂组^和使用该组^形成图案的方法。背景駄蹄来，对于电^s棘显示屏中的图案加工，高密度化和高清晰化的要求^^越高。在这种要求极高的显示屏中，等离子体显示屏(下文简称'pdp"。)或者场致发射显示屏(下文简itfed"。)等平面显示屏(下文简称'fdp"。)特别引人注目。图1是交mpdp的截面^1^意图。在图1中，101和102是相对设置的玻璃基板、103和111是隔壁，MM基板101、玻璃基板102、背面隔壁103和前面隔壁111区分成单元。104是固定在鹏繊101上的透明电极，105是为斷氐透明电极104的电阻而在该透明电极104上形成的汇流电极，106是固定在玻璃繊102上的舰电极。107劍呆持在单元内的萤光物质，108是驢透明电极104和汇流电极105而在玻璃基板101表面上形成的电介质层，109是鶴地址电极106而在鹏繊102表面上形成的电介质层，110^W层，例如由氧化鄉成。另外，；&^色fpd中，为了得到对比度高的图像，在玻璃繊与电介质层之间，设置滤色片(红色*绿色*蓝色)或者黑色基质等。,来，fpd的大型化和髙清晰化不断深入，同时图案加工脉的提高受人期待。但是，随着屏幕的，化和高清晰化，对图案精度的要求也极其严格,当前存在的问题是以现有的加工方法即丝网印刷法已极不相适应。因此，使用光刻法形成图案。
发明内容利用，光刻法制造电极时，^!^ffi感光银糊法，制作以丝网印刷法不可肯獬决的问题即大型化和高清晰化的图案，己成为可能。但是，由于银是贵金属且价高，感光性银糊i^就成为高价的导电性糊。而且，作为感光性银糊的缺陷是具有在高温多湿环境下易产生移动，在银表面发生硫化的'M。而且，由于,来考虑成本的要求，要求顿歸的含无机粒子的感光性树脂材料和能加工高清晰图案的材料。本发明離决现有技术中雜的问题，其目的jm供廉价且可形成高清晰度图案的，和对陶瓷、硅和玻璃基板以薄膜状呈现髙粘接强度的感光性糊剂组她本发明的另一目的^i供OT，感光性糊剂组，形成图案的方法。本发明人为了解决J^问题进行深入研究的结果完成了本发明。即本发明涉及以下1一4。1.—种感光性糊剂组合物，其特征是包含50Sft^粒径(D50)为2.0—20.0的铝粉末(A)、碱可溶性树月旨(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。2.按前述1记载的感光性糊剂组合物，其特征是还包含50重量％粒径(D50)为0.2-4.0的玻璃粉末(B)。3.按前述2记载的感光性糊剂组合物，其特征是所述的玻璃粉末(B)是软化点为350—700'C的玻璃粉末，以感光性糊齐跑，的总SS计，玻璃粉末(B)的含量为0.5—15錢％。4.一种形成图案的方法，其特征魏括由权利要求1-3中任一项记载的感光性糊剂组合物，在基板上形成感光性糊剂层的工序、对该糊剂层进行曝光处理形成图案離的工序、对该糊齐U层进行显像鹏形成图案的工序、和对该图^a行'皿处理的工序。发明，本发明的感光性糊剂组合物，可以劇介形成高清晰度的图案，最适宜用来构成FPD,的构件、电子部件的高鹏装材料的构件和太阳能电池的构件。以下，对本发明的感光性糊剂组合物和图案的形成方法进行详细说明。而且，在下文中，将使用，感光性糊剂组合物形成的未曝光涂层称为"感光性糊剂层"。本发明中使用的碱可溶性树脂(C),只要是碱可溶性的就可以，没有特别限制。此外，在本发明中，所说的"碱可溶性"是指树脂會辦超lj所要显像处理的f號，在碱'M像液中溶解的性质。作为碱可溶性树脂(C)，雌以下含有碱可溶性官能团的单体(Cl〉和(甲基)丙烯酸衍生物(C2)的共聚物。作为含有碱可溶性官能团的单体(C1)，列举有(甲基)丙烯酸、马来酸、富马酸、巴豆酸、衣康酸、柠繊、中繊、腿酸、琥珀l(2—(甲基)丙烯酰氧乙基)酯、2—甲基丙烯酰氧乙基苯二酸酯、2—丙烯酰氧乙SE化邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙S^化邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基7^M化邻苯二酸酯、2—丙烯麟丙基四氣化邻苯二酸酯、co—羧基—聚己酸内酯一(甲基)丙烯酸酯等的含羧基的单体类；具有(甲基)丙烯酸2-羟乙基、(甲基)丙烯酸2—羟丙基(甲基)丙烯酸3—羟丙基、((x—羟乙基)丙烯酸酯等的含羟基的单体类；邻羟基苯乙烯、间羟基苯乙烯、对,苯乙,的含(苯)酚性羟基的单体类等具有减可溶性官能团和不饱和键的单体类。