准分子灯及具备该准分子灯的灯单元的制作方法

专利名称：准分子灯及具备该准分子灯的灯单元的制作方法
技术领域：
本发明涉及准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，特别涉及在准分子 灯的端部具备灯保持部的准分子灯及具备该准分子灯的灯单元。
背景技术：
在传统工艺中，如专利文献1所示，在半导体基板或液晶基板的制作 工序中，将清洗基板作为目的，使用具备照射真空紫外线的准分子灯的灯 单元。
图20是表示从与现有技术的准分子灯103的长度方向正交的切剖面观 看的紫外线照射装置100的结构的剖面图，图21是表示从图20所示的E 一E切剖面观看的紫外线照射装置100的剖面图。
如这些图所示，紫外线照射装置100由灯单元101(图上方)及搬运机构 102(图下方)构成，该灯单元101在大约箱状地构成的筐体104内具备准分 子灯103，该搬运机构102是载置灯单元101且搬运被照射物W。
如这些图所示，灯单元101包括由设置于灯单元101的筐体104内部 的多支准分子灯103，及收容准分子灯103且加以保持的筐体104。准分子 灯103通过灯保持体111经隔间壁110被支撑于筐体104。搬运机构102具 备多个滚子109，载置灯单元101的筐体104，而且并列配置于内部；以 及驱动体IIO，设于各滚子109的两端，而且旋转驱动滚子109。从搬运机 构的搬入口被搬入的被照射物W，被载置于滚子109上，通过滚子109被 旋转驱动，被搬入至准分子灯103的正下方。被搬入的被照射物W是与准 分子灯103靠近，被照射来自准分子灯103的真空紫外线。被真空紫外线 照射的被照射物W被从搬出口搬出。
图22是表示图20及图21所示的准分子灯103的立体图，图23是表 示图21所示的准分子灯103的一个端部(被圆圈包围的部位)的放大剖面图， 图24是表示从图23所示的F—F切剖面所观看的准分子灯103的一个端部 的剖面图。如这些图所示地，准分子灯103具备大约长方体的放电容器105，而相 对于其长度方向的垂直方向的剖面为长方形，而在放电容器105的上下两 表面，以沿着放电容器的长度方向延伸的方式，设有网状的一个外部电极 106及另一个外部电极107。在放电容器105的两端，设有引线保持体112， 该引线保持体112保持一个引线114及另一个引线115，该一个引线114连 接于一个外部电极106，该另一个引线115连接于另一个外部电极107，而 从引线保持体112能够拉出一个引线114及另一个引线115。
专利文献1:日本特开2005—197291号公报
一般，图22所示的准分子灯103中设的引线保持体112具备如下所示 的3种功能。 一般，第l种功能是由于引线114、 115与外部电极106， 107利用焊剂的焊接被电连接，因而由于要确保维持两者的连接，就需要保 持引线114、 115，例如，将被连接于准分子灯103的外部电极106、 107的 引线114、 115设置于放电容器105与引线保持体112之间，而将引线114、 115压接在放电容器105与引线保持体112之间并予以保持。第2种功能是: 被固定于放电容器105的功能，例如，在引线保持体112与放电容器105 之间的空隙填充粘合剂116，而把引线保持体112固定在放电容器105的外 表面。第3种功能是防止放电容器105外表面的外部电极106、 107间的 绝缘击穿的功能，例如，抵接于引线114、 115的引线保持体112由具有电 绝缘性的构件所构成，防止放电容器105外表面的外部电极106、 107间的 沿面放电。
图21至图24的现有技术的引线保持体112，是具备上述的第1种至第 3种的功能，在准分子灯103与被照射物W相对配置的灯单元101中，为 了使得从准分子灯103照射在被照射物W的真空紫外线，尽量不会被氧气 吸收而有效率地被照射在被照射物W，必须尽量靠近地配置准分子灯103 与被照射物W。准分子灯103与被照射物W间的距离，是例如必须靠近在 3 5mm的范围。但是，图21至图24的现有技术的引线保持体112，为具 有如陶瓷的电绝缘性的构件所构成，则从放电容器105的平坦面会突出着 引线保持体112的厚度部分，而该厚度部分会使得准分子灯103与被照射 物W间的距离L10的靠近化变得困难。SP，引线保持体112的第4中功能 是必须构成为不会对准分子灯103与被照射物w的靠近配置构成妨碍。

发明内容
本发明的目的是鉴于上述问题点，提供一种准分子灯及具备该准分子 灯的灯单元，该准分子灯具备可将准分子灯与被照射物间的距离靠近配置
在0.1~5mm的范围的引线保持体。
本发明为了解决上述课题，而采用如下的方案-
第1方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体； 一个外部电极，设 于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上下两表面中 的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧，
其特征为上述引线保持体包括电绝缘性的引线保持部与金属薄板所成的 平坦支撑部，通过由上述引线保持部与上述平坦支撑部夹持上述放电容器， 上述引线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述 一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦支撑部是 与上述另一个外部电极电连接，而且抵接于上述放电容器的上述另一个平 坦面。
