一种气浮导轨系统的制作方法

专利名称：一种气浮导轨系统的制作方法
技术领域：
本发明属于精密仪器领域，具体涉及一种包括压缩空气控制气路、真空 控制气路的气浮导轨系统。
背景技术：
超精密气浮工件台系统是当前主流光刻机的核心子系统，要求具有纳米 级的重复定位精度与同步运动精度。由于气浮导轨系统的精度比滚珠直线导 轨高两个数量级，具有精度高、摩擦低、寿命长等优点，满足高精度，高稳 定性，高速度等要求，气浮导轨结构在超精密工件台系统中广泛应用。但是 应用中发现气浮导轨会有振幅为纳米级的微幅振动，频率从几十赫兹到几千 赫兹。而且这种振动频率位于控制带宽之内，属于闭环之外的扰动，控制系 统对这种振动的抑制作用很小，超精密气浮工件台系统一旦使能，振动将会 被激发放大，大大降低系统的控制精度。
文献"超精密气浮工件台的微振动与抑制"(张鸣，朱煜，段广洪，《制
造技术与机床》，2005年第11期)公开了超精密气浮工件台的微振动与抑制， 介绍了微振动成因，得出抑制超精密气浮工件台的微振动措施在于采用直径 更小的气浮孔。实践也证明，采用直径更小的气浮孔的确有助于改善超精密 气浮工件台的微振动，但是更小的气浮孔由于直径太小的原因，在实际应用 中容易因为微颗粒的作用而发生阻塞现象，严重者会酿成重大事故，所以抑制超精密气浮工件台的微振动不能仅从减小气浮孔入手。
文献"基于静压气浮导轨的直线电机高性能工作台的研制"(张从鹏，
刘强，《机械科学与技术》，2006年第IO期)介绍了气浮导轨的种类、设计
方法、预加载技术等相关知识，得出对气浮导轨的预加载最有效的方法是采 用真空预加载，方便灵活，但是其对超精密气浮工件台中气浮导轨的气路如 何保证其压力稳定性没有涉及。
专利申请号为200610027352. 1的"一种调节气膜双向刚度的气浮支座" 公开了 一种用于超精密气浮工件台的调节气膜双向刚度的气浮支座，该支座 能有效保证气浮工件台的运动精度。而保证气浮支座运动精度的关键是根据 实际需要调节气路压力，保证气膜厚度及气浮刚度。应用时其对气路中压力 需要精确调节，以避免超精密气浮工件台的微振动现象，而如何调节、如何 保证气路压力的稳定，该专利没有涉及，而且该气浮支座结构复杂。
研究发现，超精密气浮导轨使用中出现的微幅振动与气道中气体的流动 有关。流体的流动通常具有两种状态， 一种是层流， 一种是紊流，工程中以 雷诺数来区分的，雷诺数超过3000的为湍流；雷诺数低于2000的为层流； 介于两者之间的为过渡状态；雷诺数的计算为公式(1):
Re = /mD / mM (i)
其中户为流体密度；w为流体速度；D为管道直径；气为流体粘度。
当工程实际应用中采用较小的气浮孔直径时，雷诺数已经降低到2000
以下，为层流状态时，发现因为气浮孔太小，而容易阻塞气浮孔，易引起事
故发生。所以抑制超精密气浮导轨的微振动现象，除了保证一定直径大小的
气浮孔外，还需要提供压力非常稳定的供气气源及特定的气浮导轨结构。

发明内容
本发明要解决的技术问题是，为抑制气浮导轨应用中的气膜微幅振动现 象，本发明提供一种气控精密、气膜厚度相对恒定并且气浮刚度高的气浮导 轨系统。
为解决上述技术问题，本发明提供的气浮导轨系统包括压缩空气控制气
路、真空控制气路以及气浮导轨，气浮导轨包括气浮区和真空腔；所述压缩 空气控制气路包括第一恒压气嚢，用于向所述气浮导轨的气浮区补充气体； 所述真空控制气路包括第二恒压气嚢，用于抽取所述气浮导轨的真空腔中的 气体。
根据本发明提供的气浮导劲 ^IIT其叫"所述压缩空气控制气路还包括
过滤器、精密调压阀、第一电磁阀、流量调节阀和第一压力开关；过滤器、 精密调压阀、第一电磁阀、第一恒压气嚢、流量调节阀和第一压力开关通过 密封管路依次连接并通向气浮导轨的气浮区。所述压缩空气控制气路中包括 两个或两个以上第一恒压气嚢和两个或两个以上流量调节阀，每个第一恒压 气嚢通过密封管路直接连接于每个流量调节阀。所述第一电^f兹阀是二位二通 电-兹阀或者二位三通电磁阀之一。所述流量调节阀是单向流量调节阀。所述 精密调压阀的灵每文度小于其最大量程的0. 2%