在这些单体中，雌(甲基)丙烯酸、2-甲基丙烯酰氧乙基苯二酸、2-丙烯酰氧乙SiL邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基氨邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基SSiL邻苯二酸酯、2—丙烯酰氧丙基四氢邻苯二酸酯、(甲基)丙烯酸2—羟乙酯。通过与含有碱可溶性官能团的单体(Cl)进行共聚，可使树脂具有碱可溶性。来自这种含有碱可溶性官能团的单体(Cl)的构成单位的含量，在碱可溶性树脂(C)的全部构成单位中，通常为5—90重量％,雌为10—80重量％,特别优选为15—70重量％。作为(甲基)丙烯酸衍生物(C2),只要是能与含有碱可溶性官能团的单体(Cl)进行共聚的(甲基)丙烯酸衍生物就可以，没有特别限制，例如，列举有(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸十二(垸)酉旨、(甲基)丙烯酸节酯、(甲基)丙烯酸2—甲氧乙酯、(甲基)丙烯酸2—乙氧乙酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸苯氧乙酯、(甲基)丙烯酸三苯甲酯、(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯,佛尔酮酯、(甲基)丙烯酸縮7jC甘油酯、(甲基)丙烯酸二环戊酯等战单体(Cl)以外的(甲基)丙烯酸酯类。另外，在本发明中，还可^柳能取代(甲基)丙烯酸衍生物的，赫除了<顿(甲基)丙烯酸衍生物(C2)夕卜，例如还可j顿由苯乙烯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸节酯等得到的聚合物的一方链的末端上具有(甲基)丙烯麟、烯丙基、乙烯基等聚合性不饱和基的大单体等。在战共聚时，也可以j顿链转移剂。作为链转紛U,例如可列举a-亚甲基苯乙烯二聚物、叔十二(烷)硫醇、季戊四醇四(3—巯基丙酸)、季戊四醇四(3—巯基丁酸酯)、1，4一二G—巯基丁^IS)丁烷等。，的链转移剂的使用量，以J^共聚使用的单体的总重100M份计，其用量约为0.1—10Sfi份。碱可溶性树脂(C)的重均分子量(下文简称为[Mw]。)是3131渗^谱法(GPC)测定的^乙烯换算值，，为5000-100000,更,为10000-80000。Mw可a3i3I当选择Jd^单体的共聚比率、链转移抓聚合鹏等进行控制。如果Mw低于战范围，显像后的膜易发锁粗糙，另外，如果超出上述范围，相对于未曝光部分的显像液溶解性斷氏，，像度附氏。碱可溶性树脂(C)的玻璃转化温度(Tg)，优选为0—120'C,更优选为IO—IO(TC。如果鹏转化,低于Jd^范围，涂膜易发粘，难以鹏。另外，玻璃转化驗如果^U^范围，感光性糊剂层与支持体鹏翻的粘接性錢，在用于后述的转印膜时，该糊齐lj层不能转印。另外，玻璃转化鹏可M31变更含碱可溶性官能团的单体(Cl)和(甲基)丙烯酸衍生物(C2)的量作适当调节。碱可溶性树脂(C)的酸值，雌20—200毫克KOH/克，更雌30-160毫克KOH/克。酸值小于20毫克KOH/克时，曝光后的未曝光部分难以fflil地被碱性显像液除去，难以形成高清晰度的图案。另外，酸值如果舰200毫克KOH/克时，^!曝光固化的部分也容易被碱性显像液浸蚀，同样难以形成高清晰度的图案。在本发明的感光性糊剂组合吻中，所说的感光性树脂成分是指从该组，中除去无机颗粒部分，即指的是具有感光性功能的全部有机成分。此处所说的无丰顺粒是^粉末(A)和自粉末(B)等。