第2方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，且具有屈曲部，形成于在该上下两表面之间形 成的弯曲面上或上述上下两表面间，并且在该放电容器内部封入发光气体; 一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于 上述上下两表面中的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的 至少一个端部侧，其特征为上述引线保持体是由平坦侧支撑部所构成， 该平坦侧支撑部包括具有电气绝缘性的引线保持部与具有弹性的金属薄 板，通过由上述引线保持部与上述平坦侧支撑部夹持上述放电容器，上述 引线保持部是将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一 个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦侧支撑部是 将另一个引线保持在与上述放电容器的上述另一个平坦面之间，该另一个 引线与上述另一个外部电极电连接。
第3方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体； 一个外 部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上 下两表面中的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧，其特征为上述引线保持体是由扩径支撑部所构成，该扩径支 撑部由具有电绝缘性的引线保持部，及被填充固化于该引线保持部与上述 放电容器之间的粘合构件所形成，通过将粘合构件填充固化于上述引线保 持部与上述放电容器之间，上述引线保持部是将一个引线保持在与上述放 电容器的上述一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述 扩径支撑部是将另一个引线保持在该扩径支撑部内，该另一个引线与外部 电极部分电连接，该外部电极部分从上述另一个外部电极连续并延伸至扩 径部，该扩径部形成于放电容器的侧面。
第4方案是一种准分子灯，该准分子灯包括放电容器，具有在长度 方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体； 一个外 部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上 下两表面中的另一个面；引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部 侧，其特征为上述放电容器是在上述两表面间之侧面形成有扩径部，上
述引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与扩径支撑部，通过由上述 引线保持部与上述扩径支撑部夹持上述放电容器，上述引线保持部是将一 个引线保持在与上述放电容器的上述一个面之间，上述一个引线与上述一 个外部电极电连接，上述扩径支撑部是与上述放电容器的上述扩径部抵接。
第5方案是在第4方案中所述的准分子灯，上述另一个外部电极具有 连续至上述放电容器的扩径部而延伸的外部电极部分，上述扩径支撑部是 由金属材料所构成，通过由上述引线保持部与上述扩径支撑部夹持上述放 电容器，使上述放电容器的外部电极部分与上述扩径支撑部电连接。
第6方案是第1方案至第5方案中任一项所述的准分子灯，上述放电 容器具有从该放电容器的端壁部突出的晶片管，上述引线保持体具有在
引线保持部沿晶片管的管轴方向延伸的连接部；及设于从该连接部起至晶 片管的长度方向的外方的保护部。
第7方案是一种灯单元，该灯单元包括准分子灯及筐体，该筐体保持 该准分子灯并且一面开口，其特征为上述准分于灯是第1手段至第6手
段中任一方案所述的一个或多个准分子灯，该准分子灯配置成，该准分子 灯的平坦面与位于上述筐体的开口的被照射物的被照射面平行。
第8方案是一种灯单元，该灯单元包括准分子灯及筐体，该筐体保持
该准分子灯并且一面开口，其特征为上述准分子灯是第1方案至第6方案中任一方案所述的多个准分子灯，该准分子灯配置成，在与该准分子灯 的长度方向正交的方向上，上述各准分子灯的平坦面在相同平面上。
根据技术方案1至2所述的发明，第1，能够将连接于准分子灯的外部 电极的引线设于放电容器与引线保持体之间，而将引线压接在放电容器与 引线保持体之间并加以保持。此外，第2，能够把引线保持体固定在放电容 器的外表面。此外，第3，通过抵接于引线的引线保持部由具有电绝缘性的 构件所构成，能够防止放电容器的外表面的外部电极间的沿面放电。此外， 第4，由于使用金属薄板作为平坦支撑部，因而可将平坦支撑部的厚度作成 较薄，而使得准分子灯与被照射物的靠近配置成为可能。
根据技术方案3所述的发明，第l，能够将连接于准分子灯的外部电极 的引线设于放电容器与引线保持体之间，而将引线压接在放电容器与引线 保持体之间并加以保持。此外，第2，能够把引线保持体固定在放电容器的 外表面。此外，第3，通过抵接于引线的引线保持部由具有电绝缘性的构件 所构成，能够防止放电容器的外表面的外部电极间的沿面放电。此外，第4， 由于在扩径支撑部使用粘合剂，因而不会有引线保持部从放电容器的下部 平坦面突出的部位，而使得准分子灯与被照射物的靠近配置成为可能
根据技术方案4至5所述的发明，第l，能够将连接于准分子灯的外部 电极的引线设于放电容器与引线保持体之间，而将引线压接在放电容器与 引线保持体之间并加以保持。此外，第2，能够把引线保持体固定在放电容 器的外表面。此外，第3，通过抵接于引线的引线保持部由具有电绝缘性的 构件所构成，能够防止放电容器的外表面的外部电极间的沿面放电。此外， 第4，由于以扩径支撑部抵接放电容器的扩径部，因而不会有引线保持部从 放电容器的下部平坦面突出的部位，而使得准分子灯与被照射物的靠近配 置成为可能。
根据技术方案6所述的发明，通过引线保持体来保护晶片管，能够防 止晶片管的损伤。
根据技术方案7所述的发明，能够实现一种灯单元，该灯单元使得准 分子灯与被照射物的靠近配置成为可能。
根据技术方案8所述的发明，能够实现一种灯单元，该灯单元使得放 电容器与被照射物的靠近配置成为可能，而且对于具有准分子灯的长度方 向的长度以上的宽度的被照射物W，也能够照射真空紫外线。


图1是表示沿着第1实施方式的发明的准分子灯5的长度方向的切剖 面所观看的紫外线照射装置1的构成的剖面图。
图2是表示图1中所示的准分子灯5的一个端部(以虚线圆圈所围绕的 部位)的扩大图。
图3是表示准分子灯5的构成的立体图。
