超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置的制作方法

专利名称：超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置。
背影技术已有的光刻胶生产技术包括树脂的合成、光刻胶的配制及过滤。这些过程是分散的由不同的生产车间或不同的生产厂家来完成。由于生产批次的不同及不同生产环节质量控制指标及工艺的差别，使最终的光刻胶不同生产批次的质量指标有较大的差别。
超支化聚合物的合成，目前均采用单一的常压反应釜进行，这一合成工艺对以用起始核，通过逐步发散增长的方法制备超支化聚合物而言，就存在分步加料的问题，导致生长周期长，同时，每步加料计量误差(称量、混合过程的误差和损失)的累积会对合成产物的支化度，分子量及残留单体量均会产生较大的影响。

发明内容
本实用新型的目的是克服现有光刻胶生产过程需在不同的生产车间或生产厂家来完成，而使最终的光刻胶不同生产批次的质量指标有较大的差别。提供一种包括超支化聚合物合成、纯化及光刻胶配制、过滤等过程的连续生产装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案是该装置包括反应釜、洗涤塔、干燥塔、液体固体混合加热器、混合罐、过滤器、废气处理罐、液体计量槽、泵及管线，所述反应釜顶部进口处通过管线分别连接液体计量槽，顶部出口通过管线与废气处理罐连接，反应釜下部经管线与氮气瓶相连，底部出口经管线及泵与洗涤塔的进口连接，洗涤塔底部出口经管线及泵连接干燥塔，干燥塔底部出口经管线及泵与过滤器进口相连，液体固体混合加热器的出口经管线连接混合罐，另外，混合罐还通过管线连接液体计量槽。
所述废气处理罐用塘瓷进行内衬。
本实用新型与现有技术相比具有如下优点和效果超支化聚酯微光学光刻胶连续生产装置，使超支化聚合物合成和微光学光刻胶的生产有机地结合在一起，使用该装置能完成超支化聚合物合成、洗涤、干燥和光刻胶的生产，最终得到的是可直接进入市场的微光学光刻胶。由于从反应开始到最终得到合格的光刻胶，反应步骤较多，特别是通过发散法合成超支化碱溶性感光聚合物，由于反复括链，如果采用常规的反应装置，既耗时，同时每次加料误差的累积造成最终合成聚合物的性能发生变化。本实用新型所用连续生产装置，经过高度优化组合，每一个操作单元之间紧密相连，构成一个连续的整体，第一步完成之后，紧接着进行下一步操作，节省了大量时间，使设备发挥最大的使用效率，同时，减少了批与批之间的性能差别，保证了产品质量的稳定性。


图1是本实用新型装置结构示意图具体实施方式
如图1所示，本实用新型超支化聚脂微光学光刻胶连续生产装置，包括反应釜1、洗涤塔2、干燥塔8、液体固体混合加热器4、混合罐5、过滤器6、废气处理罐7、液体计量槽、泵及管线，所述反应釜1的顶部进口处通过管线分别连接液体计量槽11、12、18，顶部出口通过管线与废气处理罐7连接，该废气处理罐用塘瓷进行内衬。所述反应釜1下部经管线与氮气瓶10相连，底部出口经管线和泵19连接干燥塔8；液体固体混合加热器4是专用于配制光刻胶时，溶解固体组分如光引发剂等的装置，所述液体固体混合加热器4的出口经管线及阀门14连接混合罐5，有一液体计量槽通过管线及三通阀分成两路，一路与混合罐5的中上部连接，另一路连接液体固体混合加热器4的出口管线。另外，还有一液体计量槽15通过管线连接混合罐5的顶部进口处。所述干燥塔8底部出口经管线及泵20连接液体计量槽15的管线8。所述混合罐5的底部出口经管线及泵21与过滤器6相连。
权利要求1.一种超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置，该装置包括反应釜、洗涤塔、干燥塔、液体固体混合加热器、混合罐、过滤器、废气处理罐、液体计量槽、泵及管线，其特征是所述反应釜(1)顶部进口处通过管线分别连接液体计量槽(11、12、13)，顶部出口通过管线与废气处理罐(7)连接，反应釜(1)下部经管线与氮气瓶(10)相连，底部出口经管线及泵与洗涤塔(2)的进口连接，洗涤塔(2)部出口经管线及泵连接干燥塔(2)，干燥塔(2)底部出口经管线及泵与过滤器(6)进口相连，液体固体混合加热器(4)的出口经管线连接混合罐(5)，另外，混合罐(5)还通过管线连接液体计量槽(15、16)。
2.据权利要求1所述的超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置，其特征是所述废气处理罐(7)用塘瓷进行内衬。
专利摘要本实用新型涉及一种超支化聚酯微光学光刻胶的连续生产装置。该装置包括反应釜、洗涤塔、干燥塔、液体固体混合加热器、混合罐、过滤器、废气处理罐、液体计量槽、泵及管线，所述反应釜顶部进口处通过管线分别连接液体计量槽，顶部出口通过管线与废气处理罐连接，反应釜下部经管线与氮气瓶相连，底部出口经管线及泵与洗涤塔的进口连接，洗涤塔底部出口经管线及泵连接干燥塔，干燥塔底部出口经管线及泵与过滤器进口相连，液体固体混合加热器的出口经管线连接混合罐，另外，混合罐还通过管线连接液体计量槽。该装置使超支化聚合物合成和微光学光刻胶的生产有机地结合在一起，能完成超支化聚合物合成、洗涤、干燥和光刻胶的生产，最终得到的是可直接进入市场的微光学光刻胶。
文档编号G03F7/039GK2864746SQ20052006767
公开日2007年1月31日 申请日期2005年11月14日 优先权日2005年11月14日
发明者冯宗财, 汪德凤, 莫辰希, 黄强 申请人:湛江师范学院