摆动体装置及其制造方法、光学偏转器和图像形成装置的制作方法

专利名称：摆动体装置及其制造方法、光学偏转器和图像形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及摆动体装置及其制造方法、采用该摆动体装置的光学偏转器、以及图
像形成装置。 例如，本发明涉及能够实现光学偏转器的技术，其使用可适当应用于图像形成装 置的摆动体装置，该图像形成装置是例如通过光线的偏转扫描来投影图像的投影显示器、 具有电子照相处理器的激光束打印机、以及数字复印机。
背景技术：
至今，利用半导体工艺由晶片制造的微型机械部件已可处理微米数量级，且通过 采用这些部件，已可实现各种微型机械部件。 例如，作为使利用此技术形成的可动元件(摆动板)扭转振动并利用该可动元件 (摆动板)的共振现象的致动器(摆动体装置)，已提出各种提案。 特别的，与采用诸如传统多面镜一类旋转多面镜的光学扫描光学系统相比，作为 光学反射器的反射面设在此可动元件(摆动板)上并利用该可动元件(摆动板)的共振现 象来进行光学扫描的光学反射器具有以下优点。 也就是说，提供可使光学反射器小型化、可使利用半导体工艺制造的由单晶硅构
成的光学反射器在理论上无任何金属疲劳且耐用性优良、以及可使能耗小等特征。 特别的，由于在可动元件(振动板)的扭转振动的固有振动模式的频率附近驱动
光学反射器，所以能够实现低能耗。 然而，一方面，在利用此共振现象的光学反射器中，由于制造过程中导致的尺寸误 差等，作为各致动器之间的固有振动模式的频率的共振频率产生变化。 结果，由于各致动器之间的共振频率的这种变化是不希望的，所以有必要调整共 振频率。 当使用致动器时，若作为操作(驱动)频率的基准频率被设定为预定值，则固有振 动模式的频率与基准频率之间产生不一致。 结果，在由此致动器构成的光学偏转器中，固有振动模式的频率与基准频率的不 一致使可动元件的摆角变化。在电子照相处理装置例如采用光学反射器的激光束打印机 中，激光束被扫描到感光部件上，从而形成图像。 结果，为稳定图像的纵横比并抑制图像的恶化，有必要调整光学反射器的共振频 率至预定值，以在使光学偏转器内的可动元件对应于感光部件的转速时消除该可动元件的 摆角的变化。 迄今为止，作为如上所述的可调整共振频率的致动器，日本专利申请文献特开 No. 2002-040355已公开了以下平面式电流镜。 在此技术中，如图9所示，采用质量负载部1001和1002形成在可动板两端的平面
式电流镜，该可动板具有可摆动地弹性支承在扭转轴线110上的反射面和线圈。 通过利用激光束辐射此电流镜的质量负载部1001和1002，除去质量并调整惯性力矩，从而把频率设定为预定值。 日本专利申请文献特开No. 2004-219889公开了一种可利用树脂在反射镜基板 (微型摆动板)上涂覆质量片并调整共振频率的摆动镜。 如上所述，在利用共振现象的致动器中，由于当试图降低能耗时希望在固有振动 模式的频率附近驱动可动元件(摆动板)，所以有必要调整共振频率。 另外，在采用由此致动器构成的光学偏转器的图像形成装置中，为稳定图像的纵
横比并抑制图像质量的恶化，有必要调整光学反射器的共振频率至预定值。 然而，在上述传统例中，调整这些共振频率至预定值会产生以下问题。 在日本专利申请文献特开No. 2002-040355中，利用树脂涂覆反射镜表面会增大
惯性力矩，由此调整共振频率。 另外，利用激光器除去反射镜的一部分质量会减小惯性力矩，由此调整共振频率。 在任一情况下，当高精度地调整共振频率时，都需要树脂涂覆位置具有高精度。