图4(a)及图4(b)是表示从图3所示的准分子灯5的A—A切剖面所观看 的剖面图及从图3所示的准分子灯5的B—B切剖面所观看的剖面图。
图5是表示与第1实施方式的准分子灯5及放电容器的形状不相同的 变形例的准分子灯5的剖面图。
图6是表示关于第2实施方式的发明，从正交于准分子灯5的长度方 向的剖面所观看的引线保持体的构成的剖面图，该准分子灯5与第1实施 方式中的图4(b)所示的准分子灯5的剖面图相对应。
图7是表示关于第2实施方式变形例的发明，从正交于准分子灯5的 长度方向的剖面所观看的引线保持体54的构成的剖面图，该准分子灯5与 第1实施方式中图5所示的准分子灯5的剖面图相对应。
图8是表示沿着第3实施方式的发明的准分子灯5的长度方向的切剖 面所观看的紫外线照射装置1的构成的剖面图。
图9是表示图1中所示的准分子灯5的一个端部(以虚线圆圈所围绕的 部位)的扩大图。
图10是表示准分子^^5的构成的立体图。
图11是表示从图10所示的准分子灯5的C一C切剖面所观看的剖面图。
图12是表示放电容器51的局部立体图，该放电容器51为除掉图10 所示的准分子灯5的一个端部的引线保持部54的状态的放电容器51。
图13(a)至图13(c)是表示关于第4实施方式的发明，从与第3实施方式 中图11所示的准分子灯5的剖面图相对应的、准分子灯5的长度方向正交 的剖面所观看的引线保持体54B的构成的断面图。
图14(a)及图14(b)是表示关于第4实施方式的发明，图13所示的引线 保持体54B的变形例1的引线保持体54B的构成的剖面图。
图15(a)至图15(c)是表示关于第4发明，图13所示的引线保持体54的变形例2的引线保持体的构成的剖面图。
图16是表示关于第4实施方式的发明，图13所示的引线保持体54的 变形例3的引线保持体54B的构成的剖面图。
图17(a)至图17(c)是表示从通过沿着第5实施方式的发明的准分子灯5 的长度方向的晶片管41C1的切剖面所观看的准分子灯5的局部断面图。
图18是表示从沿着第6实施方式的发明中的准分子灯5的长度方向的 切剖面所观看的紫外线照射装置1的构成的剖面图。
图19是表示从图18所示的紫外线照射装置1的D—D切剖面所观看 的紫外线照射装置l的剖面图。
图20是表示从相对于现有技术的准分子灯103的长度方向正交的切剖 面所观看的紫外线照射装置100的构成的剖面图。
图21是表示图20所示的E—E切剖面所观看的紫外线照射装置100的 剖面图。
图22是表示图20及图21所示的准分子灯103的立体图。
图23是表示图21所示的准分子灯103的一个端部(以圆圈所围绕的部
位)的扩大剖面图。
图24是表示从图23所示的F—F切剖面所观看的准分子灯103的一个
端部的剖面图。
附图标记
1:紫外线照射装置，2:灯单元，3:搬运机构，31:滚子，32:驱动 部，4:筐体，41:隔间壁，5:准分子灯，51:放电容器，511: —个平坦 面，512:另一个平坦面，513:屈曲部(扩径部)，514:扩径部，51A:
放电容器，51A1:弯曲面，51A2:平坦面，51A3:屈曲部(縮径部)，51B: 放电容器，51B1:弯曲面，51B2:扩径部，51B3:平坦面，51C:放电容 器，51C1:晶片管，52: —个外部电极，53:另一个外部电极，531:外部 电极部分，54:引线保持体，541:引线保持部，5411:平板部分，5412: 突出部分，5413:沟，542A:平坦侧支撑部，543:螺合体(螺栓)，54A: 引线保持体，54A1:引线保持部54A11:平板部分，54A12:突出部分， 54A13:沟，54A2:扩径支撑部，54B:引线保持体，54B1:引线保持部， 54B11:平板部分，54B12:突出部分，54B13:底部，54B14:沟，54B2:扩径支撑部，54B21:底部，54B22:倾斜面，54B23:水平面，54B24:空 隙，54C:引线保持体，54C1:扩径支撑部兼引线保持部，54C2:扩径支 撑部，54C11:平板部分，54C12:突出部分，54C13:倾斜面，54C14:侧 面，54C21:垂直部分，54C22:倾斜面，54C23:底部，54D:引线保持体， 54D1:引线保持部，54D2:连接部，54D3:保护部，55:第1引线，56:
另一方引线，W:被照射物。
具体实施例方式
使用图1至图5来说明本发明的第1实施方式。
图1是表示从沿着本实施方式的发明的准分子灯5的长度方向的切剖
面所观看的紫外线照射装置1的构成的剖面图。
如图1所示地，该紫外线照射装置1是由灯单元2(图上方)及搬运机构 3(图下方)所构成，该灯单元2在大约箱状地所构成的筐体4具备1个或多 支准分子灯5的，该搬运机构3载置灯单元2而且搬运被照射物W。
灯单元2包括在筐体4内部，在与纸面平行的方向上并列地排列的 的多支准分子灯5，及收容准分子灯5而且加以保持的筐体4。准分子灯5 是引线保持体5设于准分子灯5的两端，通过灯保持体52经由隔间壁41 被支撑于筐体4。搬运机构3具备载置灯单元2的筐体4，而且在内部沿 着与纸面平行的方向并列配置的多个滚子31，及设于各滚子31的两端、而 且旋转驱动滚子31的驱动部32。被搬入至搬运机构3内的被照射物W是 被载置于滚子31，而通过旋转驱动滚子31，被搬入至准分子灯5的正下方。 被搬入的被照射物W是与准分子灯5靠近，从准分子灯5照射着真空紫外 线。通过真空紫外线所照射的被照射物W是被搬出至搬运机构3外。
图2是表示图1所示的准分子灯5的一个端部(以虚线圆圈围绕的部位) 的扩大剖面图。
如图2所示地，准分子灯5的例如石英玻璃所形成的放电容器51的至 少一个端部，是利用引线保持体54所夹持。形成于放电容器51的长度方 向的一个平坦面511的一个外部电极52，是与一个引线55，例如利用焊接 手段被电连接。被电连接的一个引线55是被保持在具有电绝缘性的引线保 持部541与放电容器51的一个平坦面511之间。 一方面，形成于放电容器 51的长度方向的另一个平坦面512的另一方向外部电极53，是例如与0.1mm—5mm，较佳为0.1mm—1.5mm的金属薄膜所成的平坦支撑部542 接触，被电连接。此外，外部电极52， 53是例如将混合金与低熔点玻璃的 导电性糊涂敷于放电容器51的外表面而通过烧成所形成。