战的感光性树脂成分，除含碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)、光聚合引发剂(E)夕卜，还可添加增敏剂、增敏助剂、有机系的紫外线吸收剂、阻聚剂、抗氧化剂、增塑剂、增粘剂、有机溶剂、粘接助剂、溶解鹏剂、分散剂、各成分沉降防止剂、流平齐轉添加剂成分。本发明的感光性糊剂组合吻，优选由5-90重量％感树脂成分和95-10重量^无t，粒组成。本发明的感光性糊剂组^l含有感光性成分。作为该感光性成分，一般有光不渐七型的成分和光可溶化型的成分。光不溶化型的成分，有(i)含有在分子内具有1个以上不饱和基等感光性单体或者低聚物的物质、(ii)含有芳香族重氮化合物、芳香族叠氮基化合物、有机卣化物等感光性化合物的物质、(iii)戶刑胃重氮系胺与甲醛的縮^等附胃重麵脂的物质等。作为光可m型成分，有(iv)含有重氮化合物与无机酸或者有机酸的络合物、苯醌重氮类的物质、(V)苯醌重，与适当聚合物粘结剂结合的物质，例如苯酚树脂的魏昆一l，2—重MS—5—磺酸酯等。在本发明中，可以^ffij^^f有的成分，但是从与，无m^粒混合简便《顿来考虑，分类^±^(i)中的多官能(甲基)丙烯酸酯J1^需成分。作为在本发明中使用的多官能(甲基)丙烯酸酯(D)，具体地可列举烯丙基化的环己基二(甲基)丙烯酸酯、2,5—己烷二(甲基)丙烯酸酯、1，4—丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1，3—丁二醇二(甲基)丙烯翻旨、乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二乙二醇二(甲基)丙烯酯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙三醇二(甲基)丙烯酸酯、甲氧基化的环战二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三丙三醇二(甲基)丙烯酸酯等的二(甲基)丙烯酸酯类；季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷PO改性的三(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷EO改性的三(甲基)丙烯酸酯、双季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、双季戊四醇一羟基五(甲基)丙烯酸酯、E羟甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、节硫醇(甲基)丙烯酸酯等的三官能团以上的(甲基)丙烯酸酯类；还可列举出，化合物中芳香环的氢原子中,被l一5个氯原子或者溴原子取代的单体等。这些多官能(甲基)丙烯酸酯(D)可1种单独使用，也可2种以上组合i^。在本发明的感光性糊剂组合物中，多官能(甲基)丙烯酸酯(D)从对光的感度考虑，以上述感光性组合吻的总重计，其^ffi量^t为10Sfi^以上，更，为15—60重量％。如果多官能(甲基)丙烯酸酯(D)的含fi^iiiJd^范围，烧成后的显示屏用构件的^M量变差。另外，在不损害本发明目的范围内，多官能(甲基)丙烯酸酯(D)也可以与苯乙烯、对甲基苯乙烯、邻甲基苯乙烯、间甲基苯乙烯、氯化苯乙烯、溴4株乙烯、ot-甲基苯乙烯、氯化a-甲基苯乙烯、溴化a—甲基苯乙烯、氯甲基苯乙烯、羟甲基苯乙烯、羧甲基苯乙烯、乙烯基萘、乙烯基蒽、乙烯基节唑、Y—甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基珐院、l一乙烯基一2—吡咯烷酮等一起使用。