一种显影液供给管路的制作方法

专利名称：一种显影液供给管路的制作方法
技术领域：
本发明涉及半导体显影工艺，特别是涉及一种显影液供给管路。
背景技术：
如图1所示，传统的显影液供给管路包括显影液管路11、恒温交换
系统6、温度监测器7、温度控制器4、显影液喷嘴等装置。在传统的显 影单元中，由于E2/E3的喷嘴直径(0.4mm)非常小，且显影液与空气 结合后容易产生碳酸盐结晶，容易造成喷嘴阻塞，使得显影液从喷嘴吐出 时无法均匀的分布在晶片上，从而导致晶片显影不良或是喷嘴上的结晶物 掉到晶片上，造成产品报废。
同时，由于传统的显影液供给管路没有提供使管路清洁的装置(参见 图1),因此管路内壁、管路接头、管路阀件及显影液喷嘴容易脏污。又 由于部分显影液管路中途没有设置恒温装置，加上管路内壁污垢，显影液 喷嘴的恒温管外壁污垢，容易导致显影液变质，造成显影能力不足。

发明内容
针对现有技术中显影液喷嘴结晶堵塞的问题，本发明的目的是提出一 种显影液供给管路，在原有显影液供给管路的基础上，增加用于清洗显影 液喷嘴的去离子水管路，使存在于喷嘴内的结晶物排出，及清洁管路内的 沉积物，从而降低显影不良的机会。
为了达到本发明的上述和其他目的，本发明提出一种显影液供给管 路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，以及与显影液 管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控 制阀门连接到显影液管路。作为优选，该去离子水管路并联到恒温交换系统和过滤器之间的显影 液供给管路上。
作为优选，该控制阀门为手动三相阀，该手动三相阀可同时用于控制 去离子水和显影液。
作为优选，该显影液喷嘴为E系列的喷嘴。
作为优选，该显影液供给管路还包括温度控制器，该温度控制器与机
台的化学制剂输入/输出板(Chemical I/O board)连接，用于感测流向显 影液喷嘴的显影液的温度。
本发明通过在原有的显影液供给管路的基础上增加去离子水管路，可 以通过提供去离子水管路的水压将显影液管路内的脏污及显影液喷嘴的 结晶物快速排出，以保持管路内壁、管路接头、管路阀件及显影液喷嘴无 污垢；同时，由于保持了显影液管路所有零配件的内外部分洁净，虽然部 分显影液管路中途没有恒温装置，但是定时的提供去离子水作清洁管路 用，不至于产生显影液变质或碳酸盐沉积，因而避免了以上现象造成显影 能力不足的问题。


图1是传统的显影液供给管路示意图； 图2是本发明一种显影液供给管路示意图。 图3是本发明所涉及的E2喷嘴示意图； 图4是本发明所涉及的E3喷嘴示意图。
具体实施例方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式
作更详细的描述。
参见图2， 一种显影液供给管路，包括显影液管路ll、位于显影液管 路前端的显影液喷嘴12，以及与显影液管路相并联的去离子水管路21, 该去离子水管路21通过安装到显影液管路的控制阀门3连接到显影液管路11。该显影液管路一般具有缓冲罐(Buffer tank,用于显影液的暂存)、 Teflon管路、过滤器(Filter,用于显影液过滤)、通风机(Fan flow,用 于侦测流量)、气动阀(用于控制显影液喷涂的开关)、恒温交换系统6、 温度监测器7、喷嘴12(用于把显影液喷涂到晶片表面)等装置，该去离子 水管路21通常由Teflon管路组成。
作为优选，该去离子水管路21并联到恒温交换系统6和过滤器5之 间的显影液供给管路ll上。
作为优选，该控制阀门3为手动三相阀，该手动三相阀可同时用于控 制去离子水2和显影液1。
作为优选，该手动三相阀门用于定时切换去离子水2，利用机台提供 的预喷机制，借着去离子水2的水压，将存在显影液喷嘴12内的结晶物 (碳酸盐)快速排出，以及清洗管路内的沉积物。
作为优选，该显影液喷嘴12为E系列的喷嘴，最好是E2或E3喷嘴。 参见图3， E2喷嘴具有104个直径为0.4mm的小孔，去离子水2通过管 路进出该显影液喷嘴，在该显影液喷嘴内构成环路后排出，从而清洗管路 和喷嘴内的沉积物。参见图4， E3喷嘴具有102个小孔，中间部分122 的各小孔的直径小于外侧部分121的各小孔的直径，在图4所示的E3喷 嘴中，中间部分122的小孔81的直径为0.15mm，小？L 82的直径为 0.20mm，小孔83的直径为0.25mm，小孔84的直径为0.30mm，小孔85 的直径为0.32mm，小孔86的直径为0.34mm，小孔87的直径为0.36mm， 小孔88的直径为0.38mm;外侧部分121的小孔90的直径均为0.40mm。 去离子水2通过管路进出该显影液喷嘴，在该显影液喷嘴内构成环路后排 出，从而清洗管路和喷嘴内的沉积物。这两种喷嘴在接入显影液时均可以 在晶片表面均匀地喷涂显影液。
作为优选，该显影液供给管路还包括温度控制器4，该温度控制器4 位于显影液管路11的前端靠近显影液喷嘴12的部位，与机台的化学制剂 输入/输出板(Chemical I/O board)连接，用于感测流向显影液喷嘴12的 显影液1的温度。与现有的显影液供给管路相比，本发明增加了去离子水管路21，利 用提供于去离子水管路21的水压，可将显影液管路11内的脏污及显影液 喷嘴12的结晶物快速排出，从而保持管路内壁、管路接头、管路阀件及 显影喷嘴无污垢；同时，由于保持了显影液管路ll所有零配件的内外部 分洁净，虽然部分显影液管路中途并无恒温装置，但是通过定时提供去离 子水2用于清洁管路，使显影液变质或碳酸盐沉积现象得到避免，从而克 服了传统的显影液供给管路所引发的显影能力不足的问题，提高了产品的 合格率。
以上描述了本发明的较佳实施例及其效果，当然，本发明还可有其他 实施例，在不背离本发明之精神及实质的情况下，所属技术领域的技术人 员当可根据本发明作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形 都应属于本发明的权利要求的保护范围。
权利要求
1.一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，其特征在于，还包括与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。
2. 根据权利要求1所述的一种显影液供给管路，其特征在于，该去离子水管路并联到恒温交换系统和过滤器之间的显影液供给管路上。
3. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于，该控制阀门为手动三相阀，该手动三相阀可同时用于控制去离子水和显影液。
4. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于，该显影液喷嘴为E系列的喷嘴。
5. 根据权利要求1或2所述的一种显影液供给管路，其特征在于，该显影液供给管路还包括温度控制器，该温度控制器与机台的化学制剂输入/输出板相连接，用于感测流向显影液喷嘴的显影液的温度。
全文摘要
本发明涉及一种显影液供给管路，包括显影液管路、位于显影液管路前端的显影液喷嘴，以及与显影液管路相并联的去离子水管路，该去离子水管路通过安装到显影液管路的控制阀门连接到显影液管路。采用本发明的结构可以使存在于喷嘴内的结晶物排出，及清洁管路内的沉积物，从而降低显影不良的机会。
文档编号G03F7/32GK101639633SQ20081014441
公开日2010年2月3日 申请日期2008年7月29日 优先权日2008年7月29日
发明者胡清强, 陈晓琪, 鲁旭光 申请人:和舰科技(苏州)有限公司