根据本发明提供的气浮导轨系统，其中，所述真空控制气路还包括精密 调压阀、流量调节阀、第二电磁阀、第二压力开关和过滤器；精密调压阀、 第二恒压气嚢、流量调节阀、和过滤器通过密封管路依次连接并通向气浮导 轨的真空腔，第二压力开关串接于真空腔和流量调节阀之间，第二电磁阀串 接于精密调压阀与第二压力开关之间。第二电磁阀是真空专用电磁阀，是二 位二通电磁阀或者二位三通电磁阀之一。所述流量调节阀是单向流量调节阀。所述精密调压阀的灵敏度小于其最大量程的0.2%
作为较佳技术方案，本发明提供的气浮导轨系统中，所述气浮导轨包括 三个以上的奇数个气浮区和两个以上的偶数个真空腔，气浮区和真空腔相互 交替排列形成气浮导轨，并且气浮区以气浮导轨的中心轴线对称布局、真空 腔以气浮导轨的中心轴线对称布局。所述气浮区包括四个气浮孔和四条气浮 均压槽，所述气浮孔在气浮区平面内对称布局，所述气浮均压槽在气浮区平 面内对称布局。所述气浮孔的孔径大小一致，所述气浮均压槽的深度一致、
气浮均压槽的宽度一致。所述气浮孔的孔径D根据以下公式计算
Re = /7wD / m"
其中，Re为雷诺数，户为流体密度，w为流体速度，D为管道直径，气为 流体粘度；通过设置气浮孔径参数D使Re小于或等于2000。
所述气浮导轨还包括置于所述真空腔和气浮区之间的隔离室，隔离室相 对所述中心轴线对称布局。所有气浮区通过气通路连接，同时通过设置在所 述气通路上的第一管接头向所有气浮区供气，第一管接头连接于压缩空气控 制气路。所有真空腔通过气通路连接，同时通过设置在所述气通路上的第二 管接头向所有真空腔抽取空气，第二管接头连接于真空控制气路。
本发明的技术效果是通过在压缩气体控制气路中设置第一恒压气嚢， 第一方面，第一恒压气嚢中的气体可以迅速感应气路中的压力小于预定值， 从而向气路中补充气体，克服了通过压缩空气源补充气体反应慢的特点，从 而使气浮区的气膜振动相对较小；第二方面，由于压缩空气源的气体压力波 动大，直接通过压缩空气源向气浮区中补充气体，会导致压缩空气控制气路 流向气浮区的气流不均衡而引起真空腔的气膜振动，通过设置第一恒压气 嚢，可以明显克服这一缺点。通过在真空控制气路中设置第二恒压气嚢，第一方面，第二恒压气嚢体可以迅速感应真空腔的气压变化，从而直接抽取真 空腔中的气体，克服了通过真空源系统抽取气体反应相对较慢的特点，从而 使真空腔的气膜振动相对较小。第二方面，由于真空源系统的气体压力波动 大，直接通过真空源系统抽取真空腔中的气体，会导致真空腔流向真空控制 气路的气流不均衡而引起真空腔的气膜振动，通过设置第二恒压气嚢，可以 明显克服这一缺点。因此本发明提供的气浮导轨系统具有气膜振动小的特 点。
进一步较佳技术方案中，气浮导轨的结构对称布局，气浮区之间内部相
同、压力均一；每个气浮区都有四个气浮孔，四条气浮均压槽组成，气浮孔 与气浮均压槽在每个气浮区上都是对称布局；这就保证气浮区压力完全一 致，在承受外部变化负载时能够保证气膜厚度不变。气浮区和真空腔的对称 布局特点，也能提高系统的气浮刚度。


图l是本发明提供气浮导轨系统的实施例结构示意图2是图1所提供的气浮导轨系统中的气浮导轨结构实施例示意图。
具体实施例方式
为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图对本发明 作进一步的详细描述。
图l所示为本发明提供气浮导轨系统的实施例结构示意图。如图l所示， 气浮导轨系统包括压缩空气控制气路20、真空控制气路40以及两个气浮导 轨70。压缩空气控制气路20和真空控制气路40可以同时向一个或者多个气浮导轨同时供气，在该实施例中为向两个气浮导轨同时供气，两个气浮导轨 的结构参数完全相同。压缩空气控制气路20中，包括有过滤器25、精密调