图3是表示准分子灯5的构成的立体图，图4(a)是表示从图3所示的准 分子灯5的A—A切剖面观察的剖面图，图4(b)是表示从图3所示的准分子 灯5的B—B切剖面观察的剖面图。
如这些图所示，引线保持体54的引线保持部541，是由与放电容器 51的一个平坦面511大约平行的平板部分5411，及从平板部分5411的两端 向大约直角方向所延伸的突出部分5412所构成。引线保持体54的平坦支 撑部542是由与放电容器51的另一个平坦面512大约平行的平板部分 5421，及从平板部分5421的两端向大约直角方向所延伸的突出部分5422 所构成。引线保持部541的突出部分5412与平坦支撑部542的突出部分 5422，是通过轴部5431与头部5432所成的螺合体(螺栓)543被螺合，而夹 持放电容器51。
所以，与一个外部电极52电连接的一个引线55，被埋设于引线保持部 541的平板部5411的沟5413，而被夹持在平板部分5411与放电容器51的 一个平坦面511之间，而被拉出至引线保持体54的外部。另一个外部电极 53是通过与金属薄膜所形成的平坦支撑部542的平板部分5421电密接从而 实现电连接，而且平板部分5421被抵接于放电容器51的另一个平坦面512。 实现了与另一个外部电极53电连接的平坦支撑部542，是在突出部分5422 中，实现了与另一个引线56的电连接，而另一个引线56是被拉出至引线 保持体54的外部。
根据本实施方式的发明，通过引线保持体54的引线保持部541与平坦 支撑部542夹持放电容器51，引线保持部541是向放电容器51作用着力量， 被夹在引线保持部541与放电容器51的一个引线55被固定。g口，能够发 挥先前所述的、保持引线保持体54的一个引线55的第1功能。又，例如 如果以具有氟树脂所形成的柔软性的被覆体被覆一个引线55，则被夹在引 线保持部541与放电容器51之间的一个引线55，是引线保持部541与放电 容器51所接触的外表面形状会变形。由此，引线保持部541与一个引线55 的接触面积变大，由于放电容器51与一个引线55的接触面积变大，因而 即使施加着从一个引线55被引拉等的外部而来的负荷，因为利用一个引线55也把接触面积变大，因而以该接触面作用着摩擦力，而以该摩擦力可承 受对于一个引线55的负荷，
此外，根据本实施方式的发明，在平坦支撑部542与放电容器51面接 触的状态下，引线保持部541与平坦支撑部542夹持放电容器51。此时， 即使仅在放电容器51施加负荷，也利用与平坦支撑部542的面接触，摩擦 力作用在双方的抵接面，而维持着引线保持体54与放电容器51的一体状 态。即，能够发挥先前所述的引线保持体54被固定于放电容器51的第2 功能。
此外，根据本实施方式的发明，当点亮灯时在一个外部电极52施加有 高频高电压。所以一利用由具有电气绝缘性的构件构成引线保持部541，该 引线保持部541保持向一个外部电极52供电的一个引线55，能够防止通过 引线保持部541的外部电极52、 53间或引线55、 56间的绝缘击穿。艮P， 能够发挥先前所述的防止放电容器51外表面的外部电极52、 53间的绝缘 击穿的第3功能。
并且，根据本实施方式的发明，利用金属薄板构成平坦支撑部542,能 够将该厚度L2作成比由电绝缘体所构成的构件的厚度L1还要薄。B卩，能 够发挥先前所述的抑制对于放电容器51的另一个平坦面511(与被照射物W 相对的一边的面)的突出的第4功能。此外，由于形成于另一个平坦面512 的另一个外部电极53与平坦支撑部542通过电连接被连接，因而能够縮短 放电容器51的另一个平坦面512与平坦支撑部542之间的已知的引线的直 径大小的距离，而能够更縮短平坦支撑部542与被照射物W的距离L3。另 外，通过将平坦支撑部542作成供电构件或接地构件，而将另一个引线56 连接于平坦支撑部542的突出部分5422，使得简便地设置另一个引线56成 为可能。
图5是表示与第1实施方式的准分子灯5(与图4(b)的准分子灯5的剖 面图相对应)放电容器的形状不相同的变形例所示的准分子灯5的剖面图。
如图5所示地，在该准分子灯5中，放电容器51A是底面形成平坦面 51A2，而上表面形成弯曲面51A1。 一个引线55是被埋设在沟5413，该沟 5413设于引线保持部541的平板部分5411，该一个引线55被夹持在引线 保持部541的平板部分5411与放电容器51A的弯曲面51A1的顶点之间。 放电容器51A的平坦面51A2是与平坦支撑部542抵接。由于其他构成是与图4(b)的准分子灯5的相同标记的构成相对应，因而省略其说明。
在该变形例的准分子灯5中，也与图4(b)所示的准分子灯5同样地，
引线保持体54是能够发挥先前所述的第1至第4的功能。 使用图6及图7来说明本发明的第2实施方式。
图6是表示有关于本实施方式的发明，与第1实施方式的图4(b)的准 分子灯的剖面图相对应的，从正交于准分子灯5的长度方向的切剖面所观 看的引线保持体54的构成的剖面图，图7是表示本实施方式的变形例的发 明，与第1实施方式的图5所示的准分子灯的剖面图对应的，从正交于准 分子灯5的长度方向的切剖面观看的引线保持体54的构成的剖面图。
在图6所示的准分子灯5中，从放电容器51的另一个平坦面512所延 伸的屈曲部(扩径部)513，设置成与具有弹性的金属薄板所形成的平坦侧支 撑部542A的一部分接触。此外，在图7所示的准分子灯5中，正交于放电 容器51A的长度方向的切剖面由弯曲面51A1与平坦面51A2所构成，而形 成于放电容器51A的弯曲面51A1与平坦面51A2的交界线的屈曲部(縮径 部)51A3，设置成与具有弹性的金属薄板所形成的平坦侧支撑部542A点接 触。另外，图6及图7的其他构成由于是与图4(b)所示的准分子灯5的相 同标记的构成，因而省略说明。
根据本实施方式的发明，在图6中，放电容器51的屈曲部(扩径部)513 与引线保持体54的平坦侧支撑部542A点接触，而在图7中，放电容器51A 的屈曲部(扩径部)51A3与引线保持体54的平坦侧支撑部542A点接触。所 以，由于放电容器51(51A)是利用引线保持体54被夹持，因而通过从不同 的3方向对放电容器51(51A)施加推压，将引线保持体54固定于引线保持 体51(51A)。 g卩，能够发挥先前所述的引线保持体54被固定于放电容器 51(51A)的第2功能。