[光聚合引发剂(E)]作为在本发明中j顿的光聚合引发剂(E),例如，可列举1甲酮、邻苯甲酰基苯甲酸甲酯、4，4一二(二甲胺)二苯甲酮、4，4一二(二乙胺)二苯甲酮、4，4-二氯代1甲酮、4-1甲酰一4—甲基二苯翻、二节基甲酮、荷、2，2—二乙fLS苯乙酮、2，2—二甲竊-2—苯基-2—苯基苯乙酮、2—羟基一2—甲基苯丙酮、对叔丁基二氯代苯乙酮、噻吨酮、2—甲基噻吨酮、2—氯代,酮、2—异丙基噻吨酮、4一异丙魏吨酮、l一氯一4一丙基噻吨酮、2,4-二乙M吨酮、节基二甲基縮酮、苄基甲tt乙錢甲醛、苯偶因、苯偶因甲醚、苯偶因丁醚、蒽醌、2-叔丁基蒽醌、2—戊基蒽醌、|3-氯代蒽醌、蒽酮、苯并蒽酮、1并环庚酮、亚甲基蒽酮、4-叠氮苯基蒽酮、2，6—二(对叠E3Z节基)环己酮、2，6—二(对叠氮亚苄基)一4一甲Sif己酮、2—苯基一l,2—丁二酮-2—(邻甲氧基羰基)转、1-苯吝丙二爵2-(银乙flS羰基)月亏、1，3—二苯基一丙三酮-2—(邻乙氧基羰基)躬、l-苯基-3-乙竊一丙三酮一2-(邻苯甲酰基)躬、米希勒酮、2-甲基一1一[4-(甲硫基)苯蜀一2—吗啉一1-丙烷一l-酮、2-苄基一2—二甲基氨基一l一(4一吗啉基苯基)丁酮一1，2—羟基一2-甲基一1—苯基一丙垸一l一酮、2,2'—二甲—1，2一1基乙烷一1一酮、二(2，6—二甲氧基苯甲酰基)一2，4，4一三甲基一戊基氧化膦、2，4，6—三甲基苯甲酰一二苯,化膦、二(2,4,6—三甲基苯甲,)—苯基氧4機、^5黄酰氯化物、*^1酰氯化物、N-苯繊吖啶酮、4，4一偶氮二异丁腈、1基二硫醚、苯并噻唑二硫醚、三苯基卩卜吩、樟脑醌、四溴化碳、三溴代苯磺酸、过氧lfc^偶因和曙红或亚甲基蓝等的光还原性色素与抗坏血酸或三乙醇胺等还原剂的组合等。光聚合引发剂(E)，可一种^^虫使用，也可2种以上组合使用。光聚合引发剂(E)的使用量，以多功能(甲基)丙烯酸酯(D)为100重量伤H十，雌舰I一50重量份，更雌4柳2—40Sfl:份。光聚合引发剂(E)的^顿量如果^3ii^的范围，'m后显示屏用构件微的质量錢。本发明的感光性糊剂组合物中，为了提高保存时的热稳定性，也可添加阻聚剂。作为阻聚剂，例如，可列举对苯二酚、对苯二酚的一酯化物、n—亚硝基萘胺、吩噻嗪、对叔丁基邻苯二酚、n—苯基萘胺、2，6—二一叔丁基一对甲Sm、氯醌、焦枯酚等。在感光性糊剂组合物中，阻聚剂的添加量，优选添加0扁—1M%。乙二醇酯、硫代二丙酸二月桂酯、磷酸h^基酯等。在感光性糊剂组合物中，抗氧化剂歸加量，^^添加0.001—1重量％。本发明的感光性糊剂组，中，为了实I鹏下腿像液的充分溶解的目的，，含有溶解，剂。作为溶解，剂，，使用表面活性剂。作为这样的表面活性剂，例如，可列举氟型表面活性齐U、硅酮型表面活性剂、非离子型表面活性剂、月旨肪^^。Jl^的MM表面活性剂，例如，可列举BMCMMIE社制"BM—1000"、"BM—1100"、大日本油墨化学:iik(株)社靴^力、'7r'夕F142D"、"同F172"、"同F173"、"同F183"、住友^'J一工厶(株)社制"7口？一卜'FC—135"、"同FC—170C"、"同FC—430"、"同FC-431"、旭硝子(株)社制"卄一7口>S112"、"同S—113"、"同S—131"、"同S—141"、"同S—145"、"同S—382"、"同SC—lOl"、"同SC—102"、"同SC—103"、"同SC—104"、"同SC—105"、"同SC—106"等的市售品。上述的硅酮型表面活性剂，例如，可列举东丽道康宁有机硅株式会社制"SH—28PA"、"SH—190"、"SH—193"、"SZ—6032"、"SF—8428"、"DC—57"、"DC—190"、信越化学工业(株)社制"KP341"、新秋田化成(株)社制"工7卜，7'EF301"、"同EF303"、"同EF352"等的市售品。J^的非离子型表面活性剂，例如，可列举聚氧乙烯十二縫醚、聚氧乙烯十八烷酰醚、聚氧乙烯油醚等的聚氧乙烯烷M类；聚氧乙烯二苯乙烯化的苯基醚、聚氧乙烯辛基苯基醚、聚氧乙烯壬基苯醚等的聚氧乙烯芳基醚类；聚氧乙烯二月桂酸酯、聚氧乙烯二硬脂酸酯等的聚氧乙烯二^s酯类。作为战的非离子型表面活性齐(j销售品，例如，可列举花王(株)社制"工？》y>A—60"、"A-90"、"A—550"、"B—66"、"PP—99"、共荣社化学(株)社制"(甲基)丙烯,共聚单体水'U7口一No.57"、"同No.90"等。在J^的表面活性剂中，为使显像时未曝光部分的感光性糊齐U层容易除去，雌非离子型表面活性剂，更鹏聚氧乙烯芳基麟，特别是雌下式(1)所示的化合物。