这是因为在如上所述的利用树脂或者激光加工除去反射镜的一部分来调整共振 频率的方法中，即便加工位置略微地移动(偏移)，也会产生以下问题。 也就是说，当反射镜在树脂(或者除去位置)相对于摆动轴线中心偏移的状态下 摆动时，在树脂质量(或者除去质量)大的情况下，产生由该偏移导致的惯性力矩，从而有 时恶化反射镜的摆动特性。 另外，在日本专利申请文献特开No. 2004-219889中，通过以转轴为对象在反射镜 表面进行涂覆来增大惯性力矩并调整共振频率。 与如上所述相类似的，在此情况下，当高精度地调整共振频率时，要求各个树脂涂 覆位置具有高精度。 如上所述，在传统装置中，要求装置具有高定位精度，这导致例如装置复杂化和加 工应答性降低的问题。 考虑到上述问题，本发明的目的是提供一种在调整共振频率时可以简单的构造和 较低的成本高精度地调整摆动板质量的摆动体装置及其制造方法、以及采用该摆动体装置 的光学偏转器和图像形成装置。

发明内容
本发明提供一种摆动体装置及其制造方法、采用该摆动体装置的光学偏转器、以 及图像形成装置，它们被如下构造。 本发明的摆动体装置是这样一种摆动体装置，其包括利用支承部能摆动地支承在 固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴线驱动所述摆动板，其中，所 述摆动板具有形成用于调整所述摆动板的质量的槽部的区域，且所述共振频率被构造成能 通过在所述区域内形成所述槽部来调整。另外，在本发明的摆动体装置中，该摆动板包括这 样一种结构，该结构利用第一摆动板和第二摆动板具有绕所述扭转轴线的至少两种固有振 动模式的频率，以及所述槽部被构造成能形成在所述第一摆动板和所述第二摆动板中至少 一者的形成槽部的区域内。 另外，在本发明的摆动体装置中，摆动板包括与所述摆动板连接且在平行于所述 扭转轴线的方向上延伸的延伸部，所述延伸部的一部分被能切断以能够调整所述摆动板
5的质量，以及形成所述槽部的所述区域为所述摆动板或所述延伸部的正面和背面中至少一者。 另外，在本发明的摆动体装置中，槽部被形成为在垂直于扭转轴线的方向上从摆 动板或延伸部的一边至另一边横过该摆动板或延伸部。 另外，本发明的光学偏转器的特征在于包括上述任一摆动体装置和设在该摆动体 装置的摆动板上的光学偏转元件。 另外，本发明的图像形成装置的特征在于包括光源、感光部件和光学偏转器，来自 光源的光线利用光学偏转器偏转，且该光线的至少一部分被允许入射在感光部件上。
另外，本发明的摆动体装置的制造方法是这样一种制造方法，其包括利用支承部 能绕扭转轴线摆动地支承在固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴 线驱动所述摆动板，其特征在于，在所述摆动板的区域内形成槽部，以调整所述摆动板的共 振频率，并且包括通过形成槽部来调整所述摆动板的质量的步骤。 另外，本发明的摆动体装置的制造方法在调整摆动板的质量时，以第一摆动板和 第二摆动板作为摆动板形成具有绕扭转轴线的至少两种固有振动模式的频率的结构，其 中，在第一摆动板和第二摆动板中至少一者的区域内形成槽部。 另外，本发明的摆动体装置的制造方法在调整摆动板的质量时形成与摆动板连接 且在平行于扭转轴线的方向上延伸的延伸部作为摆动板，且特征在于执行以下第一和第二 步骤两者或者仅执行第二步骤，在该第一步骤中，通过切断延伸部的一部分来调整摆动板 的质量，在该第二步骤中，通过在摆动板或延伸部的正面和背面中的至少一者内形成槽部 来调整摆动板的质量。 另外，本发明的摆动体装置的制造方法的特征在于，当调整摆动板的共振频率时 检测摆动板绕扭转轴线的固有振动模式的频率，并且，基于所检得的频率与预定共振频率 之间的差异决定摆动板的惯性力矩的调整量。 另外，本发明的摆动体装置的制造方法的特征在于，基于摆动板的惯性力矩的调 整量，决定槽部的宽度、深度和数量中至少一者。 另外，在本发明的摆动体装置的制造方法中，利用激光束通过辐射在垂直于扭转