此外，根据本实施方式的发明，由于引线保持体54的平坦侧支撑部 542A是由金属薄板所构成，因而与由电绝缘体所成的构件来构成该厚度的 情形相比较，能够将该厚度作成还要薄。S卩，能够发挥抑制对于放电容器 51(51A)的平坦面512(51A2)(与被照射物W相对的一边的一面)的突出的第4 功能。此外，通过将平坦侧支撑部542A作为供电构件或接地构件，把平坦 侧支撑部542A与位于放电容器51(51A)的屈曲部513(51A3)的另一个外部 电极53进行接触从而电连接，由于可将另一个引线56设于平坦侧支撑部542A，因而使得抽出另一个引线56变得容易。
另外，在本实施方式的发明，也与第1实施方式的发明同样地，也能 够发挥先前所述的保持引线保持体54的第1引线55的第1功能，及防止 放电容器51(51A)外表面的外部电极52、 53间的绝缘击穿的第3功能。
使用图8至图12来说明本发明的第3实施方式。
图8是表示从沿着本实施方式的发明的准分于灯的长度方向的切剖面 观看的紫外线照射装置1的构成的剖面图。
如同图所示，该紫外线照射装置l由灯单元2(图上方)和搬运机构3(图 下方)所构成，该灯单元2在大约箱状地构成的筐体4内具备1个或多个准 分子灯5，该搬运机构3载置灯单元2而且搬运被照射物W。另外，其他 的构成是除了引线保持体54A的构成以外，由于与图1所示的相同标记的 构成对应，因而省略其说明。
图9是表示图1所示的准分子灯5的一个端部(以虚线圆圈围绕的部位) 的扩大剖面图。
如同图所示，准分子灯5的放电容器51的至少一个端部，是通过引线 保持体54所夹持。形成于放电容器51的长度方向的一个平坦面511的一 个外部电极52，与一个引线55，通过例如焊接手段电连接。被电连接的一 个引线55是被保持在具有电绝缘性的引线保持部54A1与放电容器51的一 个平坦面511之间。一方面，在放电容器51的长度方向的另一个平坦面512 形成的另一方向外部电极53,是如下述地，与另一个引线56，通过例如焊 接而被电连接，而从引线保持体54A被抽出至外部。
图10是表示准分子灯5的构成的立体图，图11是表示从图IO所示的 准分子灯5的C一C切剖面所观看的剖面图，图12是表示除掉图10所示的 准分子灯5的一个端部的引线保持体54的状态的放电容器51的局部立体 图。
如此些图所示，引线保持体54A，包括引线保持部54A1及扩径支撑部 54A2，该引线保持部54A1由与放电容器51的一个平坦面511大约平行的 平板部分54A11，及从平板部分54A11的两端向大约直角方向所延伸的突 出部分54A12所构成，并具有电绝缘性，该扩径支撑部54A2为从放电 容器51的平坦面511、 512向同方向扩径的扩径部514、引线保持部54A1 的平板部分54A11、突出部分54A12所围绕的并由无机粘合构件所填充的领域所形成。
一个引线55是与一个外部电极52利用焊剂等被电连接，且被埋设于 引线保持部54A1的平板部54A11的沟54A13,而被夹持在平板部分54A11 与放电容器51的一个平坦面511之间，而被拉出至引线保持体54A的外部。 另一个外部电极53是从另一个外部电极53的一部分延伸的外部电极部分 531延伸至放电容器51的扩径部514所形成。另一个引线56是利用焊剂等 被电连接在外部电极部分531，且通过由无机粘合剂所形成的扩径支撑部 54A2内被拉出至引线保持体54A的外部。
根据本实施方式的发明，通过引线保持体54A的引线保持部54A1与 扩径支撑部54A2夹持放电容器51，而引线保持部54A1与扩径支撑部54A2 是向放电容器51作用着夹持的力量，被夹在引线保持部54A1与放电容器 51的一个引线55被固定。g卩，能够发挥保持引线保持体54A的一个引线 55的第1功能。并且，如果以具有柔软性的被覆体被覆一个引线55，则被 夹在引线保持部54A1与放电容器51之间的一个引线55，是引线保持部 54Al与放电容器51所接触的外表面形状会变形。由此，引线保持部54A1 与一个引线55的接触面积变大，由于放电容器51与一个引线55的接触面 积变大，因而即使施加着从一个引线55被引拉等的外部而来的负荷，因为 利用一个引线55也把接触面积变大，因而以该接触面作用着摩擦力，而以 该摩擦力可承受对于一个引线55的负荷。
此外，根据本实施方式的发明，在扩径支撑部54A2是用无机粘合剂被 填充固化的状态下，引线保持部54A1与扩径支撑部54A2夹持放电容器51 。 此时，即使仅在放电容器51施加负荷，也通过扩径支撑部54A2的无机粘 合剂，粘合于放电容器51的扩径部514，而维持着引线保持体54A与放电 容器51的一体状态。即，能够发挥引线保持体54A被固定于放电容器51 的第2功能。
此外，根据本实施方式的发明，当点亮灯时在一个外部电极52施加有 高频高电压。所以，利用以具有电性绝缘性的构件构成引线保持部54A1， 该引线保持部54A1保持向一个外部电极52供电的一个引线55，能够防止 通过引线保持部54A1的外部电极52、 53间或引线55、 56间的绝缘击穿。 即，能够发挥防止放电容器51外表面的外部电极52、 53间的绝缘击穿的 第3功能。并且，根据本实施方式的发明，引线保持体54A是不存在由放电容器 51的另一个平坦面512向下部突出的部分。所以，放电容器51与被照射物 W是与引线保持体54A无关地可靠近。g卩，可发挥抑制对于放电容器51 的另一个平坦面512(与被照射物W相对的一边的面)的突出的第4功能。此 外，由另一个外部电极53所延伸的外部电极部分531被形成于放电容器51 的扩径部514，而由于另一个引线56与外部电极部分531，利用例如焊剂 被电连接，因而也能够避免位于放电容器51的另一个平坦面512下部的已 知的另一个引线56的直径大小的距离，而可縮短另一个平坦面512与被照 射物W的距离。
使用图13至图16来说明本发明的第4实施方式
图13是表示有关于本实施方式的发明，与第3实施方式的图11所示 的准分子灯的剖面图相对应的、从正交于准分子灯5的长度方向的切剖面 所观看的引线保持体54B的构成的剖面图。
