一种显影手臂的限位装置的制作方法

专利名称：一种显影手臂的限位装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种限位装置，尤其涉及一种显影手臂的限位装置。
背景技术：
在光阻覆盖显影机中，显影液喷头用于在晶片上涂布显影液，因喷头 会在离晶片比较近的位置进行作业，所以有必要限制喷头的位置，使其不 接触到晶片而划伤或毁损晶片。显影液喷头由显影手臂夹持，显影手臂夹 持着显影液喷头进行移动、转动或停止等动作，所以限制喷头位置实际上 就是限制显影手臂的位置。而对显影手臂位置和动作的限制通过限位装置 来达成。
图l所示为现有的显影机显影手臂的限位装置的示意图。其中，手臂
7通过手臂卡箍8和手臂连接模块6固定于气缸1，因此手臂7的的上下 运动是依靠气缸1来带动的，手臂7的上下位置由上下位置侦测感应器10 来侦测感应，而手臂7的停止则是依靠两块缓冲模块2撞击停止模块3来 实现的。缓冲模块2通过连接件9固定于手臂连接模块6，缓冲模块2随 着气缸1的运动而运动。停止模块3固定于气缸1的非运动部分，其不随 气缸1的运动而运动。因为在实际运动过程中缓冲模块会承受很大的冲击 力，如果气缸1与手臂的连接模块6锁的不够紧的话，会导致缓冲模块和 连接模块成为一个整体松脱，使得手臂渐渐变松，高度变低，有可能导致 显影液喷头接触到晶片表面刮伤晶片，使得产品合格率降低甚至报废。
因此，需要寻找一种更为可靠的限位装置。 发明内容
本实用新型的目的在于解决现有技术的以上问题，提供了一种显影手
3臂的限位装置。
本实用新型的一种显影手臂的限位装置，包括显影手臂、与显影手臂 连接的连接机构、与上述连接机构连接并通过上述连接机构带动显影手臂 移动的气缸以及支撑气缸的基座，其特征在于还包括缓冲模块和停止模 块，缓冲模块与非连接部件连接，停止模块位于气缸外侧，不随气缸的移 动而移动。
上述缓冲模块分为上、下两块。
上述非连接件是气缸。
上述非连接件是基座。
上述限位装置还包含一个固定支架。
上述固定支架是柱状的。
上述上、下两块缓冲模块固定于该固定支架上。
上述固定支架固定于上述基座上。
上述固定方式是螺栓或螺钉固定。
本实用新型的限位装置可靠性更高，并有利于提高晶片的合格率。

图1所示为现有的显影机显影手臂的限位装置示意图； 图2是本实用新型的限位装置的第一实施例的示意图； 图3是本实用新型的限位装置的第二实施例的示意图。
具体实施方式
以下结合附图，对本实用新型的具体实施例作进一步的详细说明。
图2所示是本实用新型的限位装置的第一实施例的示意图，在该实施 例中，显影手臂的上下运动是依靠气缸l来带动的，而运动停止则是依靠 缓冲模块2撞击停止模块3来实现的。缓冲模块分为上、下两部分2和2'，分别用于控制显影手臂的上限和下限位置。气缸l具有左右两部分，左半
部分是可以上下移动的，右半部分固定不动。上述上下两个缓冲模块2和 2'采用螺栓或螺钉固定等方式分别固定于气缸l的左半部分的上下两端， 他们随着气缸l的运动而运动。停止模块3固定于气缸1的右半部分，因而 不随气缸的运动而运动，且停止模块3位于上下两块缓冲模块2和2'的中 间， 一旦缓冲模块2和2，碰到停止模块3，显影手臂就停止运动。将缓冲 模块2和2'固定于气缸1使得显影手臂与气缸1以及缓冲模块2和2'的运 动和停止保持同步，同时因为气缸l是一个非连接件，所以缓冲模块2和2' 与气缸l之间的连接更为牢固，当碰到停止模块3时缓冲模块2和2'不会因 受巨大冲击力而松脱。因而本实用新型的限位装置可靠性更高，并有利于 提高晶片的合格率。
图3所示是本实用新型的限位装置的第二实施例的示意图，与第一实 施例相比，第二实施例的不同之处在于上下两块缓冲模块2和2'不是固定 于气缸l，而是固定于另一非连接件一基座5，先将上下两块缓冲模块2和 2'固定于一个柱状的固定支架4的上下两端，再将该固定支架4固定于基 座5上，本实施例中的固定方式采用螺栓或螺钉固定。采用第二实施例可 以达到与第一实施例完全相同的有益效果。
在本实用新型的另一实施例中，上述固定架可以是长条形的。
虽然，本实用新型已通过以上实施例及其附图得到清楚说明，然而在 不背离本实用新型精神及其实质的情况下，所属技术领域的技术人员应当 可以根据本实用新型作出各种相应的改变，但这些相应的改变都应属于本 实用新型的权利要求的保护范围。
权利要求1. 一种显影手臂的限位装置，包括显影手臂，与显影手臂连接的连接机构，与上述连接机构连接并通过上述连接机构带动显影手臂移动的气缸，支撑气缸的基座，其特征在于还包括缓冲模块和停止模块，缓冲模块与非连接部件连接，停止模块位于气缸外侧，不随气缸的移动而移动。
2. 根据权利要求1所述的限位装置，其特征在于上述缓冲模块分为 上、下两块。
3. 根据权利要求2所述的限位装置，其特征在于上述非连接部件是气缸。
4. 根据权利要求2所述的限位装置，其特征在于上述非连接部件是基座。
5. 根据权利要求4所述的限位装置，其特征在于上述限位装置还包含 一个固定支架。
6. 根据权利要求5所述的限位装置,其特征在于上述固定支架是柱状的。
7. 根据权利要求6所述的限位装置，其特征在于上述上、下两块缓冲 模块固定于该固定支架上。
8. 根据权利要求7所述的限位装置，其特征在于上述固定支架固定于 上述基座上。
9. 根据权利要求8所述的限位装置,其特征在于上述固定方式是螺栓 或螺钉固定。
专利摘要本实用新型涉及一种显影手臂的限位装置。该限位装置包括显影手臂、与显影手臂连接的连接机构、与上述连接机构连接并通过上述连接机构带动显影手臂移动的气缸以及支撑气缸的基座，还包括缓冲模块和停止模块，缓冲模块与非连接部件连接，停止模块位于气缸外侧，不随气缸的移动而移动。上述缓冲模块分为上、下两块；上述非连接件是气缸；上述非连接件是基座；上述限位装置还包含一个柱状的固定支架；上述上、下两块缓冲模块固定于该固定支架上；上述固定支架固定于上述基座上；上述固定方式是螺栓或螺钉固定。本实用新型的限位装置可靠性更高，并有利于提高晶片的合格率。
文档编号G03F7/30GK201255806SQ20082013324
公开日2009年6月10日 申请日期2008年9月5日 优先权日2008年9月5日
发明者胡清强, 耀 陈, 陈晓琪, 鲁旭光 申请人:和舰科技(苏州)有限公司