轴线的方向上从摆动板或延伸部的一边至另一边横过该摆动板或延伸部形成槽部。 依据本发明，能够实现在调整共振频率时利用简单的构造、低成本和高精度调整
摆动板质量的摆动体装置及其制造方法、采用该摆动体装置的光学偏转器、以及图像形成装置。 由以下参照附图对示范实施例的说明，本发明的其它特征将变得明显。


图1是说明本发明实施例中的摆动体装置的构造的示图。 图2A和2B是用于说明本发明实施例中、在摆动板内形成惯性力矩可调整的槽部 的步骤的示图；图2A是表示在摆动板内形成线性槽部的构造的示图，以及图2B是沿图2A 的线2B-2B切割的剖视图。 图3是说明在比较例中除去摆动板的特定部分的质量的情况的示图。 图4是说明在本发明实施例中、在摆动板内形成槽部的方法的一个例子的示图。
图5是说明在本发明第一实施例中的摆动装置及其制造方法的示图。 图6是说明在本发明第二实施例中的摆动装置及其制造方法的示图。 图7是说明在本发明第二实施例中的正弦波振动和大致锯齿形波振动的轨迹的示图。 图8是说明本发明第三实施例中的图像形成装置的示图。 图9是说明作为传统例的日本专利申请文献特开No. 2002-040355中的平面式电 流镜的示图。
具体实施例方式
现在将依据附图详细说明本发明的优选实施例。 接着，将说明依据本发明实施例的摆动体装置及其制造方法。
图1是说明依据本实施例的摆动体装置的构造的示图。 图1中，参考数字100指示摆动体装置，数字101指示摆动板，数字102指示弹性 支承部，数字103指示固定部，以及数字104指示永久磁铁。 在本实施例的摆动体装置中，摆动板101由弹性支承部102支承在固定部103上。 摆动板101具有与扭转轴线110平行的边101a和101b。 弹性支承部102以轴线110为中心弹性地且可扭转摆动地支承摆动板101 。 摆动体装置100具有绕扭转轴线110扭转摆动的固有振动模式。 其频率f用以下公式表示。
/ = i/(2.7T)'V^77 (公式i) 其中，k指示弹性支承部102绕扭转轴线110的扭转弹簧常数，I指示摆动板101
绕扭转轴线110的惯性力矩。 另外，摆动板101提供有永久磁铁104。 永久磁铁104沿图中纵向磁化。利用未表示的电磁线圈施加交流磁场，从而能够 产生转矩。 通过把交流磁场的频率设置在固有振动模式的频率f附近，能够执行利用共振现 象的摆动。 当制造如上所述的摆动体装置时，通过利用以下方法调整惯性力矩，可高精度地 调整固有振动模式的频率。 首先，驱动摆动体装置100，并检测固有振动模式的频率f。 作为频率f的检测方法，例如，搜寻被施加给电磁线圈的交流磁场的频率，并利用 驱动波形检测单元检测沿摆动体装置100的扭转方向的振动的振幅，将振幅变成最大的交 流磁场的频率作为固有振动模式的频率f等。 从利用此测量单元测得的固有振动模式的频率与调整目标值之间的差异，使用公 式(1)的关系计算必要的惯性力矩调整量。 基于如上所述算得的摆动板的惯性力矩的调整量，决定槽部的宽度、槽部的深度 和槽部的数量中的至少任一者，并在摆动板的区域内如下形成其惯性力矩变得可调整的槽 部。 图2A和2B是用于说明在摆动板内形成其惯性力矩变得可调整的槽部的步骤的示图。 图2A是表示在摆动板内形成线性槽部的构造的示图，图2B是沿图2A的线2B-2B 切割的剖视图。 在本实施例中，沿着与扭转轴线垂直的方向从摆动板的一边至另一边形成槽部。
具体的，如图2所示，从与摆动板101的扭转轴线110平行的一边101a至另一边 101b，使用加工用激光束通过辐射形成线性槽部105。 特别的，当摆动体装置100由半导体制造加工制成时，其形状可被制造得具有极 高的精度例如± 1 P m或更小，因此通过从边101a至边101b连续地执行加工，能够实现惯 性力矩的高精度调整。 作为比较例，将说明如图3所示的摆动板的特定部分106的质量被除去的情况。