图13(a)是表示准分子灯5的短边方向的长度为L6，而准分子灯5的厚 度为L5时的引线保持体54B的构成的剖面图，图13(b)是表示准分子灯5 的厚度比图13(a)的准分子灯的厚度L5还要厚的厚度L7时的引线保持体 54B的构成的剖面图，图13(c)是表示准分子灯的短边方向的长度比图13(a) 的准分子灯的短边方向的长度L6还要长的长度L8时引线保持体54B的构 成的剖面图。
如图13(a)所示，引线保持体54B是由引线保持部54B1与扩径支撑部 54B2所构成，而引线保持部54B1是由与放电容器51的一个平坦面511大 约平行的平板部分54B11，及从该平板部分54B11的两端向大约直角方向 延伸的突出部分54B12所构成。扩径支撑部54B2是由与放电容器51的 另一个平坦面512位于相同面的底部54B21，及与放电容器51的扩径部514 接触而支撑放电容器51的倾斜面54B22,及与引线保持部54B1的突出部 分54B12的底部54B13接触的水平面54B23所构成。使扩径支撑部54B2 的水平面54B23与引线保持部54B1的底部54B13接触，通过螺台体(螺 栓)543螺合两者，由此夹持放电容器51。
图13(b)是表示图13②所示的放电容器51与短边方向的长度L6是相 同、比放电容器51的厚度L5还要厚的L7时的引线保持体54B的状态的图。 此时，扩径支撑部54B2与引线保持部54B1螺合之际，调节根据螺合体(螺栓)543的螺合量。结果，扩径支撑部54B2的水平面54B23与引线保持部 54B1的底部54B13是隔着间隔被螺合，而可夹持放电容器51。
图13(c)是表示图13(a)所示的放电容器51的厚度L5是相同、比放电容 器51的短边方向的长度L6还要长的L8时的引线保持体54B的状态的图。 此时，在扩径支撑部54B2与引线保持部54B1的螺合之际，调节根据螺合 体(螺栓)543的螺合量。结果，扩径支撑部54B2的水平面54B23与引线保 持部54B1的底部54813是隔着间隔，扩径支撑部54B2的底部54B21从放 电容器51的另一个平坦面512朝下方溢出的状态下被螺合，而夹持放电容 器51。
在此些图中，与一个外部电极52电连接的一个引线55，被埋设于引线 保持部54B1的平板部分54B11的沟54B14,而被夹持在平板部分54B11 与放电容器51的一个平坦面511之间，而被拉出至引线保持体54B的外部。 如图12所示，另一个外部电极53是将另一个外部电极53所延伸的外部电 极部分531形成于放电容器51的扩径部514，通过由金属材料来构成扩径 支撑部54B2，由此抵接外部电极部分531与扩径支撑部54B2而实现电连 接，而从扩径支撑部54B2利用如焊剂电连接另一个引线56，另一个引线 56是被拉出至引线保持体54B的外部。通过如此地构成，也可除去位于放 电容器51的另一个平坦面512下部的已知的另一个引线56的直径大小的 距离，从而可缩短另一个平坦面512与被照射物W的距离。
根据本实施方式的发明，通过引线保持体54的引线保持部54B1与扩 径支撑部54B2夹持放电容器51，扩径支撑部54B2是向放电容器51作用 着力量，被夹在引线保持部54B1与放电容器51的一个引线55被固定，从 而可发挥先前所述的保持引线保持体54B的一个引线55的第1功能。
此外，根据本实施方式的发明，在扩径支撑部54B2的倾斜面54B22 与放电容器51的扩径部514接触的状态下，引线保持部54B1与扩径支撑 部54B2夹持放电容器51。此时，即使仅在放电容器51施加负荷，也通过 与扩径支撑部54B2的接触，在双方的抵接面作用着摩擦力，而维持着引线 保持体54B与放电容器51的一体状态，可发挥先前所述的引线保持体54B 被固定于放电容器51的第2功能。
此外，根据本实施方式的发明，利用由具有电气绝缘性的构件构成引 线保持部54Bl，该引线保持部54B1保持向一个外部电极52供电的一个引线55，可防止通过引线保持部54B1的外部电极52、 53间或引线55、 56 间的绝缘击穿，可发挥先前所述的防止放电容器51外表面的外部电极52、 53间的绝缘击穿的第3功能。
此外，根据本实施方式的发明，除了图13(c)的情形以外，引线保持体 54B不存在着由放电容器51的另一个平坦面512向下部突出的部分。所以， 放电容器51与被照射物W是与引线保持体54B无关地可靠近。即，可发 挥抑制对于放电容器51的另一个平坦面512(与被照射物w相对的一边的面) 的突出的第4功能。
图14是表示关于本实施方式的发明，表示图13的引线保持体54B的 变形例1的引线保持体54B的构成的剖面图。图14(a)是表示准分子灯5的 短边方向的长度为L6，而准分子灯5的厚度为L5时的引线保持体54B的 构成的剖面图，图14(b)是表示准分子灯的短边方向的长度是比图14(a)的准 分子灯的短边方向的长度L6还要长的长度L8时的引线保持体54B的构成 的剖面图。
如这些图所示，在扩径支撑部54B2中在螺台体543被螺合的周边部， 螺合体(螺栓)543在相对于螺合方向的直角方向上可移动，设置有在螺合方 向无法移动的空隙54B24。通过如此地构成，在图13(c)中，准分子灯的短 边方向的长度是比图13(a)的准分子灯短边方向的长度L6还要长的L8时， 放电容器51的另一个平坦面512在向下方溢出扩径支撑部54B2的底部 54B21的状态下被螺合，如图14(b)所示，通过将螺合体(螺栓)543在扩径支 撑部54B2的空隙54B24向放电容器51的短边方向移动加以螺合，可将放 电容器51的另一个平坦面512与扩径支撑部54B2的底部54B21维持在相 同面的状态。
根据本实施方式的变形例1的发明，与本实施方式的图13的发明同样 地，也可发挥第1至第4的功能。
图15是表示关于本实施方式的发明，表示图13的引线保持体54B的 变形例2所示的引线保持体54C的构成的剖面图。
图15(a)是表示准分子灯5的短边方向的长度为L6，而准分子灯5的厚 度为L5时的引线保持体54C的构成的剖面图，图15(b)是表示准分子灯5 的厚度是比图15(a)的准分子灯的厚度L5还要厚的厚度L7时的引线保持体 54C的构成的剖面图，图15(c)是表示准分子灯5的短边方向的长度是比图15(a)的准分子灯5的短边方向的长度L6还要长的长度L8时引线保持体54C 的构成的剖面图。