压阀26、第一电;兹阀27、两个第一恒压气嚢28和30、流量调节阀29和31、 以及第一压力开关32，通过密封管路对过滤器25、精密调压阀26、第一电 磁阀27、第一恒压气嚢28、流量调节阀29、第一恒压气嚢30、流量调节阀 31以及第一压力开关32依次连接。因此，压缩空气可以依次通过过滤器25、 精密调压阀26、第一电磁阀27、第一恒压气嚢28、流量调节阀29、第一恒 压气嚢3 0 、流量调节阀31以及第 一压力开关32后输入至气浮导轨的气浮区。 在该实施例中通过压力开关后的管路分支，同时通向两个气浮导轨的气浮 区。过滤器25用于对压缩空气中的孩i粒子进行过滤，防止其通入气浮区时， 对气浮区中的气浮孔造成阻塞；根据气浮孔的大小精度，可以选择不同精度 级别的过滤器。精密调压阀26 —方面用于才艮据气浮区气压要求来调节气压 大小，另一方面用于初步提升压缩空气的气压稳定性，在该实施例中，精密 调压闹的灵敏度是其最大量程的0. 2%,进一步，如果需要进一步提供更高精 密度的气浮导轨系统，其灵敏度可以进一步提高，灵敏度可以小于其最大量 程的O. 2%。电磁阀27和压力开关32电连接在一起(图中虚线所示)，电磁 阀27和压力开关32的开关动作同步；根据压力开关32对气浮区中气体压 力情况的感应，可以对电磁阅27发出同步控制信号；也可通过对电磁阀27 发出控制信号从而使压力开关32同步开关动作；压力开关32设置在离气浮 区较近的地方，因此对气浮区的气体压力变化感应更加快，而电磁阀设置在 精密调压阀后， 一般是整个系统的控制端附近，离气浮区比较远；电磁阀27 可以是二位二通电;兹阀或者二位三通电石兹阀。第一恒压气嚢28和30用于迅 速反应向气浮导轨的气浮区补充气体，在本实施例中介绍了两个气嚢的实施方式，但在其他实施例中可以不限于两个气嚢。根据气浮区的气压参数设定 需求，第一恒压气嚢可以选定不同恒压值，其中第一恒压气嚢30的容积大
于第一恒压气嚢28的容积；由于第一恒压气嚢相对压缩空气气源设置在更
加靠近气浮区的地方，当气浮区的压力小于预定值时，压力开关32迅速打
开，气嚢中的气体可以迅速感应气路中的压力小于预定值，从而向气路中补
充气体，克服了通过压缩空气源补充气体反应慢的特点，从而使气浮区的气
膜振动相对较小。另一方面，由于压缩空气源的气体压力不均衡，直接通过
压缩空气源向气浮区中补充气体，会导致压缩空气控制气路流向气浮区的气
流不均衡而引起真空腔的气膜振动，通过设置第一恒压气嚢，可以明显克服
这一缺点。流量调节阀用于控制第 一恒压气嚢向气路中补充气体时的气体流
量调节，以防止第一恒压气嚢的压力与气浮区的压力相差较大时由于第一恒
压气嚢的气体对气浮区的气流沖击，也有利于减小由于向气浮区补充气体导
致的气膜振动；流量调节阀29和31均为单向导通，在该图中气体能从左至
右通过。每个第一恒压气嚢后均直接气管连接一个流量调节阀。
继续如图1所示，真空控制气路包括至少一个恒压气嚢37、精密调压阀
38、流量调节阀36、第二电磁阀35、第二压力开关34和过滤器33。在该实
施例中，气浮导轨的真空腔的中气体可以依次通过过滤器33、第二压力开关
34、第二电磁阀35、流量调节阀36、第二恒压气嚢37和精密调压阀38流
向抽真空的系统。在该实施例中通过压力开关后的管路分支，同时通向两个
气浮导轨的真空腔。过滤器33用于对真空腔中的微粒子进行过滤，防止其
进入气路，对气路中各种仪器造成堵塞。精密调压阀38 —方面用于根据真
空腔的气压要求来调节气压大小，另 一方面用于初步提升抽真空系统对气路
中气体的气压稳定性，在该实施例中，精密调压阀的灵敏度是其最大量程的0.2%，进一步，如果需要进一步提供更高精密度的气浮导轨系统，其灵敏度 可以进一步提高，灵敏度可以小于其最大量程的0. 2%。电磁阔35和压力开