摆动板101绕扭转轴线110的惯性力矩的调整量It如下表示。
It = m L2 (公式2) 其中，m是除去量，L是扭转轴线110与除去部分的重心之间的距离。 如公式(2)所示，由于惯性力矩的调整量It与距离L的平方成正比，所以当试图
高精度地调整惯性力矩时，需要极高精度地调整加工部位。 也就是说，必须严格地控制使加工用激光束偏转的偏转器的精度以及用于移动摆 动体装置的工作台的精度，于是加工装置的昂贵成本以及加工速度的降低将不可避免。
接着，将说明在本实施例中、在摆动板101内形成槽部的方法的一个例子。
图4是说明此方法的示图。 摆动体装置100安装在工作台401上。激光源402被安装成使加工用激光束403 聚焦在摆动板101上且该摆动板101由工作台401朝箭头方向移动，以便能够从该摆动板 101的边101a至边101b连续地形成槽部。 加工的惯性力矩使边101a和边101b平行于摆动板101的扭转轴线110。
因此，惯性力矩不受工作台在纸面垂直方向上的位置误差的影响，且由于从摆动 板101的一边至另一边加工，所以也不受工作台401在移动方向上的位置误差的影响。
结果，惯性力矩的调整精度仅对摆动板101的形状精度敏感，而不依赖于工作台 401的位置精度。 因此，可采用低精度和高速驱动的工作台，能够实现装置的低价格和加工速度的 提高。尽管已利用工作台执行加工位置的移动，但即便在利用光学偏转器等来扫描加工用 激光束403的情况下，也能够获得相同的效果。 如上所述，依据本实施例，利用不依赖于加工装置的位置精度的加工，在摆动板内
形成惯性力矩可调整的槽部，从而能够高精度地调整固有振动模式的频率。 另外，在此摆动体装置的摆动板上设置作为光学偏转元件的反射面，以便此摆动
体装置用作光学偏转器。 另外，可构造包括此光学偏转器、光源和感光部件、利用该光学偏转器偏转来自光
源的光线并允许该光线的至少一部分入射在感光部件上的图像形成装置。(实施例) 以下将说明本发明的实施例。
(第一实施例)
在第一实施例中，将说明采用本发明构造的摆动体装置及其制造方法的构造例。
图5是说明本实施例中的摆动体装置及其制造方法的示图。 图5中，与图1所示实施例相同的构造采用相同的参考数字，因此将省略对共同部件的说明。 图5中，参考数字500指示摆动体装置，数字501和502指示延伸部。 在本实施例的摆动体装置500中，摆动板101的厚度为300 y m，沿扭转轴线110方
向的长度为lmm，且宽3mm。 摆动板101包括延伸部501和502。 这些延伸部501和502如图5所示包括延伸部，在把扭转轴线110夹于其间的对称位置处与摆动板101连接且沿着平行于该扭转轴线的方向延伸，该延伸部的一部分被切断以使摆动板的质量可调整。 槽部被构造成可形成在延伸部的表面或背面中的至少一者上。 摆动板101、弹性支承部102和固定部103利用干式蚀刻通过蚀刻单晶硅而形成。 摆动体装置500包括绕扭转轴线110扭转振动的固有振动模式。 其频率f用在上述实施例中说明的公式(1)表示。 由于弹簧常数K和惯性力矩I随制造变化和环境变化而改变，因此所制得摆动体装置的频率f与预定目标频率之间产生误差。 因此，当制造摆动体装置时，调整惯性力矩，从而能够高精度地调整固有振动模式的频率。 首先，测量固有振动模式的频率，并由所测得频率与调整目标值之间的差异，使用公式(1)的关系计算必要的惯性力矩调整量。 依据算得的惯性力矩调整量，通过以下两个工序调整摆动板的频率。 此两个工序包括切断延伸部的第一工序和从该延伸部的一边至另一边连续地形