如图15(a)所示，引线保持体54C包括扩径支撑部兼引线保持体54C1 与扩径支撑部54C2，扩径支撑部兼引线保持体54C1包括与放电容器51 的一个平坦面511大约平行的平板部分54C11;从该平板部分54C11的一 端向大约直角方向延伸的突出部分54C12;及在该突出部分54C12的一部 分与放电容器51的扩径部514接触而支撑放电容器51的倾斜面54C13。 扩径支撑部54C2包括:与扩径支撑部兼引线保持部54C1的平板部分54C11 的一端的侧面54C14相对向的垂直部分54C21;及在该垂直部分54C21的 一部分与放电容器51的扩径部514接触而支撑放电容器51的倾斜面 54C22。在扩径支撑部54C2的垂直部分54C21与扩径支撑部兼引线保持部 54C1的平板部分54C11的侧面54C14接触的方向上，将两者利用螺合体(螺 栓)543加以螺合，由此夹持放电容器51。
图15(b)是表示图15(a)所示的放电容器51与短边方向的长度L6是相 同，比放电容器51的厚度L5还要厚的L7时的引线保持体54C的状态的图。 此时扩径支撑部兼引线保持部54C1的侧面54C14与扩径支撑部54C2的垂 直部分54C21间的螺合之际，调节根据螺合体(螺栓)543的螺合量。结果， 扩径支撑部兼引线保持部54C1的侧面54C14与扩径支撑部54C2的垂直部 分54C21是隔着间隔被螺合，而可夹持放电容器51。
图15(c)是表示图15(a)所示的放电容器51的厚度L5是相同，比放电容 器51的短边方向的长度L6还要长的L8时的引线保持体54C的状态的图。 此时，在扩径支撑部兼引线保持部54C1的侧面54C14与扩径支撑部54C2 的垂直部分54C21间的螺台之际，调节根据螺台体(螺栓)543的螺合量。结 果，扩径支撑部兼引线保持部54C1的侧面54C14与扩径支撑部54C2的垂 直部分54C21是隔着间隔被螺合，而可夹持放电容器51。
如这些图所示，在图15(b)中，通过螺合体(螺栓)543螺合扩径支撑部兼 引线保持部54C1与扩径支撑部54C2，由此，放电容器51的另一个平坦面 512与扩径支撑部54C2的底部54C23以向上方縮入的状态被螺合。此外， 如图15(c)所示，通过螺合体(螺栓)543螺合扩径支撑部兼引线保持部54C1 与扩径支撑部54C2，由此，以相同面状态能够螺合放电容器51的另一个 平坦面512与扩径支撑部54C2的底部54C23。根据本实施方式的变形例2的发明，与本实施方式的图13的发明同样 地，也可发挥第1至第4的功能。
图16是表示关于本实施方式的发明，表示图示于第13图的引线保持 体54B的变形例3的引线保持体54B的构成的断面图。
如图16所示地，放电容器51B包括正交于放电容器51B的长度方向 的切剖面具有扩径部51B2的弯曲面51B1与平坦面51B3。引线保持体54B 包括引线保持部54B1与扩径支撑部54B2，引线保持部54B1包括与放电 容器51B的平坦面51B3大约平行的平板部分54B11 ，及从该平板部分54B11 的两端向大约直角方向延伸的突出部分54812。扩径支撑部54B2包括与 放电容器51B的平坦面51B3位于相同面的底部54B21,及与放电容器51B 的扩径部51B2接触且支撑放电容器51B的倾斜面54822，及相对于与引线 保持部54B1的突出部分54B12的底部54B13接触的方向的水平面54B23。 将两者利用螺合体(螺栓)543螺合于接触扩径支撑部54B2的水平面54B23 与引线保持部54B1的底部54B13的方向，由此，夹持放电容器51。
根据本实施方式的变形例3的发明，与本实施方式的图13的发明同样， 也可发挥第1至第4的功能。
使用图17来说明本发明的第5实施方式。图17是表示从通过沿着本 实施方式的发明的准分子灯5的长度方向的晶片管51C1的切剖面所观看的 准分子灯5的局部剖面图，图17(b)是表示从图17(a)所示的准分子灯5的X 方向所观看的准分子灯5的侧视图，图17(c)是表示除掉设于图17(a)、图 17(b)中所示的放电容器51C的两端的引线保持体54D的状态的放电容器 51C的构成的立体图。
如这些图所示，该准分子灯5是在放电容器51C的两端形成有晶片管 51Cl。由于该晶片管51C1的前端由放电容器51C的两端突出，因而会与 其他物体相撞而破损的可能性。所以，在引线保持体54D设置连续于引线 保持部54D1的连接部54D2,及从连接部54D2可覆盖晶片管51C1的前端 的方式所形成的保护部54D3。另外，由于其他的构成是与表示于第3实施 方式的图11的引线保持体54A的构成相对应，因而省略说明。此外，作为 被适用于使用晶片管51C1的准分子灯5的引线保持体54D，也可适用表示 于其他实施方式的引线保持体54、 54B、 54C。
使用图18及图19来说明本发明的第6实施方式。图18是表示从沿着本实施方式的发明的准分子灯5的长度方向的切剖面所观看的紫外线照射 装置1的构成的剖面图，图19是表示从图18所示的紫外线照射装置1的D —D切剖面所观看的紫外线照射装置1的剖面图。
如图18所示，该紫外线照射装置1包括灯单元2(图上方)及搬运机构 3(图下方)，该灯单元2是由在大约箱状地所构成的筐体4具备准分子灯5， 该搬运机构3载置灯单元2而且搬运被照射物W的。本实施方式的发明是 与记载于表示于第1实施方式的图1的紫外线照射装置1的多个准分子灯5 同样，配置于相同平面上，但与表示于第1实施方式的图1的紫外线照射 装置1，多个准分子灯5排列成与准分子灯5的长度方向正交的方向而互相 地向长度方向偏位的所谓锯齿状地排列的点不相同。此外，其他的构成是 与表示于图1的相同标记对应的构成，因而省略说明。
根据本实施方式的发明，对于具有准分子灯的长度方向的长度以上的 宽度的被照射物W，也可照射真空紫外线。
权利要求