关34电连接在一起(图中虚线所示)，电磁阀35和第二压力开关34的开关 动作同步；根据第二压力开关34对真空腔中气体压力(气体压力相对较小) 情况的感应，可以对电磁阀38发出同步控制信号；也可通过对电磁阀38发 出控制信号从而第二使压力开关34同步开关动作；第二压力开关34设置在 离真空腔较近的地方，因此对真空腔的气体压力变化感应更加快，而电磁阀 设置在流量调节阀36和第二压力开关34之间， 一般是整个系统的控制端附 近，离真空腔比较远(实际应用中压力开关34和电磁阀35之间的管^4支长)； 电磁阀27可以是二位二通电磁阀或者二位三通电磁阀，电i兹阀27为真空电 磁阀。需要进一步说明的是，电磁阀35可以设置在精密调压阀38和第二压 力开关34之间的任何气路位置。第二恒压气嚢37用于迅速反应向气浮导轨 的真空腔抽取气体，根据真空腔的气压参数设定需求，第二恒压气嚢37可 以选定不同恒压值，在其他实施例中可以采用不限于一个恒压气嚢。由于第 二恒压气嚢相对真空源设置在更加靠近真空腔的地方，当真空腔的气体压力 大于预定值时，压力开关33迅速打开，气嚢中压力小于真空腔中的压力， 第二恒压气嚢体可以迅速感应，从而直接抽取真空腔中的气体，克服了通过 真空源系统抽取气体反应相对较慢的特点，从而使真空腔的气膜振动相对较 小。另一方面，由于真空源系统的气体压力不均衡，直接通过真空源系统抽 取真空腔中的气体，会导致真空腔流向真空控制气路的气流不均衡而引起真 空腔的气膜振动，通过设置第二恒压气嚢，可以明显克服这一缺点。流量调 节阀36用于控制第二恒压气嚢37向气路中抽取气体时的气体流量调节，以 防止第二恒压气嚢的压力与真空腔的压力相差较大时由于第二恒压气嚢抽取气体对真空腔的气流沖击，也有利于减小由于向真空腔抽取气体导致的气
膜振动；流量调节阀36为单向导通，在该图中气体能从右至左通过。需要
指出的时，根据实际需要，真空控制气路中可以设置多个第二恒压气嚢和流 量调节阀，每个第一恒压气嚢后均设置一个流量调节阀。
继续如图l所示，当气浮导轨遇到特殊情况时，可能引起气浮导轨的气 膜的厚度变化形成微幅振动，而这种微幅振动是由气浮导轨中的气浮区的气 体压力迅速小于预定值、真空腔的气体压力迅速大于预定值造成。气浮区的
气体压力迅速小于预定值时，第一压力开关32和电磁阀27迅速打开，由于 第一恒压气嚢离气浮区较近，因此能迅速反应出气浮区的低压力情况，第一 恒压气嚢中的压力大于气浮区中的压力，第^1C&^r嚢通过流量调节阀29 向气浮区中充气，从而使气浮区中的压力恢复到预定值附近。第一恒压气嚢 的气体补充到气浮区后，空气压缩机通过压缩空气控制气路的精密过滤器25 精密调压阀26以及电》兹阀27补充气体至第一恒压气嚢至恒定气压值，由于 这个过程的气路比较长，所以反应相对较慢于上述第一恒压气嚢向气浮区补 充过程。最后气压都稳定后，第一压力开关32和电^f兹阀27关闭。在此过程 中，不是通过压缩气体直接向气浮区补充气体，因此也避免了通常情况下由 于压缩气体的气体压力波动较大对气浮区造成冲击的影响，减小了气膜振 动。精密压力调节阀26也可以进一步减小压缩气体的气体压力波动。
同理，在真空控制气路中，真空腔的气体压力迅速大于预定值时，第二 压力开关34和电磁阀35迅速打开，由于第二恒压气嚢37离真空腔较近， 因此能迅速反应出真空腔的高压力情况，第二恒压气嚢37中的压力小于真 空腔中的压力，第二恒压气嚢37通过流量调节阀36向真空腔中抽取气体， 从而使真空腔中的压力恢复到预定值附近。第二恒压气嚢抽取到真空腔的气体后，真空气压源的通过真空控制气路的精密调压阀38抽取第二恒压气嚢
37的气体至恒定气压值，由于这个过程的气路比较长，所以反应相对较慢于
上述第二恒压气嚢抽取真空腔气体过程。最后气压都稳定后，第二压力开关
34和电磁阀35关闭。在此过程中，不是通过真空气压源直接向真空腔抽取 气体，因此也避免了通常情况下由于真空气压源的气体压力波动较大对真空 腔造成冲击的影响，减小了气膜振动。精密压力调节阀38也可以进一步减 小真空气源的气体压力波动。