成线性槽部的第二工序。 在第一工序中，依据惯性力矩调整量控制延伸部的切断位置。 也就是说，当调整量大时，使图中的切断距离L短，而当调整量小时，使图中的切断距离L长。 在本实施例中，尽管切断距离以摆动板的重心G为基准，但也可取端部、定位标记等作为基准。 优选的，希望切断相对于扭转轴线IIO对称设置的两延伸部，但也可切断两延伸部中的任一者。 与后述的第二工序相比，通过切断延伸部，可较大量地调整惯性力矩。 在第二工序中，依据惯性力矩调整量，控制从延伸部的一边起在边上连续形成的
线性槽部的宽度t。 也就是说，当调整量大时，使图中的槽宽度t宽，而当调整量小时，使图中的槽宽
度t窄。 在本实施例中，尽管槽宽度被调整，但也可调整槽深度或槽数量。 通过利用干式蚀刻以突入形状高精度地形成槽部，可以高精度地调整惯性力矩。 通过执行第一工序和第二工序或者仅执行第二工序，能够高精度且迅速地调整摆动体装置500的频率。
(第二实施例) 在第二实施例中，将说明不同于第一实施例的一种实施例的摆动体装置及其制造方法。 图6是说明本实施例中的摆动体装置及其制造方法的示图。 图6中，参考数字601指示第一摆动板，数字602指示第二摆动板，数字611指示第一弹性支承部，数字612指示第二弹性支承部。 本实施例的摆动体装置600具有这样一种结构，其中，由于第一摆动板和第二摆动板，摆动板包括绕扭转轴线的至少两个固有振动模式的频率。 具体的，摆动体装置包括第一摆动板601、第二摆动板602、第一弹性支承部611、第二弹性支承部612和固定部620。 这里，第一摆动板601的厚度为300iim，沿扭转轴线IIO方向的长度为lmm，且宽3mm。 另外，第二摆动板602的厚度为300iim，沿扭转轴线110方向的长度为2mm，且宽6mm。 摆动板包括延伸部603， 604， 605和606，该延伸部通过把扭转轴线110夹于其间在如所示的对称位置与摆动板601和602连接。 所有延伸部都被形成为在与扭转轴线110平行的方向上延伸。 第一摆动板601和第二摆动板602由第一弹性支承部611可扭转摆动地连接，第
二摆动板602由第二弹性支承部612可扭转摆动地与固定部620连接。 摆动板、弹性支承部和固定部利用干式蚀刻通过蚀刻单晶硅而形成。 摆动体装置600具有绕扭转轴线110的两种固有模式的频率fl和f2。 摆动体装置通过施加包括两种固有模式的驱动力可实现使两正弦波合成的扭转振动。 特别的，当fl和f2处于两倍关系时，通过调整两正弦振动701和702的振幅，可实现如图7所示的大致锯齿形波振动703。 与正弦波相比，大致锯齿形波振动703能够大幅地设定角速度基本恒定的区域，并能够扩大相对于整个偏转扫描的可用区域。 另一方面，为获得如上所述的合成波形，有必要高精度地调整摆动体装置的两个固有模式的频率fl和f2。 —般，包括两个摆动板和两个弹性支承部的振动系统的两个固有振动模式的频率fl和f2用以下公式(3)表示。 | /2W +瓜2 + /2A2 - V^/1爐A2 + (/1A:2 + /2(W + *2))2 f2—卩2W + + /2A:2 + V^i7l/2A:1A2 + (/U2 + /2(W + A:^^/,、式(3)—"\( 8/1/2"2 其中，kl和k2指示第一弹性支承部611和第二弹性支承部612绕扭转轴线110的扭转弹簧常数，符号II和12指示第一摆动板601和第二摆动板602绕扭转轴线110的惯性力矩。
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由于弹簧常数K和惯性力矩I随制造变化和环境变化而改变，因此所制得的摆动体装置的频率f与预定目标频率之间产生误差。 因此，在制造摆动体装置时利用以下方法调整惯性力矩，以便能够高精度地调整固有振动模式的频率。 首先，测量固有振动模式的频率，并由所测得频率与调整目标值之间的差异，使用公式(3)的关系计算第一摆动板601和第二摆动板602各自必要的惯性力矩调整量。