1、一种准分子灯，具备放电容器，具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器内部封入发光气体；一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面；另一个外部电极，设于上述上下两表面中的另一个平坦面；及引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧，其特征在于上述引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部；及金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由上述引线保持部与上述平坦支撑部夹持上述放电容器，上述引线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦支撑部与上述另一个外部电极电连接，而且抵接于上述放电容器的上述另一个平坦面。
2、 一种准分子灯，具备放电容器，具有在长度方向上延伸的上下两表面，且具有屈曲部，该 屈曲部形成于在该上下两表面之间形成的弯曲面上或上述上下两表面之 间，而且在该放电容器内部封入发光气体；一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面上； 另一个外部电极，设于上述上下两表面中的另一个平坦面；及 引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧， 其特征在于上述引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部；及具有弹性的金 属薄板所形成的平坦侧支撑部，通过由上述引线保持部与上述平坦侧支撑部夹持上述放电容器，上述 弓I线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一个 面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述平坦侧支撑部将另一个引线保持在上述平坦侧支撑部与上述放电容器的上述另一个平坦面之间，该另一个引线与上述另一个外部电极电连 接。
3、 一种准分子灯，具备放电容器，具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器 内部封入发光气体；一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面； 另一个外部电极，设于上述上下两表面中的另一个平坦面；及 引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧， 其特征在于上述引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部及被填充固化于该引 线保持部与上述放电容器之间的粘合构件所形成的扩径支撑部，通过粘合构件被填充固化于上述引线保持部与上述放电容器之间，上 述引线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一 个面之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述扩径支撑部将另一个引线保持在该扩径支撑部内，该另一个引线 与外部电极部分电连接，该外部电极部分从上述另一个外部电极连续并延 伸至扩径部，该扩径部形成于放电容器的侧面。
4、 一种准分子灯，具备-放电容器，具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在该放电容器 内部封入发光气体；一个外部电极，设于上述上下两表面中的一个面； 另一个外部电极，设于上述上下两表面中的另一个面；及 引线保持体，设于上述放电容器的至少一个端部侧， 其特征在于上述放电容器在上述两表面间的侧面形成有扩径部，上述引线保持体 包括具有电绝缘性的弓I线保持部及扩径支撑部，通过由上述引线保持部与上述扩径支撑部夹持上述放电容器，上述引 线保持部将一个引线保持在上述引线保持部与上述放电容器的上述一个面 之间，该一个引线与上述一个外部电极电连接，上述扩径支撑部与上述放电容器的上述扩径部抵接。
5、 如权利要求4所述的准分子灯，其中，上述另一个外部电极具有外部电极部分，该外部电极部分连续延伸至 上述放电容器的扩径部，上述扩径支撑部是由金属材料形成，通过由上述 引线保持部与上述扩径支撑部夹持上述放电容器，使上述放电容器的外部 电极部分与上述扩径支撑部实现电连接。
6、 如权利要求1~5中任一项所述的准分子灯，其中， 上述放电容器具有从该放电容器的端壁部突出的晶片管，上述引线保持体具有连接部及保护部，该连接部在引线保持部沿晶片管的管轴方向延 伸，该保护部设于由该连接部起至晶片管的长度方向的外方。
7、 一种灯单元，具有准分子灯及筐体，该筐体保持该准分子灯并且一 面开口，其特征在于上述准分子灯是权利要求1 6项中任一项所述的1个或多个准分子灯， 该准分子灯配置成，该准分子灯的平坦面与位于上述筐体开口的被照射物 的被照射面平行。
8、 一种灯单元，具有准分子灯及筐体，该筐体保持该准分子灯并且一 面开口，其特征在于上述准分子灯是权利要求1~ 6项中任一项所述的多个准分子灯，该准 分子配置成在与该准分子灯的长度方向正交的方向上，上述各准分子灯的 平坦面在相同平面上。
全文摘要
提供具备准分子灯及具备该准分子灯的灯单元，该准分子灯被靠近配置于被照射物的导线保持体。一种准分子灯包括具有在长度方向上延伸的上下两表面，而且在内部封入发光气体的放电容器；设于上述上下两表面的外部电极；及设于放电容器的端部侧的引线保持体，其特征为引线保持体包括具有电绝缘性的引线保持部与金属薄板所形成的平坦支撑部，通过由引线保持部与平坦支撑部夹持放电容器，引线保持部是将与一个外部电极电连接的一个引线保持在与放电容器的一个面之间，平坦支撑部是与另一个外部电极电连接，而且抵接于放电容器的另一个平坦面。
文档编号H01J65/00GK101556897SQ200910134819
公开日2009年10月14日 申请日期2009年4月9日 优先权日2008年4月10日
发明者石原肇, 竹添法隆 申请人:优志旺电机株式会社