图2所示为图1所提供的气浮导轨系统中的气浮导轨结构实施例示意 图。该实施例的气浮导轨与图1所示的压缩气体控制气路和真空控制气路 结合应用，可以实现更好地减小气膜振动、并保证气浮刚度。如图2所示， 气浮导轨俯^L为长方形，气浮导轨包括三个形状参数相同的气浮区701、两 个形状参数相同的真空腔702，如图所示，三个气浮区701和两个真空腔 702交替排列组成气浮导轨。根据气浮导轨的形状需要，可以设置三个以上 奇数个气浮区和两个以上的偶数个真空腔，例如，可以为五个气浮区和四 个真空腔交替排列，气浮区始终排列在气浮导轨的两端。气浮导轨的中心 轴线落在最中间的气浮区中，中心轴线之外的其他气浮以气浮导轨的中心 轴线对称布局，真空腔也以气浮导轨的中心轴线对称布局，同时，最中间 的气浮区自身也以中心轴线轴对称。其中，每一个气浮区701都包括有四 个气浮孔703a、四条气浮均压槽703b,气浮孔703a在每个气浮区701的 俯视视图平面内是对称布局，气浮均压槽703b在每个气浮区701的俯视视 图平面内也是对称布局。所有气浮孔703a孔径大小、材料完全一致，由红 宝石制成，可以通过公式(1)计算来设置气浮孔703a的孔径参数，使雷 诺数降到20Q0以下。所有气浮均压槽703b深度、宽度也完全一致。继续如图2所示，三个气浮区701的内部相通，通过第一管接头708 集中向三个气浮区701供气，其中图中所示的两个第一管接头708是同时与 图1所示的压缩气体控制气路连接的，从而可以实现气浮区中充满一定气压 的压缩气体形成气膜。三个气浮区701的内部通路的两端有由堵头705堵住。 两个真空腔702的内部也相通，由第二管接头706经抽气孔709抽气，两个 真空腔702的内部通路的两端由堵头704堵住。抽气孔709位于真空腔702 的正中心，并且位于气浮导轨的对称轴线(垂直于以上所述的中心轴线)上， 两个抽气孔709直径完全一致，这样能保证不同真空腔的压力等参数的一致 性。其中图中所示的两个第二管接头706是同时与图l所示的真空控制气路 连接相通道，从而可以实现真空腔中保持相对真空气压状态。
继续如图2所示，该气浮导轨还包括四个隔离室707,隔离室707用于 隔离气浮区701与真空腔702,其布局于气浮区701与真空腔702之间，大 小尺寸完成一致，也相对于气浮导轨的中心轴线对称布局。该气浮导轨采 用航空铝或烧结陶瓷做成。
图2所示的气浮导轨应用于图1的气浮导轨系统，气浮导轨的结构对称 布局，气浮区之间内部相同、压力均一；每个气浮区都有四个气浮孔，四条 气浮均压槽组成，气浮孔与气浮均压槽在每个气浮区上都是对称布局；这就 保证气浮区压力完全一致，在承受外部变化负载时能够保证气膜厚度不变。 气浮区和真空腔的对称布局特点，也能提高系统的气浮刚度，能有效消除工 件台运动中加减速等情况下对气浮刚度的影响。因此该实施例中，能保证气 浮导轨的气膜厚度为8微米、气浮刚度高达10、/111。同时，由于使用了压缩 空气控制气路和真空控制气路相结合的控制技术，使得气浮导轨系统可同时 非常方便的调节供气压力与真空值，通过对压缩空气控制气路、真空气路两路气体的压力的精确调节匹配，气浮导轨系统的气膜振动大大减小，即使在 意外状态下也可以有效保护精密气浮导轨。该气浮导轨系统实施例应用于光 刻机超精密工件台中。但其他贴片机，球焊机等高性能半导体高性能运动台 装置中都可以采用本发明方案。
在不偏离本发明的精神和范围的情况下还可以构成许多有很大差别的 实施例。应当理解，除了如所附的权利要求所限定的，本发明不限于在说明 书中所述的具体实施例。
权利要求
1. 一种气浮导轨系统，包括压缩空气控制气路、真空控制气路以及气浮导轨，气浮导轨包括气浮区和真空腔；其特征在于，所述压缩空气控制气路包括第一恒压气囊，用于向所述气浮导轨的气浮区补充气体；所述真空控制气路包括第二恒压气囊，用于抽取所述气浮导轨的真空腔中的气体。
2. 根据权利要求1所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述压缩空气控制 气路还包括过滤器、精密调压阀、第一电》兹阀、流量调节阀和第一压力开关； 所述过滤器、精密调压阀、第一电^F兹阀、第一恒压气嚢、流量调节阀和第一 压力开关通过密封管路依次连接并通向气浮导轨的气浮区。