依据算得的惯性力矩调整量，通过以下两个工序调整第一摆动板601和第二摆动板602各自的惯性力矩，从而调整摆动体装置600的频率fl和f2。 此两个工序包括切断延伸部的第一工序和从该延伸部的一边至另一边连续地形成线性槽部的第二工序。 在第一工序中，依据惯性力矩调整量控制延伸部的切断位置。 也就是说，当第一摆动板的调整量大时，使图中的切断距离L1短，而当调整量小时，使图中的切断距离L1长；以及当第二摆动板的调整量大时，使图中的切断距离L2短，而当调整量小时，使图中的切断距离L2长。 在本实施例中，尽管以摆动板的重心为基准，但也可取端部和定位标记作为基准。
优选的，希望切断相对于扭转轴线IIO对称设置的两延伸部，但也可切断两延伸部中的任一者。 与后述的第二工序相比，通过切断延伸部，可较大量地调整惯性力矩。 在第二工序中，依据惯性力矩调整量，控制从延伸部起在一边上连续形成的线性
槽部的宽度t。 也就是说，当调整量大时，使图中的槽宽度t宽，而当调整量小时，使图中的槽宽
度t窄。 在本实施例中，尽管槽宽度被调整，但也可调整槽深度或槽数量。 通过利用干式蚀刻以突入形状高精度地形成槽部，可以高精度地调整惯性力矩。 通过执行第一工序和第二工序两者或者仅执行第二工序，能够高精度且迅速地调
整摆动体装置600的频率。(第三实施例) 在第三实施例中，将说明采用本发明的摆动体装置构成的光学偏转器的图像形成装置的构造例。 图8是说明本实施例中的图像形成装置的构造例的示意斜视图。 在图8所示实施例的图像形成装置中，参考数字803指示采用本发明的摆动体装
置构成的光学偏转器。在本实施例中，入射光被一维扫描。 数字801指示激光源，数字802指示透镜或者透镜组，数字804指示写入透镜或者透镜组，以及数字805指示呈鼓形的感光部件。 从激光源801发出的激光受到与光线的偏转扫描定时有关的预定强度调制。
此经强度调制的光线通过透镜或者透镜组802，并利用光学扫描系统(光学偏转器)803 —维扫描。 此被扫描的激光由写入透镜或者透镜组804在感光部件805上形成图像。 在与扫描方向垂直的方向上绕转轴转动的感光部件805被未表示的充电器均匀充电，且通过扫描光线于其上，静电潜像被形成在其扫描部分上。 接着，利用未表示的显影设备，在静电潜像的图像部分上形成调色剂图像，且通过
转印并定影此调色剂图像于例如未表示的片材上，在该片材上形成图像。 利用本发明的摆动体装置，可采用适当调整至预定频率的摆动体装置。 结果，可在振幅增幅率高的状态下驱动装置，这使装置小型且减少能耗。 另外，当采用第二实施例的摆动体装置时，可使光线偏转扫描的角速率在感光部
件805规格内为近似恒定角速率。 另外，通过采用由本发明的摆动体装置构成的光学偏转器，减小扫描位置的变化，从而获得能够生成清晰图像的图像形成装置。 尽管已参照示范实施例对本发明进行了说明，但应理解的是本发明不限于所公开的示范实施例。以下权利要求书的范围应与最宽解释一致以涵盖所有这些变型和等同的结构和功能。 本申请要求享有2007年8月30日提交的日本专利申请文献No. 2007-223640以及2008年3月18日提交的日本专利申请文献No. 2008-069761的权益，在此整体引入这些文献以供参考。
权利要求
一种摆动体装置，所述摆动体装置包括利用支承部能绕扭转轴线摆动地支承在固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴线驱动所述摆动板，所述摆动板具有形成用于调整所述摆动板的质量的槽部的区域，且所述共振频率被构造成能通过在所述区域内形成所述槽部来调整。