化U(l)0—CpH2pO大H上式(1)中，W是d-5麟，雌甲基p是l-5的微，s是l一5的■，t是l一100的^t，10~20的。作为上述的脂肪酸，例如，可列举丁酸、戊酸、己酸、庚酸、癸酸、壬酸、月桂酸、肉豆蔻酸、十五(垸)酸、十六(烷)酸、十六(烷)酰酸、十七(烷)酸、十A(烷)酸、油酸、异油酸、亚油酸、亚麻酸、十九(烷)酸、花生酸、花生油烯酸、山箭酸、二十四烷酸、二十四碳烯酸、二十六烷酸、二十九烷酸、三十烷酸等。本发明的感光性糊剂组合物中溶解，剂的含量，以碱可溶性树脂(c)100重量^H十，雌0.001-20龍份，更雌0.01—15錢份，特别雌O.l一10重量份。溶解，剂的含量如果&Ji^的范围，可得到对显像液溶解性优良的组合物。本发明的图案形成方法，其特征是包括在SIR上由J^i光性糊剂组合物形鹏光性糊齐(J层的工序(感光性涂层形虹序)、对该感光性糊剂层进行曝光，形成图案,的工序(曝^X序)、对该感光性糊齐幅进行显像^hS形成图案的工序(显像工序)和对图，行处理的工序(烧^x序)。[感光性糊剂层的形^x,该工mS括在皿上由，感光性糊剂组合物形，光性糊剂层。作为该感光性糊剂层的形成方法，例如，可列举出将J^感光性糊剂组合物凃布在基ISJ:形自膜，对该涂膜进行千燥的形成方法等。将±^感光性糊剂组糊涂布在±的方法，只要是能涂布出膜厚度大的(例如20'以上)、而且能有舰形鹏匀优良涂膜的方法就可以，没有特别P艮制。例如，可列举鹏刀片涂布器的涂布法、鹏辊涂布器的涂布法、使用刮刀的涂布法、使用幕帘涂布器的涂布法、使用,器的涂布法、使用线丰矛凃布器的涂布法，使用丝网印刷^g的丝网印刷法等。涂膜的干'M^f牛，按照千燥后有机翻i鹏率小于2錢％来作适当调整，例如在50—150。C千MMTf干燥0.5—60併中左右。如地卩样形成感光性糊齐喔的厚度，雌为3—3001,更雌为5—200。，卜，由于感光性糊剂组，的涂布可以反复涂布n次，故可形成具有n层(n表示2以上的整数)感光性糊剂层的积层体。图1是交等离子体显示屏的截面^^意图。图2，常的场致发射显示屏的截面^l^意图。《符号说明》101玻璃繊102鹏繊103背面隔壁104透明电极105汇流电极106舰电极107萤光物质108电介质层109电介质层110微层111前面隔壁201玻璃繊202玻璃繊203绝缘层204透明电极205鄉极206阴极电极207萤光体208栅极209间,测定的苯乙烯换算值。而且，GPC测定，作为GPC柱，{柳东乂一(株)制[TSKguardcolumnS邵erHZM-M]，在四氣呋喃鋭lj，测定MJS40'C的条件下进行。按表3所示的组成，制备感光性树脂成分(1)一(6)。[实施例1^ffl混炼机^^表1所示的铝粉末Al(16克)、表2所示的自粉末Bl(2克)和表3所示的感光性树脂成分(1)(40)克，制备感光性糊剂组合物(以下称"感光性糊剂")。使用325目的筛网，将上述感光性糊剂实地印刷在作为试验片(150x150x2.8毫米)的玻璃SI&上的100^t见方的大小上，于100。C下保持IO併中进行干燥，形光性糊剂层。此后，^^负型1§(图案宽50、图案间隔1001[^)，禾,功率为25mW/咖2超髙压水银灯，肚面对感光性糊剂层进機外线曝光。曝光量为扁mJ/cm2。此后，对曝光后的感光性糊齐U层，喷淋60秒保持23"的0.5%碳,水溶液，进行显像。此后，用喷雾水職干净，除去没有光固化的部分，在玻璃基^i:形鹏子状的固化图案。禾,战的评价方法评^^种显像后的固化图案。其结m^于表4。此后，将得到的固化图案于58(TC下烧成30併中，形成电极图案。利用上述的刑介方法评if^种'^i^的电极图案。结^^表4。[实施例2—15]除用表4所示的铝粉末、鹏粉斜B感光性树脂成分制备感光性糊剂外，其它与实施例1相同，在玻璃繊上依次形鹏光性糊齐U层、固化图案、电极图案。此后，利用Jt^的i愤方法i愤固化图案和电极图案。结m^表4。另外，实施例1-15中任何一个实施例的感光性糊齐喔的膜厚度为10'±1'就。除用表4所示的铝粉末、鹏粉辩憾光性树脂成辦恪感光性糊剂外，其它与实施例1相同，在玻璃鎌上依次形鹏光性糊剂层、固化图案、电极图案。此后，禾,战的if^方法刑介固化图案和电极图案。