3. 根据权利要求1所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述真空控制气路 还包括精密调压阀、流量调节阀、第二电^f兹阀、第二压力开关和过滤器；所 述精密调压阀、第二恒压气嚢、流量调节阀和过滤器通过密封管^各依次连接 并通向气浮导轨的真空腔，第二压力开关串接于真空腔和流量调节阀之间， 第二电磁阀串接于精密调压阀与第二压力开关之间。
4. 根据权利要求2所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述压缩空气控制 气路中包括两个或两个以上第一恒压气嚢和两个或两个以上流量调节阀，每 个恒压气嚢通过密封管路直接连接于每个流量调节阀。
5. 根据权利要求2所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述第一电磁阀是 二位二通电/f兹阀或者二位三通电i兹阀。
6. 根据权利要求3所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述第二电磁阀是 真空专用电磁阀，所述真空专用电磁岡是二位二通电磁阀或者二位三通电磁阀。
7. 根据权利要求2或3所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述流量调节阀是单向流量调节阀。
8. 根据权利要求2或3所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述精密调压 阀的灵每文度小于其最大量程的0. 2%。
9. 根据权利要求1所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述气浮导轨包括 三个以上的奇数个气浮区和两个以上的偶数个真空腔，气浮区和真空腔相互 交替排列形成气浮导轨，并且气浮区以气浮导轨的中心轴线对称布局、真空 腔以气浮导轨的中心轴线对称布局。
10. 根据权利要求9所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述气浮区包括四 个气浮孔和四条气浮均压槽，所述气浮孔在气浮区平面内对称布局，所述气 浮均压槽在气浮区平面内对称布局。
11. 根据权利要求IO所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述气浮孔的孔径 大小一致，所述气浮均压槽的深度一致、气浮均压槽的宽度一致。
12. 根据权利要求11所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述气浮孔的孔径 D根据以下公式计算其中，Re为雷诺数，^为流体密度，w为流体速度，D为管道直径，w" 为流体粘度；通过设置气浮孔径参数D使Re小于或等于2000。
13. 根据权利要求9所述的气浮导轨系统，其特征在于，所述气浮导轨还包 括置于所述真空腔和气浮区之间的隔离室，隔离室相对所述中心轴线对称布局。
14. 根据权利要求》所述的气浮导轨系统，其特征在于，所有气浮区通过气 通路连接，同时通过设置在所述气通路上的第一管接头向所有气浮区供气，第一管接头连接于压缩空气控制气路。
15.根据权利要求9所述的气浮导轨系统，其特征在于，所有真空腔通过气 通路连接，同时通过设置在所述气通路上的第二管接头向所有真空腔抽取空 气，第二管接头连接于真空控制气路。
全文摘要
一种气浮导轨系统，属于精密仪器领域。本发明提供的气浮导轨系统包括压缩空气控制气路、真空控制气路以及气浮导轨，气浮导轨包括气浮区和真空腔；所述压缩空气控制气路包括第一恒压气囊，用于向所述气浮导轨的气浮区补充气体；所述真空控制气路包括第二恒压气囊，用于抽取所述气浮导轨的真空腔中的气体。该气浮导轨系统具有气膜振动小的特点。
文档编号G03F7/20GK101504513SQ20091004587
公开日2009年8月12日 申请日期2009年1月23日 优先权日2009年1月23日
发明者锋 张, 李生强, 齐芊枫 申请人:上海微电子装备有限公司;上海微高精密机械工程有限公司