2. 根据权利要求1所述的摆动体装置，其特征在于，所述摆动板包括这样一种结构，所 述结构利用第一摆动板和第二摆动板具有绕所述扭转轴线的至少两种固有振动模式的频 率，以及所述槽部被构造成能形成在所述第一摆动板和所述第二摆动板中至少一者的形成槽 部的区域内。
3. 根据权利要求1所述的摆动体装置，其特征在于，所述摆动板具有与所述摆动板连 接且在平行于所述扭转轴线的方向上延伸的延伸部，所述延伸部的一部分被能切断以能够 调整所述摆动板的质量，以及形成所述槽部的所述区域为所述摆动板或所述延伸部的正面和背面中至少一者。
4. 根据权利要求3所述的摆动体装置，其特征在于，所述槽部被形成为在垂直于扭转 轴线的方向上从所述摆动板或所述延伸部的一边至另一边横过所述摆动板或所述延伸部。
5. —种光学偏转器，包括根据权利要求1至4中任一项所述的摆动体装置；以及 光学偏转元件，设在所述摆动体装置的摆动板上。
6. —种图像形成装置，包括光源、感光部件和根据权利要求5所述的光学偏转器， 其中，来自所述光源的光线利用所述光学偏转器偏转，且所述光线的至少一部分被允许入射在所述感光部件上。
7. —种用于制造摆动体装置的制造方法，所述摆动体装置包括利用支承部能绕扭转轴 线摆动地支承在固定部上的摆动板，所述摆动体装置以共振频率绕所述扭转轴线驱动所述 摆动板，所述方法包括如下步骤在所述摆动板的区域内形成槽部，以调整所述摆动板的质量，从而调整所述摆动板的 共振频率。
8. 根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的 所述质量时，以第一摆动板和第二摆动板作为所述摆动板形成具有绕所述扭转轴线的至少 两种固有振动模式的频率的结构，以及在所述第一摆动板和所述第二摆动板中至少一者的区域内形成所述槽部。
9. 根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的 所述质量时，执行以下第一和第二步骤两者或者仅执行所述第二步骤，在所述第一步骤中， 形成与所述摆动板连接且在平行于所述扭转轴线的方向上延伸的延伸部作为所述摆动板、 并切断所述延伸部的一部分以调整所述摆动板的质量，在所述第二步骤中，在所述摆动板 或所述延伸部的所述正面和所述背面中至少一者内形成所述槽部以调整所述摆动板的质
10. 根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，当调整所述摆动板的 所述共振频率时检测所述摆动板绕所述扭转轴线的所述固有振动模式的所述频率，以基于 所检得的频率与预定共振频率之间的差异决定所述摆动板的惯性力矩的调整量。
11. 根据权利要求io所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，基于所述摆动板的所述惯性力矩的所述调整量，决定所述槽部的宽度、深度和数量中的至少一者。
12. 根据权利要求7所述的摆动体装置的制造方法，其特征在于，利用激光束通过辐射 在垂直于所述扭转轴线的方向上从所述摆动板或所述延伸部的一边至另一边横过所述摆 动板或所述延伸部形成所述槽部。
全文摘要
一种摆动体装置(100)，包括利用支承部(102)可绕扭转轴线(110)振动地支承在固定部(103)上的摆动板(101)且以共振频率绕扭转轴线(110)驱动摆动板(101)，该摆动板具有形成用于调整摆动板的质量的槽部的区域，且共振频率被构造成可通过在该区域内形成槽部来调整。
文档编号G02B26/10GK101784938SQ20088010412
公开日2010年7月21日 申请日期2008年8月20日 优先权日2007年8月30日
发明者加藤贵久, 堀田薰央, 森本弘之, 藤井一成 申请人:佳能株式会社