结m^f表5。另夕卜，感光性糊剂层的膜厚度为10。除了使用表1所示的铝粉末A1(45克)、表2所示的,粉末B1(5克)和表3所示的感光性树脂成分(5)(50克)，制备感光性糊剂组^t)外，其它与实施例1相同，在玻璃繊上依次形鹏光性糊剂层、固化图案、电极图案。接着，禾ij用战的刑介方法i愤固化图案和电极图案。结果舒表4。除了使用表1所示的铝粉末A1(35克)、表2所示的,粉末B1(20克)和表3所示的感光性树脂成分(5)(45克)，制备感光性糊剂组^/外，其它与实施例1相同，在玻璃繊上依次形鹏光性糊剂层、固化图案、电极图案。接着，禾拥Jd^的i愤方法评价固化图案和电极图案。结果舒表4。[实施例20]除了使用表1所示的铝粉末A1(20克)、表2所示的玻璃粉末B1(30克)和表3所示的感光性树脂成分(5)(50克)，制备感光性糊齐跑糊外，其它与实施例1相同，在玻璃繊上依次形鹏光性糊剂层、固化图案、电极图案。接着，禾lJ用战的i愤方法评价固化图案和电极图案。结^P表4。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage25</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage26</column></row><table>TMP:三羟甲基丙烷(环氧丙烷改性)三丙烯酸酯MTPMP:2—甲基一1一[4一(甲硫基)苯^1一2—，基一1一丙烷一l一酮DETX:2，4一二乙基嚼吨酮BHHD:1，7—二(4一羟織)一l,6—庚二烯一3,5—二酮TNOL:萜品醇PGME:丙二醇一甲醚表4<table>tableseeoriginaldocumentpage27</column></row><table>如表4所示，对显像后和'鹏后的图案iTO'实施例1一6、10—12、17—20特别优良。实施例7-9、13、14和16良好。实施例15舰。另外，对#^只电P且的评价，实施例1一15、17—20在50—200一'厘米范围内。实施例16在400-600pn，厘米范围内。除了使用表5所示的铝粉末、玻璃粉^^感光性树脂成，恪感光性糊剂外，其它与实施例1相同，在玻璃±依娜成感光性糊剂层、固化图案、电极图案。接着，禾i」用战的vm方法评价固化图案和电极图案。评价结果示于表5。表5<table>tableseeoriginaldocumentpage28</column></row><table>如表5所示，对显像后和^^的iTO，比较例1出现凝^者化，不能进行评价。另外，观察电极图案的剥离。在術只电阻的评价中，比较例1在400—600^'厘米范围内。权利要求1.一种感光性糊剂组合物，其特征是包含50重量％粒径(D50)为2.0-20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。2.按权利要求1记载的感光性糊剂组合物，其特征，包含50重量％粒径(D50)为0,2—4.0的玻璃粉末(B)。3.按权利要求2记载的感光性糊剂组糊，其特征是所述的玻璃粉末(B)是软化点为350—700'C的玻^^末，以感光性糊剂组糊的总重影十，戶腿的玻璃粉末(B)含量为0.5-15M%。4.—种形成图案的方法，其特征是包括由权利要求1-3中任一项记载的感光性糊剂组^tl，在上形成感光性糊剂层的工序、对该糊齐l展进行曝光处理形成图鎌像的工序、对该糊齐幅进行显像处理形成图案的工序、和对该图^a行烧成，的工序。全文摘要本发明提供一种能廉价形成高清晰图案的、且成膜后对陶瓷、硅和玻璃基板具有高粘接强度的感光性糊剂组合物。所述感光性糊剂组合物的特征是包含50重量％粒径(D50)为2.0-20.0微米的铝粉末(A)、碱可溶性树脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D)和光聚合引发剂(E)。文档编号G03F7/004GK101354533SQ20081016114公开日2009年1月28日申请日期2008年7月9日优先权日2007年7月9日发明者工藤和生,板野考史申请人:Jsr株式会社